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1、棍嚣人用 传感器材料 的 遵 壤 谭德生 一、前言 摘要 r 机器黾黄感器商糨分 半导钵胡轴、晦瓷翅牲 有机钌牺弱金 人脑、手、足、皮肤、眼睛、霉枢牲 本文麓要n结7这n类青 器胡糨的 惫 匝黾嫱霓私藿曩前 景 耳、舌等的功能在机器人中分别 关键溽祝器 耐料 舍 ，n I p=3 oI-o r l Q 0 on 1 0 维普资讯 http:/ 表 l 采 H 半 导体 材料 制作 的传 感器例子 技术综述 传堪器 效应 村料 用选 S i a s i 2 6 属薄膜 s l_ I C，3 5，6届薄膜一 s l_ I，荧光辟 s 一 I c 围体紫 r 可见光 图像佶感器 s 1 一【c P
2、t 或 lT 一 l c，2 6属一 s“c H g c c i T e，l n S n S e 崮体可 见光图像 专 感器 光生伏特兢庶 A u-Z n S A g Z n SS G et ri p Ga A a n S b，l a A s 生伏特元件 s L 】c 有机彩色滤光 S i I c 彩色传甚器 光佶感莘 S A s k P b O 紫外光摄像管 S e C d S C d S c，Z n O 光 导电元件 光导 电鼓 蕾 P b O C d T e、P b O P b S a-S L 订兕光摄像管 g n S C d T c S i Z n C dr e 扭，k 光摄镩管 热电
3、效应 P b T i O j；S i，P V F 2 I S 1 红外光传感器 霍 效应 S l-【C n g b 1 n Aa Ge Ga As 放置剐 0 量 艇忙感器 醚阻敦庶 Ni-C o l S i I C n S b I n A B 1 正接触开关 压电效应 z n O：S i 1 C P V F ff S i-I c 触赏佶感 件 力传感器 压阻敛应 S l S 1 I C Gc G a P,l n S b l n As B i 压世传感冗什 吸附阻抗变化 陶瓷 s l _ I C S n O 气体佶感嚣 碗附引起功匿数变化 金届 F E T 气体邑谱沾 S l I C 携带式气
4、体分析仪 湿度传感器 嗳附阻抗变化 聚合物 s l _ A I 0 S i-I c 压 阻敦廊 S 1 I C 加速度传感器 正 电效应 g n O S 1 I C F E T的门电压童化 无机薄脯 S i I C 【化学传感器 P H N a K，醉，激素，抗原 抗体等的检捌 门控制型二极蕾 鬯物体关迁薄膜 s 1 热起电 S L-】C 热电元件 温度性感器 引P晶体管制温度 l删量 S l _ I C 温度 十 流量传感器 F l I P晶l体管制温度特性 S】一 I C 气体、渡体的漉量测量 感温整流器 热濑威 电流的温度特性 S L 】C 温度控制 放 射线 检测 嚣 光 导电效垃 G
5、 e S 1 光导电效商 Z n S l_ I C 趣声波 C T 遥声波传感器 d 电效廊 P VF 2：S i I C 拱头 的方 向发展 而这些 又正是 已成 熟的半导体 l l 艺技术的长处，因 此 半导体传感器在整个传感器 领域 中占有越米越 重要 的地 位 目前 在 生产 上 大 量 应 用 的主 要 是物理传 感器 t、声、压 力、温度等)，尤其是光学传感器 据 统计约 占 8 0 左 右。但从 研制 的角度看 物理传感器的研究趋 势已开始下降，而化学传感器及 生物、医学传感器(气敏、湿敏、离子 敏、酶敏等)开始 上 升。表l列 出 了采 用 半导体 材 料制作的传感器的典型例子
6、 可 以看出，硅材料占有特别重要的 位 霞，可 以说 它是 一种 八面玲 珑 的功能材料，对什么都可感受 而 它j：E 是 L S I 的主要 材料，因 此具有能充分利用这种 L S I制 造技术 的巨大优点。由于它对什 么都 可感 受 围此在 测量 某一 种 量 时，其它量 就成 为 噪声，这 意 味着存在信噪比不佳的缺点 但 是幸运的是硅是 L S I 基底材料 因此在形成传感器时，可同时加 入 为改善信 噪比所需 的补偿 电 路，能较 容 易地克 服缺 点 而 日 _ 还 可能将具有放大和判断功能 的 r c和 L S I电路集成化，这些 方面可 以说硅是非常优异的传 感 器材 料 2
