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1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称： 珠海迈时光电科技有限公司扩建项目建设单位（盖章）：珠海迈时光电科技有限公司 编制日期：二二二年八月 中华人民共和国生态环境部制目录一、建设项目基本情况 1二、建设项目工程分析 7三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准41四、主要环境影响和保护措施 47五、环境保护措施监督检查清单71六、结论 73附表 74附图 1 项目地理位置图 76附图 2 项目四至图77附图 3 项目四至现状图 78附图 4 项目总平面布置图79附图 5 生产车间总平面布置图 80附图 6 项目大气环境敏感保护目标分布图 82附图 7 大气功能区划图83附图 8 项目
2、区域海水功能区划图 84附图 9 珠海市香洲区陆域环境管控单元图 85附图 10 声环境功能区划图 86附图 11 珠海市土地利用总体规划图87附图 12 项目污水系统现状总图 88附图 13 马骝洲水道水质监测点位图89附图 14 噪声监测点位图 90附图 15 珠海市饮用水水源保护区区划图91一、建设项目基本情况建设项目名称珠海迈时光电科技有限公司扩建项目建设地点广东省（自治区）珠海市香洲（区）珠海大道 4333 号汇威工 业园 7 栋 2 、3 层地理坐标（东经 113 度 26 分 8.484 秒，北纬 22 度 11 分 54.618 秒）国民经济行业类别C4040 光学仪 器制造建
3、设项目行业类别三十七、仪器仪表制造业40（83-光学仪器制造 404）建设性质新建（迁建） 改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报 项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项 目项目审批（核准/ 备案）部门（选填）/项目审批（核准/ 备案）文号（选填）/是否开工建设否是：用地面积（m2）1253.44专项评价设置情况/规划情况/规划环境影响 评价情况/规划及规划环境影响评价符合性分析/1其他符合性分析1 、产业政策符合性分析本项目主要从事微光学芯片产品的研发、生产与销售等业务，本扩建项 目行业类别为“C4040 光学仪器制造 ”，产品主要为快轴透镜、Diffuser（扩
4、散片）、硅微透镜阵列、石英微透镜阵列。不属于产业结构调整指导目录（2019 年本）鼓励类、限制类、淘汰类，即属于允许类。根据市场准入负面清单（2022 年版），项目的产品方案、工艺和选用的设备均不属于禁止准入的类别，因此，本项目符合国家产业政策。根据珠海市产业发展导向目录（2020 年本）分类，分为优先发展类、 鼓励发展类、限制发展类和禁止发展类四类，本项目“微光学芯片 ”属于“优 先发展类 ”中“6.新一代信息技术（35）光通信 ”类别，因此，本项目符合珠海市产业政策。综上所述，本项目符合国家和地方有关产业政策要求。2 、选址合理性分析本扩建项目选址位于珠海市香洲区珠海大道 4333 号汇威
5、工业园 7 栋 2、 3 层，在租赁的已建厂房内进行建设，项目用地地块及厂房权属珠海市汇威 科技有限公司所有，项目所在地地块已于 2020 年取得珠海市人民政府颁发 的不动产权证书粤（2020）珠海市不动产权第 0046454 号） ，用途为工业 用地，不涉及占用宅基地、基本农田、饮用水源、自然保护区等保护区，因此本项目用地符合的要求。3 、与广东省“三线一单 ”生态环境分区管控方案（粤府202071 号）相符性分析“三线一单”是指生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线以及环境准入负面清单。项目与“三线一单”文件相符性分析具体见下表：表 1-1 项目与广东省“三线一单 ”文件相符性分析文件类
6、别项目与“三线一单 ”文件相符性分析符 合 性广东省“三线一单 ”生态环境生态保护 红线根据广东省“三线一单 ”生态环境分区管控方案 （粤府202071 号），本工程所在区域位于重点管控单元。 本项目生产废水不外排，对周边水环境质量无影响，项目 生产过程中不产生、不排放有毒有害大气污染物，不涉及 有机溶剂型油墨、涂料等高挥发性有机物原辅材料。因此 本项目不属于重点管控单元中限制行业。项目所在地位于 珠海市香洲区珠海大道 4333 号汇威工业园，周边无自然保符 合2分区管控方案护区等其重点生态功能区、生态环境敏感区和脆弱区，不 属于生态红线区域。环境质量 底线本项目所在区域环境功能区划执行环境空
