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1、 名称ESD静电电防护管管制程序序制订 张明丰丰 审核 李超凡凡 核准 张张政献1.0目 的: 在制造.组装.测试.包装或贮藏高敏感电子装置.装配或产品之区域, 须有有控制静静电的标标准,使其改改善产品品质量,提高生生产力.降低电电子产品品或敏感组件件受静电电的损害害,使本公公司以及及外包厂厂商,有一个个共同的的标准化化、高质质量化,可执行行之制度度,并满足足客户要要求。2.0范 围: 凡对对厂内、外外包厂商商等单位位之敏感感组件、组组装、装装配和产产品造成成损坏之区域或人人员均适适之。3.0定 义:3.1静电电(ELLECTTROSSTATTIC):3.1.11静电之之含义: 是物物体表面面
2、过剩或或不足的的静止电电荷,一种电电能形式式, 它它留存于于物体表表面,是正电电荷和负负电荷在在局部范范围内失失去平衡衡的 结结果,是通过过电子或或离子的的转移而而形成的的。3.1.22静电之之产生: 通过过摩擦、冲冲流、冷冷冻、电电解、压压电、温温差等所所产 生生的。 3.1.33静电产产生过程程:在工业业生产中中常见的的静电产产生物理理过程包包括:3.1.33.1固体体静电产产生包含含:接触带带电.金性属属与高分分固体的的接触带带 及断裂裂.压电效效应.热电效效应.剥离.电解等等)。3. 1. 3. 2粉粉体起电电。3. 1. 3 .3液液体起电电。 3.1.44静电现现象: 是电荷荷的产
3、生生和消失失的过程程中产生生的静电电现象的的总称。 3.1.55静电之之优缺点点: 静电电具有双双重性,即能为为人类造造福.即为利利用静电电应用技技术制造造出静电电复印.静电涂涂敷.静电除除尘等,但是.在电子子工业制制造中也也存在静静电危害害,现正在在日益表表露出来来并逐渐渐受人们们所重视视.其在电电子工业业领域的的静电危危害形式式如下: 静静电吸附附 静静电放电电引起的的器件击击穿(硬击穿穿.软击穿穿) 静静电感应应. 静静电放电电时产生生的电磁磁脉冲 3.2敏感感组件:电子组组件在电电子产品品制造业业上最为为普遍,最严重重的是静静电危害害.即电子子组件在在预处理理.焊接.清洗.单板测测试.
4、组装,调试.直到包包装,贮存,发送等等工序时时,由于接接触 - 分分离 - 摩擦擦 - 感应应等作用用,都会使使操作人人员.工具.工作台台面,电子组组件,电子组组件包装装容器等等产生静静电,同时会会随时对对电子组组件造成成静电损损害.因此.此类电电子组件件为静电电敏感组组件(如IC.晶体等等),总称称 敏感感组件。 3.3静电电释放: ESSD (ELEECTRROSTTATIIC DDISCCHARRGE)一种突突然产生生的静电电重新分分配,这对敏敏感组件件或装置置会造成成损坏。3.4静电电(ESSD)防防护安全全距离:为能使使容易受受静电破破坏之产产品.敏感组组件得到到有效安安全的保保护.
5、设立1米(3尺)保护范范围的安安全距离离。 3.5 EESD稽稽核员: 对静静电防护护的产品品.工作区区域.敏感组组件等进进行技术术性之量量测和处处理之专专业稽核核检查人人员。3.6特定定工作人人员:指正规规受训过过并考试试合格之之ESDD稽核员员和主管管级以上上干部。3.7自我我检查: 表示示工作区区域内之之全部人人员每日日上班前前对自己己工作区区域内静静 电防防护检查查。3.8保护护接地: 将电电气设备备.装置不不带电的的金属部部分与接接地体(地壤直直接接触触 的导导电金属属体)之间作作良好的的金属连连接。3. 9表表面阻抗抗: 表示示物体之之表面部部分与接接地线之之间的绝绝缘电阻阻阻抗数
