(2)--薄膜材料基础.ppt

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薄膜材料基础一、定义:由离子、原子或分子沉积过程形成的二维材料。可以理解为采用一定方法使处于某种状态的一种或几种物质(原材料)的基团以物理或化学的方式附着于另一种物质(衬底材料)表面并在其表面形成一层新的薄层物质。二、特征:1 具有二维延展性,其厚度方向的尺寸远小于其它方向的尺寸。2 不管能否形成自持(自支撑)的薄膜,必须有衬底材料,即只有在衬底材料表面才能获得薄膜。薄膜厚度尺寸很小,小于几十微米,显示明显的尺寸效应,表面出现块体材料不具备的力、声、热、电、光等物理性质。三.分类结晶状态材料类别物理功能四.制备方法物理制备方法、化学制备方法制备中应考虑的主要问题:1.制备方法的选择与技术的提高。2.工艺流程的优化及平面工艺的兼容性。3.降低制备成本与提高薄膜器件性能间平衡。4.制备过程的安全性及对环境影响等。

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