7、0 0 售6蜃-器-舅 一 j 1 三t p I J 0，0 1 0 r 1 0 n 1 ；维普资讯 http:/ 表 2 采月 j 陶瓷材料制作的传感器例子 传感器 输 出 效应 精料 H 选 载流 产浓度 f NT C)Ni O，F e O，C o O Mn O C o O A1 O s i c f 粉拉 厚膜薄膜)温度计，删辐射热器 温度 阻抗变化 随温度 的变化 r P T C)半导性 B a T i O l 烧 结件】过热保护传缚器 倍感 嚣 半导体一 蛊属相转穆 V o2，V1 0 1 温度 开关 磁化变化 铁 磁性一 肫磁性转 穆 Mn Z n系铁氧体 温度开蓑 电势 氧离于浓差
8、电池 稳定型氧化锆 高温耐腐蚀性温度计 位置、速 反射 渡 的 压电效应 P Z T：锆蚀酸铅 鱼群箨铡 器 探伤 血压 度传感器 波形变化 电势 热电效应 L i N b O!L a l a 03 P Z S r T i O 红 外线 检测 瓦斯托 克斯定律 L a F 3(Yb，F r)红 外线检测 光传感器 渡 数倍增 效应 压 电体，B a!NR Nb O 1 B J L i N b O 红外线幢测 可 Z n Cu，A Y 2 o2 S(E u)彩色L U 视机显像 管 捷光 Z t l S(C u A1)x射线检铡器 热荧光 C a F 2 热黄光线计量 可燃 性气体 接触燃 烧
9、反 P【催化剂库【化铝 P t 线 可燃气 体浓度计报警 嚣 应熟 利用 氧化物 半导 体对 体 的吸 附或解吸 产生 的 S n O：I n 2 03，Z n O，WO 3，T F e z O 3，Ni O，C o O，Cr 2 0 气 体报警器 电阻变化 电荷转移 T i 0 2 L a N i O (L a，S 1)C o O 3，(B a，L n)3 等 气体 利用气 体热 传 导散 热造 热敏电阻 高枨麈气体传感器 传感器 成热敏电阻韫 度变化 氧化 物半导 体化学 当量 的变化 T i O 2 C o O-Mg O 汽车排气 传感器 高温 固 体电解 质氧气 浓 稳定 的氧化锆 Z
10、 r O，一 C a O，一 Mg O Y2 03 -L a O 等)氧化 排气传感 器，钢水 钢 水中的氧台 量 电动势 度差 电池 钍(T h O3 一 Y2 0 3)分析计 C O蛙氧 不完全燃烧传感器 电量 库仑滴定 稳定二氧化锆 磷燃烧氧传感器 暇湿离子传导 L l C f，P 2 O 5，Z n O L i 2 O 湿度计 湿 度 电阻 0 N i F e 2 0,Mg C r a P +T i Oz Z n O，Ni铁 氧体，F e 3 0 肢 佶感器 氧化物 半导体 湿度计 体 丹电常数 利用吸湿 改变 舟电常数 AI I O 3 湿度计 离于 电动势 固体 电解质膜浓差电池
11、Ag X，L a F A g S玻璃膜，C d S，Ag l 离于浓差 传感器 传感器 电阻 栅攮吸附教应 MOS F E T s l(栅材 H 用：S i 3 N 4：S i O S 用：A 勘S X-用：Ag X P b O)高于敏感性 F E T I F S E T 1 三、陶瓷材料 陶瓷传感器是由于用化学、物 理 及 热 性 能 稳 定 的金 属 氧 化 物高温烧结陶瓷制造的，具有耐 热、耐磨、耐腐蚀等优 良特 性，不仅广泛地用于光、位置、热、电磁波等多种检测领域，而且最 适宜用在条件 极为苛刻 的气氛 中。表 2列出了采用陶瓷材料制 作的传感器的典型例子 作 为传感器而使用的特 种
12、Sen s o r W o r l d 一 面 陶瓷，最 初主 要着 眼于它 的粒体 物性，即介 电性、磁性及半导体，尽可能使材 料固有 的特性发挥 出近似 于单 晶的水平 侧 如，温 度传感器利用的是陶瓷 的热 电 效应，超声渡传感器利用的是陶 瓷的压电效应等。后来人们发现 利 用粒 体的某 些特 殊性质，如利 用陶瓷上的孔隙，让水蒸汽或气 体 通过 这些气 孔，在 陶 瓷 内部 扩 散并吸附于粒界表面，将 引起界 面导电率的变化，从而研制出新 型 的功 能元件。这 种具有 粒界、粒体、表面、气孔结构的特种陶 瓷，不但能用于制造温度或气体 传感器 而且被认为是能适应传 感元件多功能化的理想材
13、料。因 为，包括陶瓷在 内的许多材料都 具有多功能性质 在单功能元件 中，为避免材料的各种功能相互 影响，往往采取特殊方法将不同 的功能 与有H j 的功能加 以分离 r l t t D：，由r、0 r _0 r l o 0n 1 c 维普资讯 http:/ 和 隔离。如 果我 们能有 效地利 用 分离和隔断技术，使材料的各种 功能平等地发挥 出来，则可得到 各种多功能元件。作为传 感器 用 的陶瓷，今后 要着重研究的是如何进一步提 高原料的纯度、如何控制结构和 尺寸精度。此外，还必须开发一 系列新技术，例如，能将一个晶 粒作为单一功能元件使用的晶 粒控制技 术、提 高气孔 率(8 0)表 3
