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1、编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第17页 共17页 名称ESD静电防护管制程序 制订 张明丰 审核 李超凡 核准 张政献1.0目 的: 在制造.组装.测试.包装或贮藏高敏感电子装置.装配或产品之区域, 须有控制静电的标准,使其改善产品质量,提高生产力.降低电子产品或敏感组件受静电的损害,使本公司以及外包厂商,有一个共同的标准化、高质量化,可执行之制度,并满足客户要求。2.0范 围: 凡对厂内、外包厂商等单位之敏感组件、组装、装配和产品造成损坏之区域或人员均适之。3.0定 义:3.1静电(ELECTROSTATIC):3.1.1静电之含义: 是物体表面过剩或不足
2、的静止电荷,一种电能形式, 它留存于物体表面,是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的 结果,是通过电子或离子的转移而形成的。3.1.2静电之产生: 通过摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等所产 生的。 3.1.3静电产生过程:在工业生产中常见的静电产生物理过程包括:3.1.3.1固体静电产生包含:接触带电.金性属与高分固体的接触带 及断裂.压电效应.热电效应.剥离.电解等)。3. 1. 3. 2粉体起电。3. 1. 3 .3液体起电。 3.1.4静电现象: 是电荷的产生和消失的过程中产生的静电现象的总称。 3.1.5静电之优缺点: 静电具有双重性,即能为人类造福.即为利用静电应用技术制造出静电
3、复印.静电涂敷.静电除尘等,但是.在电子工业制造中也存在静电危害,现正在日益表露出来并逐渐受人们所重视.其在电子工业领域的静电危害形式如下: 静电吸附 静电放电引起的器件击穿(硬击穿.软击穿) 静电感应. 静电放电时产生的电磁脉冲 3.2敏感组件:电子组件在电子产品制造业上最为普遍,最严重的是静电危害.即电子组件在预处理.焊接.清洗.单板测试.组装,调试.直到包装,贮存,发送等工序时,由于接触 - 分离 - 摩擦 - 感应等作用,都会使操作人员.工具.工作台面,电子组件,电子组件包装容器等产生静电,同时会随时对电子组件造成静电损害.因此.此类电子组件为静电敏感组件(如IC.晶体等),总称 敏感
4、组件。 3.3静电释放: ESD (ELECTROSTATIC DISCHARGE)一种突然产生的静电重新分配,这对敏感组件或装置会造成损坏。3.4静电(ESD)防护安全距离:为能使容易受静电破坏之产品.敏感组件得到有效安全的保护.设立1米(3尺)保护范围的安全距离。 3.5 ESD稽核员: 对静电防护的产品.工作区域.敏感组件等进行技术性之量测和处理之专业稽核检查人员。3.6特定工作人员:指正规受训过并考试合格之ESD稽核员和主管级以上干部。3.7自我检查: 表示工作区域内之全部人员每日上班前对自己工作区域内静 电防护检查。3.8保护接地: 将电气设备.装置不带电的金属部分与接地体(地壤直接
5、接触 的导电金属体)之间作良好的金属连接。3. 9表面阻抗: 表示物体之表面部分与接地线之间的绝缘电阻阻抗数值, 通常用奥姆()表示。3.10静电电压: 表示物体表面过剩或不足的静止电荷量.用电压伏(Voltage) 表示。3.11防静电屏蔽袋: 用防静电材料之包装袋进行成品或半成品包装(适用于客户要求)。3.12导体容器: 用于存放防静电成品,半成品之导电体容器。 3.13有线静电手环: 为防止人体接触敏感组件而造成静电破坏,佩带于手(脚) 6 8 上的防静电物品,并用一根导线连接接到大。.要求:手环上之电阻在 8.010 10范围内.佩带手环之紧度要接触皮肤为准. 静电手环又俗称“静电手腕
6、”。 6 93.14静电手套: 为防止人手触摸敏感组件,使其上汗.油污并造成静电破坏和 腐蚀,特佩带防静电的材料制作成的手套,并要求静电阻抗为10 10,范围内,静电电压为100伏特以下。3.15防静电周转箱: 为使容易受静电敏感之成品.半成品,存放于用防静电材 料制作的容器内,进行储存或运输.并要求用防静电材料制作之隔板进 行隔离。 3.16检定: 即用标准器对被量测之仪器进行比对.检定值是否超出误差范围。 3.17内校: 利用现有的可追溯到国家或国际之标准器,校正检定公司内之仪器。 3.18校正失效: 用标准器对厂内仪器进行量测比对,被量测之仪器示值超出 最大允许误差范围,则判定为校正不合
