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1、名称ESD静静电防护护管制程程序制订张明丰审核李超凡核准张政献1.0目目的:在制造.组装.测试.包装或或贮藏高高敏感电电子装置置.装配或或产品之之区域,须有控制制静电的的标准,使其改改善产品品质量,提高生生产力.降低电电子产品品或敏感组组件受静静电的损损害,使本公公司以及及外包厂厂商,有一个个共同的的标准化化、高质质量化,可执行行之制度度,并满足足客户要要求。2.0范范围:凡对厂内内、外包包厂商等等单位之之敏感组组件、组组装、装装配和产产品造成成损坏之区域或或人员均均适之。3.0定定义:3.1静静电(EELECCTROOSTAATICC):3.1.1静电电之含义义: 是物物体表面面过剩或或不足
2、的的静止电电荷,一种电电能形式式,它留存于于物体表表面,是正电电荷和负负电荷在在局部范范围内失失去平衡衡的结果,是是通过电电子或离离子的转转移而形形成的。3.1.2静电电之产生生: 通过过摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等等所产生的。3.1.3静电电产生过过程:在工业业生产中中常见的的静电产产生物理理过程包包括:3.1.3.11固体静静电产生生包含:接触带带电.金性属属与高分分固体的的接触带带及断裂.压电效效应.热电效效应.剥离.电解等等)。3. 11. 33. 22粉体起起电。3. 11. 33 .33液体起起电。3.1.4静电电现象: 是电电荷的产产生和消消失的过过程中产产生的静静电现象
3、象的总称称。3.1.5静电电之优缺缺点: 静电具具有双重重性,即能为为人类造造福.即为利利用静电电应用技技术制造造出静电电复印.静电涂涂敷.静电除除尘等,但是.在电子子工业制制造中也也存在静静电危害害,现正在在日益表表露出来来并逐渐渐受人们们所重视视.其在电电子工业业领域的的静电危危害形式式如下:静电吸附附静电放电电引起的的器件击击穿(硬击穿穿.软击穿穿)静电感应应.静电放电电时产生生的电磁磁脉冲3.2敏敏感组件件:电子组组件在电电子产品品制造业业上最为为普遍,最严重重的是静静电危害害.即电子子组件在在预处理理.焊接.清洗.单板测测试.组装,调试.直到包包装,贮存,发送等等工序时时,由于接接触
4、 - 分分离 - 摩擦擦 - 感应应等作用用,都会使使操作人人员.工具.工作台台面,电子组组件,电子组组件包装装容器等等产生静静电,同时会会随时对对电子组组件造成成静电损损害.因此.此类电电子组件件为静电电敏感组组件(如IC.晶体等等),总称称 敏感感组件。3.3静静电释放放: EESD (ELLECTTROSSTATTIC DISSCHAARGEE)一种种突然产产生的静静电重新新分配,这对敏敏感组件件或装置置会造成成损坏。3.4静静电(EESD)防护安安全距离离:为能使使容易受受静电破破坏之产产品.敏感组组件得到到有效安安全的保保护.设立1米(3尺)保护范范围的安安全距离离。3.5 ESDD
5、稽核员员: 对静静电防护护的产品品.工作区区域.敏感组组件等进进行技术术性之量量测和处处理之专专业稽核核检查人人员。3.6特特定工作作人员:指正规规受训过过并考试试合格之之ESDD稽核员员和主管管级以上上干部。3.7自自我检查查: 表示示工作区区域内之之全部人人员每日日上班前前对自己己工作区区域内静静电防护检检查。3.8保保护接地地: 将电电气设备备.装置不不带电的的金属部部分与接接地体(地壤直直接接触触的导电金金属体)之间作作良好的的金属连连接。3. 99表面阻阻抗: 表示物物体之表表面部分分与接地地线之间间的绝缘缘电阻阻阻抗数值值, 通常常用奥姆姆()表示。3.100静电电电压: 表示物物
6、体表面面过剩或或不足的的静止电电荷量.用电压压伏(VVolttagee)表示。3.111防静电电屏蔽袋袋: 用防防静电材材料之包包装袋进进行成品品或半成成品包装装(适用于于客户要要求)。3.122导体容容器: 用于存存放防静静电成品品,半成品品之导电电体容器器。3.133有线静静电手环环: 为防防止人体体接触敏敏感组件件而造成成静电破破坏,佩带于于手(脚)6 8上的防静静电物品品,并用一一根导线线连接接接到大。.要求:手环上上之电阻阻在 88.010 110范围内内.佩带手手环之紧紧度要接接触皮肤肤为准. 静电电手环又又俗称“静电手手腕”。6 93.144静电手手套: 为防止止人手触触摸敏感感