6、数值, 通常用用奥姆()表示。3.10静静电电压压: 表示示物体表表面过剩剩或不足足的静止止电荷量量.用电压压伏(VVolttagee) 表表示。3.11防防静电屏屏蔽袋: 用防防静电材材料之包包装袋进进行成品品或半成成品包装装(适用于于客户要要求)。3.12导导体容器器: 用于于存放防防静电成成品,半成品品之导电电体容器器。 3.13有有线静电电手环: 为防防止人体体接触敏敏感组件件而造成成静电破破坏,佩带于于手(脚) 6 8 上的的防静电电物品,并用一一根导线线连接接接到大。.要求:手环上之电阻在 8.010 110范围内内.佩带手手环之紧紧度要接接触皮肤肤为准. 静电电手环又又俗称“静电
7、手手腕”。 6 93.14静静电手套套: 为防防止人手手触摸敏敏感组件件,使其上上汗.油污并并造成静静电破坏坏和 腐蚀,特佩带带防静电电的材料料制作成成的手套套,并要求求静电阻阻抗为110 10,范围内内,静电电电压为1100伏伏特以下下。3.15防防静电周周转箱: 为使使容易受受静电敏敏感之成成品.半成品品,存放于于用防静静电材 料制作作的容器器内,进行储储存或运运输.并要求求用防静静电材料料制作之之隔板进进 行隔离离。 3.16检检定: 即用标标准器对对被量测测之仪器器进行比比对.检定值值是否超超出误差差范围。 3.17内内校: 利用现现有的可可追溯到到国家或或国际之之标准器器,校正检检定
8、公司司内之仪仪器。 3.18校校正失效效: 用标标准器对对厂内仪仪器进行行量测比比对,被量测测之仪器器示值超超出 最大允允许误差差范围,则判定定为校正正不合格格. 即为为校正失失效。3.19校校验周期期: 仪器器设备视视其使用用频繁程程度,规定其其每年进进行校验验检定次次数。 即为校校验周期期。4.0权 责: 4.1仪校校中心负负责静电电(ESSD)控控制技术术指标.制订静静电防护护办法,以及工工作之倡倡导。4.2品保保单位.制造单单位.SSMT单单位.实施静静电防护护工作.并每日日进行自自我检查查,提报不不良状况况。4.3资材材部实施施静电保保护工作作.并对敏敏感之组组件和成成品.半成品品妥
9、善之之保存和和防护。4.4 生生技课EESD工工程师负负责对全全厂内静静电防护护单位和和个人进进行ESSD技术术性之控控制.量测.稽核和和处理改改善。 5.0 程程序内容容: 5.1 静静电(EESD)防护流流程图 新进员工特定工作人员 ESD训练合格静电防护区域工作或接触敏感组件(进入)ESD技术量测和监督 隔离. 改善静电电压超过100V 稽核小组 静电防护单位静电控制和自我检查 编写受训教材 考试不合格 5.2 作作业说明明:5.2.11 训练: 5.2.11.1对新新进员工工,必须进进行静电电防护(ESDD)之教教育训练练.受训时时间不低低 于于4小时。 5.2.11.2无受受过静电电
10、防护(ESDD)训练练培训者者,不可上上线静电电防护区区域或接接触敏感感组件。5.2.11.3特定定人员.静电防防护组织织成员,稽核小小组必须须定期受受训。5.2.11.4稽核核小组组组长拟订订教育育训练计计划表(附件一)并根据计划 表表对全厂厂员工受受训,受训时时必须作作出教育育训练记记录。 5.2.11.5受训训过静电电防护的的人员,必须有有静电防防护识别别标示(如下图图一所 示),分期期对人员员进行受受训。静电防护受训合格后上岗识别标示 (图一)5.2.11.6受训训后人员员必须进进行考试试,及格为为80分。考考试题目目如(附件二二)(附 件件三)所示。 5.2.11.7受训训课程必必须
11、包含含以下内内容: 受训内容 受训时时间 受训人人数 (不得得超过)静电之概念念 产生物物理过程程 1 H30静电之来源源.对半导导体组件件的不良良影响.0.5H30静电防护区区域之化化分及防防护措施施 0.5 HH30保护静电之之包装.运输.储存 0.5H30静电防护的的识别标标示. 0.5H30ESD管理理小组及及工作职职掌 0.5H30自我检查的的流程内内容及实实施 0.5H30 5.2.2 静电控控制区域域:凡对敏敏感组件件会造成成伤害之之区域必必须用班班玛带标标贴 静电(EESD防防护安全全距离 如下下图(二)所示。只只能在其其范围内内组装和和装置。有有效距离离为1米 (33尺)内。