14、 采用 有机材 料制 作的传 感器例 子 技术综述：=：和 机械 强度 的技 术、陶 瓷与硅 半 导体的结合法 高温烧结薄膜化 技术和 原子层外延生长法等以 及微弱电信号放大、不同特性的 电信号分离等 电子技术 四、有机材 料 表 3列 出了用有机材料制 作 的各种传 感器。有 机材 料传感 器的应用范围很广，在生物、医 疗、诊断、化学传感器 以及辅助 材料上已得到7 泛应用，如各种 酶传感器、微牛物传感器、抗原(抗体)传感器 及有用机材料 制成的人造骨骼、牙、心脏等人 工器官。高分子选择性 识别功能使 得有 机 材 料 在 机 器 人 嗅 觉 和 味 觉中大有用武之地 用它还可作 成具有交换
15、物质和 信息功能 的 生物膜传感器 柱测量 传感器输出 利用的效应 传感器村料 韫度 电动势 塞 皿克袭应 聚丙烯腈箭解 阻抗 载流子浓度随温度 的变化 有机 芈导体 相变点 T CN 0错体 转化点 碱 黑一 石蜡 表面 电荷 热 电效应 P VD F 压 电性高舒于复台材料 T GS 透过率 透过率随温度的变化 渡晶 透过章随温度 的变化 石蜡一 光纤 反射，透 过光波长 反射I 透过光渡长随温度 的变化 胆 督醇液晶 彳 卜 电损耗 主链箭子 的热运动变化 高舟子络台物 畸变 光热度 伴 随形变的光传输漏泄 弹性光纤(动，静夺)电压 压 电效应 P VD F 畸变 电致伸缩教应 P VD
16、 F 电场 色 波长选择的反射 胆甾醇液晶 散射光强度 电光学 的光散射 同列状液 晶 偏振光吸收 红外光偏振光吸收 峋二色性 向列拽渡 晶 柬 表面 电荷 热 电效应 P VD F 阻抗 光导 电效应 聚碳酸酯(P V Kj 放射线 光脉冲 荧光闪烁 均二苯乙烯，蒽 丙烯娄等 阻抗 吸湿引起阻抗 的变 化 醋酸纤维素，尼龙 离子交换树酯，聚苯乙烯，亲水性商分 子+碳 媪度 舟 电奉 吸湿引起彳 卜 电率的变化 醋酸纤维素 菸振频率 吸湿 引起振子负荷的变化 石英振于+聚酰亚胺 0 2 电流 O 的选择 性透过 电化学反应 O 2 透过性高舒子膜十 02 电极 C 0 2，NI-3 电动势 C
17、 O 2 的选择性透 过 多孔质 岛舒于膜+p H 电极 气体丹子 共振频率 吸湿 f 起振于 负荷的变化 石英振子一 有机涂屠剂 K Na 电动势 选择性膜 内输送 古肚高舒子膜 I 各种离子 电动势 选择性膜内输送 高舒子膜 1 葡萄糖 愿素 氪基酸等 电动势 电流 选择性触媒反应 酶固定化膜+电极 抗原，糖 1 3 0 D 电流 微生物反应 微生物固定化膜+电桓 l 血清蛋自，激素 电动势 电 i i【抗原抗体反应 抗原f 抗体)固定化膜+电极 传 嬖量 堂昱 2 00 1 6 nI ，们0了 o1 0 r J Q n0n 1 n 了 ：维普资讯 http:/ 荨 亏 昂 。耄 g 8
18、n 3 由 P VDF(聚偏 氟 乙烯)所 代表的氟系高分子 在某种条件 下处理之后可出现各种功能性 固此作 为传感器 的应 用在 各方 面进 行 了研究 此外还 有在 橡胶 和 塑料 中混合 P Z T(锆钛 酸铅)及碳 的微粒，由于电阻或容量变 化 以及短路出现压电性，或具有 带各 向异性导 电性 的 A C S(各 向异性导电性硅橡胶)等 虽不 是直接使用材料的功能性但组 台 了橡 胶 和 塑 料 弹性 变 形 的 各 种 物理 效应 的复 合 式 压 力 传 感 器，最近 在研 究 也 十分 盛行。尤其 用在 机器 人 上 的压，触 觉传感器，为了对应人的皮肢需 要 有 软式压力 传感
19、器 在触 觉 型 传感器 卜 有接触觉、压觉、硬度 觉、滑 觉和接 近觉等，有 只检测 某 点的压，触 觉 的集 中 型传 感 器 和 检 测 空 间分 布 量 的分 布 型触 觉传感器。但有机材料 与无机材 料相 比，大 多缺 乏耐久性，因此 如 何 解 决 寿 命 问题 如 稳 定 笥 问 题将 是今后 的 匿丈课题 五、金属材料 金 属 有 优 越 的 物 理 和 化 学 性 能，许多金属在弹性、强度、导电性、耐腐蚀、耐高温、易加 工等方而具有独特的性能 用金 属制成的应变 计和热敏 电阻可 用来制造机器人的力觉和温觉 目前较新型的功能材料一形状 记忆台金可作 为医用材料或机 器 人 用