7、组件,使其上上汗.油污并并造成静静电破坏坏和腐蚀,特特佩带防防静电的的材料制制作成的的手套,并要求求静电阻阻抗为110 10,范围内内,静电电电压为1100伏伏特以下下。3.155防静电电周转箱箱: 为使使容易受受静电敏敏感之成成品.半成品品,存放于于用防静静电材料制作的的容器内内,进行储储存或运运输.并要求求用防静静电材料料制作之之隔板进进行隔离。3.166检定: 即用标标准器对对被量测测之仪器器进行比比对.检定值值是否超超出误差差范围。3.177内校: 利用现现有的可可追溯到到国家或或国际之之标准器器,校正检检定公司司内之仪仪器。3.188校正失失效: 用标准准器对厂厂内仪器器进行量量测比
8、对对,被量测测之仪器器示值超超出最大允许许误差范范围,则判定定为校正正不合格格. 即为为校正失失效。3.199校验周周期: 仪器设设备视其其使用频频繁程度度,规定其其每年进进行校验验检定次次数。即为校验验周期。4.0权权责:4.1仪仪校中心心负责静静电(EESD)控制技技术指标标.制订静静电防护护办法,以及工工作之倡倡导。4.2品品保单位位.制造单单位.SSMT单单位.实施静静电防护护工作.并每日日进行自自我检查查,提报不不良状况况。4.3资资材部实实施静电电保护工工作.并对敏敏感之组组件和成成品.半成品品妥善之之保存和和防护。4.4 生技课课ESDD工程师师负责对对全厂内内静电防防护单位位和
9、个人人进行EESD技技术性之之控制.量测.稽核和和处理改改善。5.0 程序内内容:5.1 静电(EESD)防护流流程图 新进员工特定工作人员 ESD训练合格静电防护区域工作或接触敏感组件(进入)ESD技术量测和监督 隔离. 改善静电电压超过100V 稽核小组 静电防护单位静电控制和自我检查 编写受训教材 考试不合格5.2 作业说说明:5.2.1训练练:5.2.1.11对新进进员工,必须进进行静电电防护(ESDD)之教教育训练练.受训时时间不低低于4小时时。5.2.1.22无受过过静电防防护(EESD)训练培培训者,不可上上线静电电防护区区域或接接触敏感感组件。5.2.1.33特定人人员.静电防
10、防护组织织成员,稽核小小组必须须定期受受训。5.2.1.44稽核小小组组长长拟订教育训训练计划划表(附件一一)并根据据计划表对全厂厂员工受受训,受训时时必须作作出教育育训练记记录。55.2.1.55受训过过静电防防护的人人员,必须有有静电防防护识别别标示(如下图图一所示),分分期对人人员进行行受训。静电防护受训合格后上岗识别标示(图一)5.2.1.66受训后后人员必必须进行行考试,及格为为80分。考试题题目如(附件二二)(附件三)所所示。5.2.1.77受训课课程必须须包含以以下内容容:受训内容容受训时间间受训人数数 (不不得超过过)静电之概概念产生生物理过过程1 H30静电之来来源.对半导导
11、体组件件的不良良影响.0.5HH30静电防护护区域之之化分及及防护措措施0.5 H30保护静电电之包装装.运输.储存0.5HH30静电防护护的识别别标示. 0.5HH30ESD管管理小组组及工作作职掌0.5HH30自我检查查的流程程内容及及实施0.5HH305.2.2静电电控制区区域:凡对敏敏感组件件会造成成伤害之之区域必必须用班班玛带标标贴静电(EESD防防护安全全距离 如下下图(二)所示。只能在在其范围围内组装装和装置置。有效效距离为为1米 (33尺)内。(图二)5.2.3静电电防护在在其控制制作业中中,每周指指派专人人进行技技术量测测和稽核核,并记录录于【EESD稽稽核检查查记录周周报表