7、格. 即为校正失效。3.19校验周期: 仪器设备视其使用频繁程度,规定其每年进行校验检定次数。 即为校验周期。4.0权 责: 4.1仪校中心负责静电(ESD)控制技术指标.制订静电防护办法,以及工作之倡导。4.2品保单位.制造单位.SMT单位.实施静电防护工作.并每日进行自我检查,提报不良状况。4.3资材部实施静电保护工作.并对敏感之组件和成品.半成品妥善之保存和防护。4.4 生技课ESD工程师负责对全厂内静电防护单位和个人进行ESD技术性之控制.量测.稽核和处理改善。 5.0 程序内容: 5.1 静电(ESD)防护流程图 新进员工特定工作人员 ESD训练合格静电防护区域工作或接触敏感组件(进
8、入)ESD技术量测和监督 隔离. 改善静电电压超过100V 稽核小组 静电防护单位静电控制和自我检查 编写受训教材 考试不合格 5.2 作业说明:5.2.1 训练: 5.2.1.1对新进员工,必须进行静电防护(ESD)之教育训练.受训时间不低 于4小时。 5.2.1.2无受过静电防护(ESD)训练培训者,不可上线静电防护区域或接触敏感组件。5.2.1.3特定人员.静电防护组织成员,稽核小组必须定期受训。5.2.1.4稽核小组组长拟订教育训练计划表(附件一)并根据计划 表对全厂员工受训,受训时必须作出教育训练记录。 5.2.1.5受训过静电防护的人员,必须有静电防护识别标示(如下图一所 示),分
9、期对人员进行受训。静电防护受训合格后上岗识别标示 (图一)5.2.1.6受训后人员必须进行考试,及格为80分。考试题目如(附件二)(附 件三)所示。 5.2.1.7受训课程必须包含以下内容: 受训内容 受训时间 受训人数 (不得超过)静电之概念 产生物理过程 1 H30静电之来源.对半导体组件的不良影响.0.5H30静电防护区域之化分及防护措施 0.5 H30保护静电之包装.运输.储存 0.5H30静电防护的识别标示. 0.5H30ESD管理小组及工作职掌 0.5H30自我检查的流程内容及实施 0.5H30 5.2.2 静电控制区域:凡对敏感组件会造成伤害之区域必须用班玛带标贴 静电(ESD防
10、护安全距离 如下图(二)所示。只能在其范围内组装和装置。有效距离为1米 (3尺)内。 (图二)5.2.3静电防护在其控制作业中,每周指派专人进行技术量测和稽核,并记录于【ESD稽核检查记录周报表】(PHG-Q4-PE39)内。 5.2.4 每年必须对外包厂进行之评鉴一次以上,记录于【外包厂ESD 评监报告】(PHG-Q4-PE42)内,对不良状况提出改善意见和对策,并定期进行追踪处理结果,记录于【ESD异常处理对策单】(PHG-Q4-PE43)内。 5.2.5 矫正措施: 当静电电压超过100V时,并对其进行隔离,分析不良原因,加 以改善,必须有ESD稽核员。ESD工程师和ESD主任3人以上人
11、员进行确认并记录于【ESD异常处理对策单】内。5.2.6 紧急事故处理: 当在静电防护区域作业时,发生意外事故时,应先考虑是否对 人身安全有危害,并立即采取措施解决.尔后,再考虑解决是否对静 电防护有破坏,并加以改善。5.2.7 对外包厂商静电防护要求: 外包厂商与公司有直接的业务来往,为了质量的提升,为降低不良的发生,对其也要作静电防护的要求:5.2.7.1 生产工艺: 在生产制程过程中,须作静电防护。 5.2.7.2 包装:对静电有敏感之组件(如:IC.晶体等)必须防静电胶带包装。 5.2.7.3 运输: 必须把完成品存放于防静电屏蔽袋内而运输,并标明静电防护标示。如下(图三)所示。 (图
12、三)5.2.8 ESD管理组职: (附件三). 5.2.8.1 稽核组织成员: 必须受过ESD正规的教育训练,是厂内ESD的技术顾问,对 静电防护进行技术的量测。检验和管理,并制订受训计划和进行倡导, 稽核组织成员工作职掌如(附件四)所示。 5.2.8.2静电防护成员: 必须受过静电防护(ESD)正规训练,获得ESD资格,对全厂内静电防护进行管理和推动实施。静电防护之成员必须是生产线班组长以上干部。工作职掌如(附件四)所示。 5.3静电(ESD)检查: 5.3.1静电ESD每日自我检查: 各静电防护(ESD)单位之员工每日上班前进行静电防护自我检查。 5.3.1.1使用之有线静电环是否测试过。