20、 的功 能材料 例 如 现 在 在研制的象 尺蠖 虫那样大 小的 机器 人和 柔软如人 的手 腕、于指 般的生体筋肉型机械手等 利用 形 状 记忆 台 金 可 使 传 感 器 和 驱 动源 的双重 功能 体化、从而使 设备智能化 表 4列出了采用金 2 O O 1年 中 国 新 型 传 感 器 应 用 主 题 研 讨 暨 展 示 会 毽 一 强 I霞一 强 各位主题报告、参展单位和参会人员 2 0 0【年中匡新型忙感器应用主题研讨 置展不会的筹备工作 已经就续。已收到并 定 了全 国近 5 0篇学术论文 各参展单位、参尝人员报 名踊跃：参 人员积极联 系有关事宜 但是，证来有部分代表和专家鉴于
21、北京母夏天气炎热，建议将原定于 6月召开的谚会改到 天高气囊、红叶烂漫 的金社时节举行 经我们传感器应用专业委员尝常委台讨论抉迎 同 意代表和 专家1 门的意见 将会议推迟现将 蓖期事宣通知如：一、对问和地 点：】、时问会议 t 2 0 0 1 年 I o月】5 1 6 13在J E 京召开 L 台议 主题不变 一论文仍然有 效参展 商和会议代表仍然有敬、2、地 点：信息产业都 城中圄宾馆北京西域 lx西 门内南小钎甲【8 s号 宾馆联系：阵国胜 L 公关部墨理 1 电话：总机(o I o l 6 6 I 6 g g-】6 6 I 6 0 9 2 9 I o 1 0 6 6 I 6 鹃I 1
22、5 7 2 6 二、会议组委盒 参展联 系人】组委会副主任李建军 电诗：m】O)6 8 7 3 l 9 4 2棚 7 3 l 9 4】B P：O l O 一 9 5 8 5 8呼 3 3 7 7 3 2 传 真：叭 o 6 8 7 3 l 9 4 0 E m a i l：a r my l e e 圃s i n a c o rn c n 地址：北京中关村南大街 9号 理工科技大厦 1 4 0 2事 邮编：】o o o 引 单位：中国电子学害敏感技术舒会 月 专业委员会 2、组委尝秘书长刘序芝 lU话 传真)：f o 1 0 6 4 3 7 1 2 3 2 中国 电子学会鞲感技术分会应用 号业委员
23、会。!而-属制作的传感器例子 表 4采 H j 金属 材料 制作 的传感 器 例，温 度 传 感 器 P t P h P t请 镍 铝台 盒 锕(流速 传佶揣l 镍 舟金 P 1 C u，Ni 烈台属 战 镍铣 台金 应 变 计 观 山-钰 镍 制 金 制，、制 垃 奠台缸 电位 汁(位、锰 镍制舟蛊 康制 镍错 台 角艟传感器、鲁 磁 场 传 感 器，坡奠 台 N i-C O台盒 磁 头 融泡 删 M0坡奠奇盘 骨 嚣 秉 性 形址 忆 音盎 手 爪 六、结束语 材 料 与器件 有着密 切关 系，在敏 感材 料 方而 近年 来特 别引 注意的足高分子材料(包括光 导纤维)及非晶材料，而材料的
24、 表面薄层化 r 芝 1分霞要 高分 子 材料 育不 少 可 在 室 温 下 用 多 种 简 单的方 法成膜，其 中，刘能 与半导体丁 艺相容 的材料尤其 受 到重 视、目前 已有聚 酰亚胺、聚 己烯醇、聚乙烯等口 光刻工 艺 处理，高 分子膜 作 为敏感材 制 已用 于 气敏、敏、湿 敏 离 敏、生物敏等各个方而 近 年来各 领域 的科学技术 的新成就 提供了研制尖端新传 感 器 的 摹 础、如分 子柬 外 延(MB E)MO C V D，L B膜等技术 迅 速 发展，可人 为地 牛长几 十埃 以 单分子层的超薄层材料 从 而 又 发展 出或 将 发展 出 系 列 崭新的传感器件 近 年来
25、出现的 形 状 电忆 台 金 的研 究 开 发 以及 高温超导材料的研究高潮，也必 维普资讯 http:/ 将 推 动 形状 记忆 台 金和 超 导材 料 制作传 感器 的探索 毒孝文献 1 Z I n o u e S S a s a k i，N I y i S T a k e n a k a J p n J Ao o 1 P h y s 2 6 L1 3 6 5 6 7(1 9 8 7)2 W J J a n g，H Mo r i，M Wa mh i k i S T a j i ma N Ko s h i z u k a S Ta n a k a J S ol i d S t a t e C