7、气质量标 准(GB3095-2012)二级标准和地表水环境质量标准 （GB3838-2002）三类标准，项目所在区域为声环境 3 类区。 本项目在运营期内有废水、废气、噪声及固废等污染物排 放，通过采取有效的保护措施控制，确保废水、废气、噪 声及固废等污染物达标排放，不会对项目所在地的环境质 量造成恶化。符 合资源利用 上线本项目用水供应来自供水部门，用电用市政电网供给， 资源消耗量相对区域资源利用总量较少，符合当地规划要 求，符合资源利用上线要求。符 合环境准入 负面清单本项目不属于市场准入负面清单（2022 年本）中 的禁止或许可事项，符合环境准入负面清单要求。符 合4 、与珠海市人民政府
8、关于印发珠海市“三线一单 ”生态环境分区管控方案的通知（珠府202138 号）相符性根据珠海市人民政府关于印发珠海市“三线一单”生态环境分区管控方 案的通知（珠府202138号），项目位于广东省珠海市香洲区珠海大道4333 号汇威工业园，环境管控单元编码为ZH44040220004 ，属于重点管控单元。 对比生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和环境准入负面清单的符合性分析见下表。表1-2 项目与珠海市 “三线一单”符合性分析表文件类别项目与“三线一单 ”文件相符性分析相 符 性珠海市 “三线一 单 ”生态 环境分区 管控方案生态保护 红线根据广东省环境保护规划纲要（20062020年），
9、本 项目在所在区域不属于生态红线区域。经查珠海市人民 政府办公室关于印发珠海市生态控制线划定工作方案的通 知珠府办函2015204号，本项目不属于划定的生态控 制线管制范围内，符合生态保护红线要求。符 合环境质量 底线本项目所在区域环境功能区划执行环境空气质量标 准(GB3095-2012)二级标准和地表水环境质量标准 （GB3838-2002）三类标准，项目所在区域为声环境3类区。 本项目在运营期内有废水、废气、噪声及固废等污染物排 放，通过采取有效的保护措施控制，确保废水、废气、噪 声及固废等污染物达标排放，不会对项目所在地的环境质 量造成恶化。符 合资源利用 上线本项目用水供应来自供水部
10、门，用电用市政电网供给， 资源消耗量相对区域资源利用总量较少，符合当地规划要 求，符合资源利用上线要求。符 合生区管控要求鼓励发展智能家电、智能制造装备、办公自符3态 环 境 准 入 清 单域 布 局 管 控 要 求动化及打印耗材产业。不得引入制革、洗选、印染等对水 环境污染严重的企业。工业企业选址应按照国土空间规划， 环保规划等相关要求，避免影响生活空间。禁止在单元区 域内建设畜禽养殖场、养殖小区。本项目为C4040光学仪器制造，不属于禁止类、限制 类产业；项目所在地位于珠海市香洲区珠海大道4333号汇 威工业园，选址按照国土空间规划，环保规划等相关要求 不影响生活空间。合能 源 资 源 利
11、 用 要 求本项目用水供应来自供水部门，用电用市政电网供给， 资源消耗量相对区域资源利用总量较少，符合当地规划要 求，符合资源利用上线要求。符 合污 染 物 排 放 管 控项目废气严格落实国家产品VOCs含量限值标准排放， 废水处理达标后排入市政污水管网，固体废物（含危险废 物）配套建设符合规范且满足需求的贮存场所，贮存、强 化转移过程中防扬散、防流失、防渗漏及其它防止污染环 境的措施。根据广东省生态环境厅关于做好重点行业建设 项目挥发性有机物总量指标管理工作的通知 （粤环发 20192号），本项目为C4040光学仪器制造，不属于重 点行业，总量由生态环境分配。符 合环 境 风 险 防 控本项
12、目严格执行风险管理制度，从人员培训、意外事 故紧急应变组织、意外事故紧急救灾程序、提高风险防范 能力。保证在风险、事故状态下，生产装置内人员得到安 全、妥善的处置。符 合5 、与广东省生态环境保护“十四五 ”规划（粤环202110 号）相符性分析根据广东省生态环境厅关于印发 的通知（粤环202110 号），“禁止新建、扩建燃用高污染燃料的 设施，已建成的按要求改用天然气、电或者其他清洁能源 ”。本项目用电来源于市政供电，不使用高污染燃料。“大力推进低 VOCs 含量原辅材料源头替代，严格落实国家和地方产 品 VOCs 含量限值质量标准，禁止建设生产和使用高 VOCs含量的溶剂型 涂料、油墨、胶