13、如有测试, 是否记录于【静电环 检查记录表】(PHG-Q4-PE45)内。 5.3.1.2在其工作区域内之静电台垫是否接地,台面是否清洁,干凈。5.3.1.3在其工作之工作台面上是否有产生静电物(如:塑料带(袋等)。5.3.1.4 仪器.治具是否完全接地。5.3.1.5员工本人使用之烙铁是否3 Pin之插头.若为2 Pin应立即通知 所在单位的负责人联络ESD工程师加以改善。5.3.1.6 检查自己是否有静电防护训练合格后,所佩带的ESD认别标示 牌.如上图(一)所示。 5.3.1.7每个员工进行自我检查后,并记录于【ESD每日自我检查记录表】 (PHG-Q4-PE46)内.经所在单位负责人确
14、认后方能上线工作。5.3.2 稽核检查: 为使静电防护得到彻底的推动执行和质量提升。能及时发现不良 现象,并得到有效之改善。特ESD稽核小组每月内派专人负责稽核检 查,每周依据稽核检查程序进行稽核检查一次。5.3.2.1 检查所有员工是否依据自我检查程序进行自我检查,并有完整记录。5 8 5.3.2.2量测工作台垫静电电压和阻抗的实际示值,静电电压和阻抗是否分别为100伏特以下或1010 之间。5.3.2.3 量测静电防护区内静电电压是否超过100伏特。5.3.2.4有线静电手环是否有不良现象,如不良现象,有无改善措施和对策。5.3.2.5静电安全区之仪器.设备.工具是否安全接地。 5.3.2
15、.6每日上班前所有员工是否进行静电手环测试并记录于静电环检查记录表不允许没有带静电腕环(或接地线)的人靠近你的静电安全区1米(3尺)之内,告诉他们在你的区域要靠近和触摸,任何对象之前的人,要带静电腕环(或接线)才可进入,而触摸元气件必须佩带静电手套。 5.3.2.7 静电防护控制区域是否有状态标示(如上图二所示).是否划线列出管制。5.3.2.8仪器.治具是否超出100伏特。 5.3.2.9 静电安全区域所有物品均是否低于100伏特。5.3.2.10 IC房.SMT.AI湿度是否控制在55%10%。5.3.2.11检查静电防护工作区的接地线是否漏接,损坏或开路,断线现象。5.3.2.12检查工
16、作区是否会产生静电物.如未处理塑料袋.箱子.保力龙,胶带或个人用品,最少离ESD敏感组件1米(3尺)之距离。5.3.2.13检查所有的ESD敏感组件,半成品.成品是否完全的放在导体容器(导静电篮子)内。 5.3.2.14确认装ESD敏感组件的导体容器(导静电篮子)内没有会产生静电物。5.3.2.15确认所有保护容器在外边均有一承认的静电注意标志。如上(图三)所示。5.3.2.16 如任一检测项目失败的话,则未受到保护,ESD敏感组件不许搬动,直到改善为止,如执行者不能改善这些错误,则ESD主任须负责改善。5.3.2.17 各部门有责任将其自我检查及执行情形接受班组长之确认,并将其结果完整记录送
17、交稽核小组内存盘管制。5.3.2.18 ESD工程师经常执行ESD稽核使ESD控制的标准化能落实。从他们对部门程序的了解,ESD稽核员应每月一次执行稽核。5.3.2.19执行每月ESD自我稽核时,需确认其程序书仍是可用的,及能使 用正确的仪器、设备,并须定期受校正检定。5.3.2.20 当发现不符规定的事项能迅速的采取改善措施。5.3.2.21 年度稽核在11-12月中进行。5.3.2.22 稽核检查结果应记录于ESD稽核检查记录表内。另: 稽核检查表及未列入表内以外的上述内容,如有不良现象发生,应出具【ESD异常处理对策单】,送出静电防护管理组织相关人员进行对策和加以改善。 5.3.2.23
18、量规仪器静电区域之管制: 静电防护区域内之仪器.设备必须安全接地,其静电电压值不 得超过100Voltage,如果超出仪器设备必须进行隔离直至处理改善后方能再投入使用,并记录【ESD异常处理对策单】内。5.3.2.24 每三个月仪校中心进行静电保护接地是否良好检查,并记录于ESD 季度接地检查记录表】(PHG-Q4-PE41)如内。接地电阻不得超过3。 5.4 防静电用品.装备之质量检验。5.4.1防静电工作服和帽: 5.4.1.1 外观质量:防静电工作服.帽外观要求无破损.斑点.污物以及影响衣、帽上之性能缺陷.结构设计要满足穿着轻便,舒适便于解脱.服装上一般不得使用金属或橡胶佩件. 如金属或