26、h e m I 2 2，3 7 1 3 7 5(I 9 9 6)3 W J J a n g H I v l o r i，M Wa t a h i k i S l a j i ma，N Ko s h i z u k a S T a n a k a J S o l i d S t a t e Ch e m I 3 0，4 2 4 7(1 9 9 7 【4 S S a s a k i K K a wa g u c h i，M Nak a o J p n J Ap p1 P h y s 3 1 L 4 6 7-4 7 0(1 9 9 2)5 AME E D p r o g r a m M S aka
27、m，R M o r i，S Ku ma z a wa M T ak a t a，H T o r a y a(1 9 9 0)El e c t r o n De n s i t y Di s t r i b u t i o n f r o m X-r a y Po wd e r Da t a b y Us e o f P r o fi t s a n d t h e Ma x i mu m En t rop y Me t h o d J Ap p1 Cr y s t 2 3，5 2 6 6 J K N a k a n i s h i A T s u k a mo t o N S u g i i
28、K Ya r a a mo t o，H Ya ma u c h i F ot wt h Ea r n Ce r a mi c s 6 8 1 8 8(1 9 9 5 1 7 F l z u mi，T h e R i e t v e l d Me t h o d 【上接 2 0页】The S t u d)o f SOt S e ns o r Ba s i n g o n Ul t r a v i o l e t Fl uo r e s c e nt Li g ht Di，F e n C e M et ho d Abs t r a e t：Thi s p a p e r i n t r o d u
29、 c e d t h e me t b od u s i n g u l t r a 一 i n l e t flu o r e s c e nt l i g h t di t t r e n c e me t h od t o r e a l i z e S O r e a l t i me o n l i n e s u r ve y i ng，a n a l y z e d a n d s t u di e d t h e me a s u r i n g p r i n c i pl e a n d 技术综述 e d b yR A【J n g(j 9 9 3)Ox f o r d Un
30、 i v e r s i t y Pr e s s Ox f o r d Ch a p 1 3 8 H Na g a s a k i e t a l，S o l i d s t a t e p h y s i c s 3 l g(1 9 9 6)9 K N aka n i s h i S A d a c h i，A Ys u k a mo t o K T a n a be W-z Hu t I d a M I z u mj P h v s J c a C 2 8 2 28 7 97l 一 9 7 2(1 9 97)f 1 o T I d a M 1 z u mi W-Z Ha，K Na k a
31、n i s hi K T a n a b e S Tn a k a Y S a s a g o K Uc h i n o k u r a Ph y s i c s a nd M a t e r i a l s S c i e n c e of Hi g h Te mp e r a tur e S u p e r c o n d u c t o r s I V 3 3 7 3 4 9 NA TO Ad v a n c e d S c i e n c e I n s t i t u t e s e r i e s 3 26 R Ko s s o ws k y M J e l l i n e k a