13、粘剂等项目。严格实施 VOCs 排放企业分级管控，全面推 进涉 VOCs 排放企业深度治理。开展中小型企业废气收集和治理设施建设、 运行情况的评估，强化对企业涉 VOCs 生产车间/工序废气的收集管理，推动企业开展治理设施升级改造 ”。本项目不使用高 VOCs含量的原辅材料，4拟将车间设置成密闭生产空间，加强有效收集有机废气。因此，本项目与广东省生态环境保护“十四五 ”规划（粤环202110号）的要求相符。6 、与广东省人民政府办公厅关于印发广东省 2021 年大气、水、土壤污染防治工作方案的通知（粤办函202158 号）的相符性分析根据关于印发广东省 2021 年大气、水、土壤污染防治工作方
14、案的通 知（粤办函202158 号）“持续推进挥发性有机物综合治理，实施低 VOCs 含量产品源头替代工程，全面深化涉 VOCs排放企业的深度治理 ”。 本项目产品严格落实国家产品 VOCs含量限值标准要求，使用符合国家、省要求的低 VOCs含量原辅材料。本扩建项目拟将车间设置成密闭生产空间，加强有效收集有机废气，在 每台废气产物设备顶部排气管口接驳负压抽排管道收集废气，并经二级活性炭吸附装置处理后引至 28m排气筒高空排放。因此，本项目与广东省人民政府办公厅关于印发广东省 2021 年大气、水、土壤污染防治工作方案的通知（粤办函202158 号）的要求相符。7 、与珠海市固体废物污染防治“十
15、四五 ”规划的相符性分析根据珠海市固体废物污染防治“十四五 ”规划“持续推进固体废物 源头减量和资源化利用，最大限度减少填埋量，健全珠海市固体废物污染防 治体系，优化固体废物处置结构和布局，加强固体废物污染防治能力建设， 提升生态环境管理水平，防范生态环境风险，最终实现整个城市固体废物产生量最小化、资源化利用充分、处置安全的目标。 ”。本扩建项目严格落实“十四五 ”规划目标指标体系，生活垃圾交由环卫 部门处置，一般工业固体废物交由回收单位、一般固废回收单位回收处理，危险废物交由有危险废物处理资质的单位回收。因此，本项目与珠海市固体废物污染防治“十四五 ”规划的要求相符。8 、与珠海市实施差别化
16、环保准入指导意见（珠环201728 号）的相符性分析根据广东省实施差别化环保准入促进区域协调发展的指导意见（粤5环201427 号）中“严控高污染高能耗项目：不再新建、扩建高污染高能 耗项目、重污染项目；全市严格控制配套电镀、陶瓷项目；严格控制发展化 学原料药；严格控制新建化工、线路板项目。”本扩建项目不属于高污染高 能耗项目，以生态安全格局和主体功能区划定位为基础优化产业布局，以环 境资源承载力为前提合理确定产业发展规模，与园区治污相统一，严格按照环境标准、总量控制。“积极推动能源结构调整：禁止新建燃煤燃油火电机组，新建项目禁止 配套建设自备燃煤电站 ”本项目用电来源于市政供电，不使燃煤燃油
17、火电机组。因此，本项目与珠海市实施差别化环保准入指导意见（珠环201728号）的要求相符。6二、建设项目工程分析建设 内容1 、项目概况珠海迈时光电科技有限公司原建设地点为珠海市香洲区珠海大道 4333 号汇 威工业园 7 栋 1 层，租用汇威科技有限公司占地面积为 1253.44m2 ，建筑面积 1253.44m2 ，主要布置加工生产车间、仓库、办公室等。年产硅微透镜阵列 1500 万个、石英微透镜阵列 500 万个。现因发展需要，项目需要扩大建设规模。扩建 位置为珠海市香洲区珠海大道 4333 号汇威工业园 7 栋 2 、3 层，租用汇威科技有 限公司占地面积为 1253.44m2 的场地
18、，总建筑面积 2479.92m2，本扩产项目占地面积无变化，建筑面积增加 2479.92m2。扩建项目拟投资 2000 万元，增加快轴透镜、Diffuser（扩散片）两种产品生 产线，预计年产快轴透镜 30 万个、Diffuser（扩散片）100 万个。按照国民经 济行业分类（GB/T47542017）属于“C4040 光学仪器制造 ”。根据建设 项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目属于“三十七、仪器仪 表制造业 40 ”中 83-光学仪器制造 404 的“其他（仅分割、焊接、组装的 除外； 年用非溶剂型低 VOCs含 量涂料 10 吨以下的除外）”。按照其对应的环境影响评价