12、】(PHHG-QQ4-PPE399)内。5.2.4每年年必须对对外包厂厂进行之之评鉴一一次以上上,记录于于【外包包厂ESSD 评评监报告告】(PPHG-Q4-PE442)内内,对不良良状况提提出改善善意见和和对策,并定期期进行追追踪处理理结果,记录于于【ESSD异常常处理对对策单】(PHHG-QQ4-PPE433)内。5.2.5矫正正措施:当静电电电压超过过1000V时,并对其其进行隔隔离,分析不不良原因因,加以改善,必须有有ESDD稽核员员。ESSD工程程师和EESD主主任3人以上上人员进进行确认认并记录录于【EESD异异常处理理对策单单】内。5.2.6紧急急事故处处理:当在静电电防护区区域
13、作业业时,发生意意外事故故时,应先考考虑是否否对人身安全全有危害害,并立即即采取措措施解决决.尔后,再考虑虑解决是是否对静静电防护有有破坏,并加以以改善。5.2.7对外外包厂商商静电防防护要求求:外包厂商商与公司司有直接接的业务务来往,为了质质量的提提升,为降低低不良的的发生,对其也也要作静静电防护护的要求求:5.2.7.11 生产产工艺: 在生生产制程程过程中中,须作静静电防护护。5.2.7.22 包装装:对静电电有敏感感之组件件(如:ICC.晶体体等)必须防防静电胶胶带包装装。5.2.7.33 运输输: 必须须把完成成品存放放于防静静电屏蔽蔽袋内而而运输,并标明明静电防防护标示示。如下下(
14、图三)所示。(图三)5.2.8 EESD管管理组职职: (附件三三).5.2.8.11 稽核核组织成成员:必须受过过ESDD正规的的教育训训练,是厂内内ESDD的技术术顾问,对静电防护护进行技技术的量量测。检检验和管管理,并制订订受训计计划和进进行倡导导,稽核组织织成员工工作职掌掌如(附件四四)所示。5.2.8.22静电防防护成员员:必须受过过静电防防护(EESD)正规训训练,获得ESSD资格格,对全厂厂内静电电防护进进行管理理和推动动实施。静电防防护之成成员必须须是生产产线班组组长以上上干部。工作职职掌如(附件四四)所示。5.3静静电(EESD)检查:5.3.1静电电ESDD每日自自我检查查
15、:各静电防防护(EESD)单位之之员工每每日上班班前进行行静电防防护自我我检查。5.3.1.11使用之之有线静静电环是是否测试试过。如如有测试试, 是否否记录于于【静电环环检查记录录表】(PHGG-Q44-PEE45)内。5.3.1.22在其工工作区域域内之静静电台垫垫是否接接地,台面是是否清洁洁,干凈。5.3.1.33在其工工作之工工作台面面上是否否有产生生静电物物(如:塑料带带(袋等)。5.3.1.44 仪器器.治具是是否完全全接地。5.3.1.55员工本本人使用用之烙铁铁是否33 Piin之插插头.若为2 Pinn应立即即通知所在单位位的负责责人联络络ESDD工程师师加以改改善。5.3.
16、1.66 检查查自己是是否有静静电防护护训练合合格后,所佩带带的ESSD认别别标示牌.如上上图(一)所示。5.3.1.77每个员员工进行行自我检检查后,并记录录于【ESDD每日自自我检查查记录表表】 (PPHG-Q4-PE446)内内.经所在在单位负负责人确确认后方方能上线线工作。5.3.2稽核核检查:为使静电电防护得得到彻底底的推动动执行和和质量提提升。能能及时发发现不良良现象,并并得到有有效之改改善。特特ESDD稽核小小组每月月内派专专人负责责稽核检检查,每周周依据稽稽核检查查程序进进行稽核核检查一一次。5.3.2.11 检查查所有员员工是否否依据自自我检查查程序进进行自我我检查,并有完完
17、整记录录。5 8 5.3.2.22量测工工作台垫垫静电电电压和阻阻抗的实实际示值值,静电电电压和阻阻抗是否否分别为为1000伏特以以下或110110 之间。5.3.2.33 量测测静电防防护区内内静电电电压是否否超过1100伏伏特。5.3.2.44有线静静电手环环是否有有不良现现象,如不良良现象,有无改改善措施施和对策策。5.3.2.55静电安安全区之之仪器.设备.工具是是否安全全接地。5.3.2.66每日上上班前所所有员工工是否进进行静电电手环测测试并记记录于静电环环检查记记录表不允许许没有带带静电腕腕环(或接地地线)的人靠靠近你的的静电安安全区11米(3尺)之内,告诉他他们在你你的区域域要