19、橡胶带静电之铭牌或商标等。 5.4.1.2静电量检验: 对防静电工作服和帽进行静电量测时.先进行洗涤(不包含新购入未使用服装和帽),其洗涤条件应符合(表一),并 洗涤脱水自然晾干后方可量测.静电电压不得超过50伏特。 洗涤条件项目条件项目条件洗涤方式普洗洗涤液浓度2g/升水温40+3溶比1:30水溶量30升以上 (表一) (注:洗涤剂呈中性或微碱性 PH=7-8)。 5.4.2防静电鞋: 5 85.4.2.1外观质量: 鞋底应无绝缘物,无裂纹.无开胶.无孔洞.鞋面不得带有金属或其它带静电橡胶铭牌等。5 85.4.2.2质量检验:鞋底电阻阻抗值应为0.5 10 10 范围内,鞋面电压值不得超过1
20、00伏特。5.4.3防静电工作台垫:表面阻抗应为10 10 范围内,鞋面静电值不得超过100伏特。 5.4.4防静电零件盒,周转箱.胶带。 5.4.4.1外观质量:应无裂纹,破损.不得有明显变形.并要求盒箱表面光滑,且胶带必须柔软、光滑。5.4.4.2质量检验:静电量不得超过100伏特。 5.4.5防静电手环: 5.4.5.1外观质量:手环带应无毛刺.裂迹和孔洞。 865.4.5.2质量检验:用静电手环测试器测试是否为GOOD。 6 或用FLUKE5500A检定电阻值在8.0 10 - 10 范围内,并且手环带引出线必须串接一只10 电阻。 注明: 以上防静电用品测试不合格为A类不合格.不可使
21、用.另外观不合 格为B类不合格.视其情形酌情考虑是否可使用之。5.6 防静电测试器之检验: 防静电测试用之仪器: 静电手环测试器.表面阻抗测试器.静电电压测试仪.接地阻抗测试器,依据【仪器设备管制计划表】(PHG-Q4-CC02)之校验周期.计划校验日期进行送出中国电子工业部第五研究所601计量站国家级计量单位检定,或依据厂内自身校正能力进行内校.检定失效或不合格则进行改善对策,并记录于【标准器.量规.仪器校正失效记录表】(PHG-Q4-CC07)内。6.0附 件:6.1新进人员静电防护考试题 (附件一) 6.2新进人员静电防护考试题 (附件二) 6.3 ESD管理组职图 (附件三)6.4 E
22、SD管理组职工作职掌 (附件四)6.5 ESD稽核检查记录周报表(PHG-Q4-PE39)6.6外包厂.协力厂ESD评鉴报告(PHG-Q4-PE42)6.7 ESD异常处理对策单(PHG-Q4-PE43)6.8静电环检查记录表(PHG-Q4-PE45)6.9 ESD每日自我检查记录表(PHG-Q4-PE46)6.10 ESD季度接地检查记录表(PHG-Q4-PE41)6.11仪器设备管制计划表(PHG-Q4-CC02)6.12标准器.量规.仪器校正失效记录表 (PHG-Q4-CC07) 7.0 相关文件: 7.1静电防护手册.7.2 静电基础理论 附件三静 电 管 理 组 职 图ELECTRO
23、 STATIC DISCHARGE(ESD)MANAGEMENT ORGANIZATION静电主任ESD SUPERVISOR静电稽核组长ESD AUDIT FOREMAN静电工程师ESD AUDIT FOREMAN静电稽核员ESD AUDITOR静电组长ESD FOREMAN静电组长ESD FOREMAN静电组长ESD FOREMAN附件四 静 电 管 理 组 职 工 作 职 掌部门职称姓名第一代理人第二代理人工作职掌1.为设备ESD技术咨询来源制造部ESD主任ESD工程师ESD组长2.主持ESD的相关会议,对ESD问题进行分析与检讨,并提出对策.3.为设备ESD承诺根据的管理者和分配者1.
24、将各部门自我查核的不服从点报告给ESD主任.制造部ESD工程师ESD主任ESD组长2.对ESD问题进行分析与检讨,并提出改善对策.3.督导各ESD组长对ESD工作茖实.1.督导各部门ESD稽核员任务之执行.2.负责每月的自我检查不服从点.制造部ESD组长ESD工程师ESD主任3.将稽核结果呈报告至ESD主任以为公司整理.1.督导ESD稽核员任务之执行2.对稽核的自我检查之不服从点提出对策制造部ESD稽核组长ESD稽核员ESD主任并加以改善.3.将稽核结果呈报告至ESD主任以做为公司之整理.1.稽核每周及每月的ESD自我检查记录落实情况.制造部ESD稽核员ESD稽核组长ESD主任2.稽核生产在线的ESD问题点并督导加以改善.3.不良问题实时回馈.4.对接触敏感组件或区域之单位或个人进行静电防护训练.第 17 页 共 17 页