12、 (图二)5.2.33静电防防护在其其控制作作业中,每周指指派专人人进行技技术量测测和稽核核,并记录录于【EESD稽稽核检查查记录周周报表】(PHG-Q4-PE39)内。 5.2.44 每年必必须对外外包厂进进行之评评鉴一次次以上,记录于于【外包包厂ESSD 评评监报告告】(PPHG-Q4-PE442)内内,对不良良状况提提出改善善意见和和对策,并定期期进行追追踪处理理结果,记录于于【ESSD异常常处理对对策单】(PHG-Q4-PE43)内。 5.2.55 矫正措措施: 当当静电电电压超过过1000V时,并对其其进行隔隔离,分析不不良原因因,加 以以改善,必须有有ESDD稽核员员。ESSD工程
13、程师和EESD主主任3人以上上人员进进行确认认并记录录于【EESD异异常处理理对策单单】内。5.2.66 紧急事事故处理理: 当当在静电电防护区区域作业业时,发生意意外事故故时,应先考考虑是否否对 人身身安全有有危害,并立即即采取措措施解决决.尔后,再考虑虑解决是是否对静静 电防防护有破破坏,并加以以改善。5.2.77 对外包包厂商静静电防护护要求: 外包厂厂商与公公司有直直接的业业务来往往,为了质质量的提提升,为降低低不良的的发生,对其也也要作静静电防护护的要求求:5.2.77.1 生产工工艺: 在生产产制程过过程中,须作静静电防护护。 5.2.77.2 包装:对静电电有敏感感之组件件(如:
14、ICC.晶体体等)必须防防静电胶胶带包装装。 5.2.77.3 运输: 必须把把完成品品存放于于防静电电屏蔽袋袋内而运运输,并标明明静电防防护标示示。如下下(图三)所示。 (图三)5.2.88 ESSD管理理组职: (附附件三). 5.2.88.1 稽核组组织成员员: 必必须受过过ESDD正规的的教育训训练,是厂内内ESDD的技术术顾问,对 静静电防护护进行技技术的量量测。检检验和管管理,并制订订受训计计划和进进行倡导导, 稽稽核组织织成员工工作职掌掌如(附件四四)所示。 5.2.88.2静电电防护成成员: 必须受受过静电电防护(ESDD)正规规训练,获得ESSD资格格,对全厂厂内静电电防护进
15、进行管理理和推动动实施。静静电防护护之成员员必须是是生产线线班组长长以上干干部。工工作职掌掌如(附件四四)所示。 5.3静电电(ESSD)检检查: 5.3.11静电ESSD每日日自我检检查: 各各静电防防护(EESD)单位之之员工每每日上班班前进行行静电防防护自我我检查。 5.3.11.1使用用之有线线静电环环是否测测试过。如如有测试试, 是否否记录于于【静电环环 检检查记录录表】(PHGG-Q44-PEE45)内。 5.3.11.2在其其工作区区域内之之静电台台垫是否否接地,台面是是否清洁洁,干凈。5.3.11.3在其其工作之之工作台台面上是是否有产产生静电电物(如:塑料带带(袋等)。5.3
16、.11.4 仪器.治具是是否完全全接地。5.3.11.5员工工本人使使用之烙烙铁是否否3 PPin之之插头.若为2 Pinn应立即即通知 所在单单位的负负责人联联络ESSD工程程师加以以改善。5.3.11.6 检查自自己是否否有静电电防护训训练合格格后,所佩带带的ESSD认别别标示 牌.如上图图(一)所示。 5.3.11.7每个个员工进进行自我我检查后后,并记录录于【ESDD每日自自我检查查记录表表】 (PHHG-QQ4-PPE466)内.经所在在单位负负责人确确认后方方能上线线工作。5.3.22 稽核检检查: 为为使静电电防护得得到彻底底的推动动执行和和质量提提升。能能及时发发现不良良 现象