18、靠近近和触摸摸,任何对对象之前前的人,要带静静电腕环环(或接线线)才可进进入,而触摸摸元气件件必须佩佩带静电电手套。5.3.2.77 静电电防护控控制区域域是否有有状态标标示(如上图图二所示示).是否否划线列列出管制制。5.3.2.88仪器.治具是是否超出出1000伏特。5.3.2.99 静静电安全全区域所所有物品品均是否否低于1100伏伏特。5.3.2.110 IIC房.SMMT.AAI湿度度是否控控制在555%10%。5.3.2.111检查查静电防防护工作作区的接接地线是是否漏接接,损坏或或开路,断线现现象。5.3.2.112检查查工作区区是否会会产生静静电物.如未处处理塑料料袋.箱子.保
19、力龙龙,胶带或或个人用用品,最少离离ESDD敏感组组件1米(3尺)之距离离。5.3.2.113检查查所有的的ESDD敏感组组件,半成品品.成品是是否完全全的放在在导体容容器(导静电电篮子)内。5.3.2.114确认认装ESSD敏感感组件的的导体容容器(导静电电篮子)内没有有会产生生静电物。5.3.2.115确认认所有保保护容器器在外边边均有一一承认的的静电注注意标志志。如上上(图三)所示示。5.3.2.116 如如任一检检测项目目失败的的话,则未受受到保护护,ESSD敏感感组件不不许搬动动,直到改改善为止止,如执行行者不能能改善这这些错误误,则ESDD主任须须负责改改善。5.3.2.117 各
20、各部门有有责任将将其自我我检查及及执行情情形接受受班组长长之确认认,并将其其结果完完整记录录送交稽稽核小组组内存盘盘管制。5.3.2.118 EESD工工程师经经常执行行ESDD稽核使使ESDD控制的的标准化化能落实实。从他他们对部部门程序序的了解解,ESSD稽核核员应每每月一次次执行稽稽核。5.3.2.119执行行每月EESD自自我稽核核时,需确认认其程序序书仍是是可用的的,及能使使用正确的的仪器、设备,并须定定期受校校正检定定。5.3.2.220 当当发现不不符规定定的事项项能迅速速的采取取改善措措施。5.3.2.221 年年度稽核核在111-122月中进进行。5.3.2.222 稽稽核检
21、查查结果应应记录于于ESDD稽核检检查记录录表内。另: 稽核检检查表及及未列入入表内以以外的上上述内容容,如有不不良现象象发生,应出具具【ESSD异常常处理对对策单】,送出静静电防护护管理组组织相关关人员进进行对策策和加以以改善。5.3.2.223量规规仪器静静电区域域之管制制:静电防护护区域内内之仪器器.设备必必须安全全接地,其静电电电压值值不得超过1100VVolttagee,如果果超出仪仪器设备备必须进进行隔离离直至处处理改善善后方能能再投入入使用,并记录录【ESDD异常处处理对策策单】内。5.3.2.224 每每三个月月仪校中中心进行行静电保保护接地地是否良良好检查查,并记录录于ESS
22、D 季度度接地检检查记录录表】(PHHG-QQ4-PPE411)如内内。接地地电阻不不得超过过3。5.4 防静电电用品.装备之之质量检检验。5.4.1防静静电工作作服和帽帽:5.4.1.11 外观观质量:防静电电工作服服.帽外观观要求无无破损.斑点.污物以以及影响响衣、帽上之之性能缺缺陷.结构设设计要满满足穿着着轻便,舒适便便于解脱脱.服装上上一般不不得使用用金属或或橡胶佩佩件. 如金属属或橡胶胶带静电电之铭牌牌或商标标等。5.4.1.22静电量量检验: 对防防静电工工作服和和帽进行行静电量量测时.先进行行洗涤(不包含含新购入入未使用用服装和和帽),其洗涤涤条件应应符合(表一),并洗涤脱脱水自
23、然然晾干后后方可量量测.静电电电压不得得超过550伏特特。洗涤条件件项目条件项目条件洗涤方式式普洗洗涤液浓浓度2g/升升水温40+33溶比1:300水溶量30升以以上 (表表一) (注:洗涤剂剂呈中性性或微碱碱性 PPH=77-8)。5.4.2防静静电鞋: 5 85.4.2.11外观质质量: 鞋底应应无绝缘缘物,无裂纹纹.无开胶胶.无孔洞洞.鞋面不不得带有有金属或或其它带带静电橡橡胶铭牌牌等。5 85.4.2.22质量检检验:鞋底电电阻阻抗抗值应为为0.55 10 100 范围内内,鞋面电电压值不不得超过过1000伏特。5.4.3防静静电工作作台垫:表面阻阻抗应为为10 100 范围内内,鞋面