32、 n d J No v a k f e d s)Kl u we r Ac a d e mi c P u bl i s h e r s Do r d r e c ht (1 9 9 7)1 1 K Na k a n i s h i M I z u mi w Hu I d a A Ya ma mo t o S Ad a c h i K T a n a be Ad v a n c e s i n S n pe m o n d u c t i v i X S p rin g e r V e r l a g T o k y o 1 5 1 1 5 4(1 9 9 8、1 2 M t a k a t a
33、T a k a y a ma，M S a k a t a SS a s a k i KKo d a ma M S a t o，Ph y s i c a C26 3，3 4 0 3 4 3 f 1 9 9 6、1 3 K T ake n a k a e t a l，P h y s R e v me t h o d o f u l t r a v i ol e t fl u o r e s c e n t l i g h t，i n t r o d u c e d t h e p r i n c i p l e a n d a p p l i c a t i o n o f p b o t o m
34、a l t i p l e r t u be a s we l 1 a s t h e u l t r a v i o l e t fl u o r e s c e n t l i g h t s t e a d y i n g c i r c u i t A】。t o f e x pe r i me n t s s h o w e d t h i s k i n d of s e n s o r po s s e s s ma n y a d v a n tage s s u c h D s h i g h p r e c i s i o n，g o o d r e a l t i me a
35、 n d a n t i i n t e r f e r e n c e B5 0，6 5 3 4(】9 9 4)l 4 NE Hu s s e v K Noz a wa H T ak a g i SAd a c b i K Ta n a be P h y s Re v B 1 n p r e s s r 1 5 1 S 4 d a c h i KNak a n i s h i，K T a n a b e 、v Z Hu M l z n mi N E Hu s s e y,K No z a wa&H T ak a g i P h y s i c a C i n p r e s s(1 9 9
36、8)Th e Re v i e w o f Se ns i ng M a t e r i a l s j n Rn bo t i e s Abt r a c t：S e n s i n g ma t e r i a l s i n r o b oti c s a r e d e r i d e d i n t o s e mi c o n d u c t o r s c e r a mi c s o r g a ni c ma t e ria l s a n d me t a l ma t e r i a l s Th i s p a p e r i n t r d u c e s f e a
37、 t u r e s，a p pl i c a fo n s a n d d e v e l o p me n t p r o s p e c t s o f t h e s e s e n s i n g ma t e da l s Ke)v o r d：S e n s i ng ma t e r i a 1 Ro b o t i c s 作者简介：谭德 生：深圳 市罗湖 区高新技术 创业 中心，深圳市 罗湖 区太 宁路 8 5 号 罗 瑚 科 技 大 厦2 0 3 室 f 5l 8 0 2 0)，电话：0 7 5 5 5 6 0 7 6 1 l 读者服务卡缔亏 0 0 2 Ke)w v o r ds：Re a l-thne o n l i n e s u r v e yi n g，SO s e n s o Ul t ravi ol e t fl u o r e s c e n t l i g h t，Di f f e F e n c e me 出o d 作者简介 龚瑞昆：唐山市河北理I学院自 动化 系(0 6 3 0 0 9)读者服务亡编号 0 0 3 口 一馒复量 堂 20 01 6 nt D=01 0 r l I c 0n 1 c 维普资讯 http:/