17、象,并得到到有效之之改善。特特ESDD稽核小小组每月月内派专专人负责责稽核检检 查,每周依依据稽核核检查程程序进行行稽核检检查一次次。5.3.22.1 检查所所有员工工是否依依据自我我检查程程序进行行自我检检查,并有完完整记录录。5 8 55.3.2.22量测工工作台垫垫静电电电压和阻阻抗的实实际示值值,静电电电压和阻阻抗是否否分别为为1000伏特以以下或110110 之间。5.3.22.3 量测静静电防护护区内静静电电压压是否超超过1000伏特特。5.3.22.4有线线静电手手环是否否有不良良现象,如不良良现象,有无改改善措施施和对策策。5.3.22.5静电电安全区区之仪器器.设备.工具是是
18、否安全全接地。 5.3.22.6每日日上班前前所有员员工是否否进行静静电手环环测试并并记录于于静电电环检查查记录表表不允允许没有有带静电电腕环(或接地地线)的人靠靠近你的的静电安安全区11米(3尺)之内,告诉他他们在你你的区域域要靠近近和触摸摸,任何对对象之前前的人,要带静静电腕环环(或接线线)才可进进入,而触摸摸元气件件必须佩佩带静电电手套。 5.3.22.7 静电防防护控制制区域是是否有状状态标示示(如上图图二所示示).是否否划线列列出管制制。5.3.22.8仪器器.治具是是否超出出1000伏特。 5.3.22.9 静电电安全区区域所有有物品均均是否低低于1000伏特特。5.3.22.10
19、0 ICC房.SMMT.AAI湿度度是否控控制在555%10%。5.3.22.111检查静静电防护护工作区区的接地地线是否否漏接,损坏或或开路,断线现现象。5.3.22.122检查工工作区是是否会产产生静电电物.如未处处理塑料料袋.箱子.保力龙龙,胶带或或个人用用品,最少离离ESDD敏感组组件1米(3尺)之距离离。5.3.22.133检查所所有的EESD敏敏感组件件,半成品品.成品是是否完全全的放在在导体容容器(导静电电篮子)内。 5.3.22.144确认装装ESDD敏感组组件的导导体容器器(导静电电篮子)内没有有会产生生静电物。5.3.22.155确认所所有保护护容器在在外边均均有一承承认的
20、静静电注意意标志。如如上(图三)所示。5.3.22.166 如任任一检测测项目失失败的话话,则未受受到保护护,ESSD敏感感组件不不许搬动动,直到改改善为止止,如执行行者不能能改善这这些错误误,则ESDD主任须须负责改改善。5.3.22.177 各部部门有责责任将其其自我检检查及执执行情形形接受班班组长之之确认,并将其其结果完完整记录录送交稽稽核小组组内存盘盘管制。5.3.22.188 ESSD工程程师经常常执行EESD稽稽核使EESD控控制的标标准化能能落实。从从他们对对部门程程序的了了解,EESD稽稽核员应应每月一一次执行行稽核。5.3.22.199执行每每月ESSD自我我稽核时时,需确认
21、认其程序序书仍是是可用的的,及能使使 用正确确的仪器器、设备备,并须定定期受校校正检定定。5.3.22.200 当发发现不符符规定的的事项能能迅速的的采取改改善措施施。5.3.22.211 年度度稽核在在11-12月月中进行行。5.3.22.222 稽核核检查结结果应记记录于EESD稽稽核检查查记录表表内。另另: 稽核核检查表表及未列列入表内内以外的的上述内内容,如有不不良现象象发生,应出具具【ESSD异常常处理对对策单】,送出静电防护管理组织相关人员进行对策和加以改善。 5.3.22.233量规仪仪器静电电区域之之管制: 静电电防护区区域内之之仪器.设备必必须安全全接地,其静电电电压值值不
22、得超过过1000Volltagge,如如果超出出仪器设设备必须须进行隔隔离直至至处理改改善后方方能再投投入使用用,并记录录【ESDD异常处处理对策策单】内。5.3.22.244 每三三个月仪仪校中心心进行静静电保护护接地是是否良好好检查,并记录录于ESSD 季度度接地检检查记录录表】(PHHG-QQ4-PPE411)如内内。接地地电阻不不得超过过3。 5.4 防防静电用用品.装备之之质量检检验。5.4.11防静电电工作服服和帽: 55.4.1.11 外观观质量:防静电电工作服服.帽外观观要求无无破损.斑点.污物以以及影响响衣、帽上之之性能缺缺陷.结构设设计要满满足穿着着轻便,舒适便便于解脱脱.