24、静静电值不不得超过过1000伏特。5.4.4防静静电零件件盒,周转箱箱.胶带。5.4.4.11外观质质量:应无裂裂纹,破损.不得有有明显变变形.并要求求盒箱表表面光滑滑,且胶带带必须柔柔软、光光滑。5.4.4.22质量检检验:静电量量不得超超过1000伏特特。5.4.5防静静电手环环:5.4.5.11外观质质量:手环带带应无毛毛刺.裂迹和和孔洞。865.4.5.22质量检检验:用静电电手环测测试器测测试是否否为GGOODD。6或用FLLUKEE55000A检检定电阻阻值在88.0 10 - 110 范围内内,并且手手环带引引出线必必须串接接一只110 电阻。注明: 以上防防静电用用品测试试不合
25、格格为A类不合合格.不可使使用.另外观观不合格为B类类不合格格.视其情情形酌情情考虑是是否可使使用之。5.6 防静电电测试器器之检验验:防静电测测试用之之仪器: 静电电手环测测试器.表面阻阻抗测试试器.静电电电压测试试仪.接地阻阻抗测试试器,依据【仪器设设备管制制计划表表】(PHHG-QQ4-CCC022)之校验周周期.计划划校验日日期进行送送出中中国电子子工业部部第五研研究所6601计计量站国家级级计量单单位检定定,或依据据厂内自自身校正正能力进进行内校校.检定失失效或不不合格则则进行改改善对策策,并记录录于【标准器器.量规.仪器校校正失效效记录表表】(PHHG-QQ4-CCC077)内。6
26、.0附附件:6.1新新进人员员静电防防护考试试题 (附件件一)6.2新新进人员员静电防防护考试试题 (附件件二)6.3 ESDD管理组组职图 (附件件三)6.4 ESDD管理组组职工作作职掌 (附件件四)6.5 ESDD稽核检检查记录录周报表表(PHHG-QQ4-PPE399)6.6外外包厂.协力厂厂ESDD评鉴报报告(PPHG-Q4-PE442)6.7 ESDD异常处处理对策策单(PPHG-Q4-PE443)6.8静静电环检检查记录录表(PPHG-Q4-PE445)6.9 ESDD每日自自我检查查记录表表(PHGG-Q44-PEE46)6.100 ESSD季度度接地检检查记录录表(PPHG-
27、Q4-PE441)6.111仪器设设备管制制计划表表(PHHG-QQ4-CCC022)6.122标准器器.量规.仪器校校正失效效记录表表(PHHG-QQ4-CCC077)7.0 相关文文件:7.1静静电防护护手册.7.2 静电基基础理论论附件三静电管理理组职图ELECCTROO STTATIIC DDISCCHARRGE(ESDD)MAANAGGEMEENT ORGGANIIZATTIONN静电主任ESD SUPERVISOR静电稽核组长ESD AUDIT FOREMAN静电工程师ESD AUDIT FOREMAN静电稽核员ESD AUDITOR静电组长ESD FOREMAN静电组长ESD F
28、OREMAN静电组长ESD FOREMAN附件四静电管理理组职工作职掌部门职称姓名第一代理理人第二代理理人工作职掌掌1.为设设备ESSD技术术咨询来来源制造部ESD主主任ESD工工程师ESD组组长2.主持持ESDD的相关关会议,对ESDD问题进进行分析析与检讨,并提出出对策.3.为设设备ESSD承诺诺根据的的管理者者和分配配者1.将各各部门自自我查核核的不服服从点报报告给EESD主任.制造部ESD工工程师ESD主主任ESD组组长2.对EESD问问题进行行分析与与检讨,并提出出改善对对策.3.督导导各ESSD组长长对ESSD工作作茖实.1.督导导各部门门ESDD稽核员员任务之之执行.2.负责责每
29、月的的自我检检查不服服从点.制造部ESD组组长ESD工工程师ESD主主任3.将稽稽核结果果呈报告告至ESSD主任任以为公公司整理.1.督导导ESDD稽核员员任务之之执行2.对稽稽核的自自我检查查之不服服从点提提出对策策制造部ESD稽稽核组长长ESD稽稽核员ESD主主任并加以改改善.3.将稽稽核结果果呈报告告至ESSD主任任以做为为公司之整理.1.稽核核每周及及每月的的ESDD自我检检查记录录落实情况.制造部ESD稽稽核员ESD稽稽核组长长ESD主主任2.稽核核生产在在线的EESD问问题点并并督导加加以改善善.3.不良良问题实实时回馈馈.4.对接接触敏感感组件或或区域之之单位或或个人进进行静电防防护训练练.