23、服装上上一般不不得使用用金属或或橡胶佩佩件. 如金属属或橡胶胶带静电电之铭牌牌或商标标等。 5.4.11.2静电电量检验验: 对防防静电工工作服和和帽进行行静电量量测时.先进行行洗涤(不包含含新购入入未使用用服装和和帽),其洗涤涤条件应应符合(表一),并 洗洗涤脱水水自然晾晾干后方方可量测测.静电电电压不得得超过550伏特特。 洗涤条条件项目条件项目条件洗涤方式普洗洗涤液浓度度2g/升水温40+3溶比1:30水溶量30升以上上 (表一一) (注:洗涤剂剂呈中性性或微碱碱性 PPH=77-8)。 5.4.22防静电电鞋: 5 85.4.22.1外观观质量: 鞋底底应无绝绝缘物,无裂纹纹.无开胶胶
24、.无孔洞洞.鞋面不不得带有有金属或或其它带带静电橡橡胶铭牌牌等。5 85.4.22.2质量量检验:鞋底电电阻阻抗抗值应为为0.55 10 100 范围内内,鞋面电电压值不不得超过过1000伏特。5.4.33防静电电工作台台垫:表面阻阻抗应为为10 100 范围内内,鞋面静静电值不不得超过过1000伏特。 5.4.44防静电电零件盒盒,周转箱箱.胶带。 5.4.44.1外观观质量:应无裂裂纹,破损.不得有有明显变变形.并要求求盒箱表表面光滑滑,且胶带带必须柔柔软、光光滑。5.4.44.2质量量检验:静电量量不得超超过1000伏特特。 5.4.55防静电电手环: 5.4.55.1外观观质量:手环带
25、带应无毛毛刺.裂迹和和孔洞。 865.4.55.2质量量检验:用静电电手环测测试器测测试是否否为GGOODD。 6 或用用FLUUKE555000A检定定电阻值值在8.0 10 - 110 范围内内,并且手手环带引引出线必必须串接接一只110 电阻。 注明: 以上防防静电用用品测试试不合格格为A类不合合格.不可使使用.另外观观不合 格格为B类不合合格.视其情情形酌情情考虑是是否可使使用之。5.6 防防静电测测试器之之检验: 防静电电测试用用之仪器器: 静电电手环测测试器.表面阻阻抗测试试器.静电电电压测试试仪.接地阻阻抗测试试器,依据【仪器设设备管制制计划表表】(PHHG-QQ4-CCC022
26、)之校验周周期.计划划校验日日期进行送送出中中国电子子工业部部第五研研究所6601计计量站国国家级计计量单位位检定,或依据据厂内自自身校正正能力进进行内校校.检定失失效或不不合格则则进行改改善对策策,并记录录于【标准器器.量规.仪器校校正失效效记录表表】(PHHG-QQ4-CCC077)内。6.0附 件:6.1新进进人员静静电防护护考试题题 (附件一一) 6.2新进进人员静静电防护护考试题题 (附件二二) 6.3 EESD管管理组职职图 (附件三三)6.4 EESD管管理组职职工作职职掌 (附件四四)6.5 EESD稽稽核检查查记录周周报表(PHGG-Q44-PEE39)6.6外包包厂.协力厂
27、厂ESDD评鉴报报告(PPHG-Q4-PE442)6.7 EESD异异常处理理对策单单(PHHG-QQ4-PPE433)6.8静电电环检查查记录表表(PHHG-QQ4-PPE455)6.9 EESD每每日自我我检查记记录表(PHGG-Q44-PEE46)6.10 ESDD季度接接地检查查记录表表(PHHG-QQ4-PPE411)6.11仪仪器设备备管制计计划表(PHGG-Q44-CCC02)6.12标标准器.量规.仪器校校正失效效记录表表 (PHHG-QQ4-CCC077) 7.0 相相关文件件: 7.1静电电防护手手册.7.2 静静电基础础理论 附件三静 电 管管 理 组 职 图ELECTT
28、RO STAATICC DIISCHHARGGE(EESD)MANNAGEEMENNT OORGAANIZZATIION静电主任ESD SUPERVISOR静电稽核组长ESD AUDIT FOREMAN静电工程师ESD AUDIT FOREMAN静电稽核员ESD AUDITOR静电组长ESD FOREMAN静电组长ESD FOREMAN静电组长ESD FOREMAN附件四 静 电 管 理 组 职 工 作 职 掌部门职称姓名第一代理人人第二代理人人工作职掌1.为设备备ESDD技术咨咨询来源源制造部ESD主任任ESD工程程师ESD组长长2.主持EESD的的相关会会议,对ESDD问题进进行分析析与检
29、讨,并并提出对对策.3.为设备备ESDD承诺根根据的管管理者和和分配者者1.将各部部门自我我查核的的不服从从点报告告给ESSD主任.制造部ESD工程程师ESD主任任ESD组长长2.对ESSD问题题进行分分析与检检讨,并提出出改善对对策.3.督导各各ESDD组长对对ESDD工作茖茖实.1.督导各各部门EESD稽稽核员任任务之执执行.2.负责每每月的自自我检查查不服从从点.制造部ESD组长长ESD工程程师ESD主任任3.将稽核核结果呈呈报告至至ESDD主任以以为公司司整理.1.督导EESD稽稽核员任任务之执执行2.对稽核核的自我我检查之之不服从从点提出出对策制造部ESD稽核核组长ESD稽核核员ESD主任任并加以改善善.3.将稽核核结果呈呈报告至至ESDD主任以以做为公公司之整理.1.稽核每每周及每每月的EESD自自我检查查记录落落实情况.制造部ESD稽核核员ESD稽核核组长ESD主任任2.稽核生生产在线线的ESSD问题题点并督督导加以以改善.3.不良问问题实时时回馈.4.对接触触敏感组组件或区区域之单单位或个个人进行静电防护护训练.