19、类别如下。表 2-1 环境影响评价类别（摘录）环评类别项目类别报告书报告表登 记 表三十七、仪器仪表制造业 4080通用仪器仪表制造 401；专用仪器 仪表制造 402；钟表与计时仪器制 造 403*；光学仪器制造 404；衡器 制造 405；其他仪器仪表制造业 409有电镀工艺的； 年用溶剂型涂料 （含稀释剂）10吨及以上的其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶剂型低 VOCs 含量涂料10 吨以下的除外）/本项目主要生产硅微透镜阵列、石英微透镜阵列快轴透镜、Diffuser（扩散片）。 其中 Diffuser（扩散片）工艺中涉及的镍板转印（电铸）工序，不在本项目场地设立该工序，委外处理。
20、因此，本项目应编制环境影响报告表。表 2-2 与本项目相关的环保手续情况一览表环评情况项目名称建设地址总投资建设规模验收情况排污口 规范化 登记证2021 年取 得批复珠海迈时 光电科技珠海市香 洲区珠海1000万元主要从事微 光芯片生产，2022 年 1 月完 成珠海迈时光已办理7,（珠环建 表2021 113 号）有限公司微光学芯片产线建设项目大道 4333号汇威工业园 7 栋1 层其中硅微透 镜年生产能 力为 1500 万 个，石英微透 镜 500 万个电科技有限公司微光学芯片产线建设项目自主验收2 、工程内容项目扩建前后的工程内容如下表：表 2-3 建设项目工程组成一览表工程类别扩建前
21、扩建后变化主体工程汇威工业园 7 栋 1 层租用汇威科技有限公司总占地面积为 1253.44m2，建筑面积 1253.44m2。主要包括硅微透镜阵列、石英微透镜阵列加工生产车间、原辅料仓库、危险废物间等汇威工业园 7 栋 1 层租用汇威科技有限公司总占地面积为 1253.44m2 ，建筑面积1253.44m2 。主要包括硅微透镜阵列、石英微透镜阵列加工生产车间、原辅料仓库、 危险废物间等清洗工序把多槽式清洗机换为半柜式清洗机/汇威工业园 7 栋 2 层租用汇威科技有限公司，建筑面积1239.96m2 。主要包括快轴透镜、Diffuser（扩散片）加工生产车间、原辅料仓库等建筑面积+1479.9
22、2m2 。增设快轴透镜、Diffuser（扩散片）加工生产线车间/汇威工业园 7 栋 3 层租用汇威科技有限公司，建筑面积1239.96m2 。主要是为了安装氮气管道而租赁第三层，空置建筑面积+1479.92m2公 用 工 程给水给水量：2550t/a给水量：2073.6 t/a给水量-476t/a（清 洗工序更换清洗 机用水量减少），由市政自来水管 网供水供电电用量：110 万千瓦时/年电用量：275 万千瓦时/年电用量+165 万千 瓦时/年，由市政电 网供电站供给，配 置供电间（不配备发电机）依托工程依托园区已建设的污水管网、雨水管网不变环 保 工 程废水 处理 设施（1）依托汇园区内已
23、有的三级化粪池处理生活污水；（2）处理能力 10m3/d 的废水处理站处理项目清洗废水及浓盐水，采用“混凝-生化-沉淀 ”处理工艺，建设规范化排污口，废水排入工业区污水管网不变废气 处理 设施一层生产工区建成密闭生 产空间，每台废气产污设 备顶部排气管口接驳负压 抽排管道收集废气，经二 级活性炭吸附装置处理后 引至 28m排气筒高空排放二层生产工区建成密闭生产空间，每台废气产污设备顶部排气管口接驳负压抽排管道收集废气，经二级活性炭吸附装置处理后引至 28m排气筒高空排放增设二层产污设备顶部排气管口接驳负压抽排管道收集废气固废（1）生活垃圾：垃圾集中收集 由当地环卫部门清运处不变8处理 设施理；
24、（2）一般固废：设置一般固废储存场所，分类收集和储 存，定期由相关单位回收处置；（3）危险废物：设置一个危废暂存间储存，分类收集和 储存，定期由有相关资质的危废单位收运处置噪声 处理 设施采取合理布局、基础减振、建筑物隔声和屏障消声等措 施不变风 险 防 范 工 程火灾 防范 措施生产车间、仓库配置灭火器、消防栓等不变分区防 渗、 防漏 防范 措施化学品仓库、清洗工区、废水处理设施、危废暂存间等区域按重点防渗区要求进行防渗处理，其他区域按一般防渗要求处理。使用及储存场地进行硬底化及防渗处理，设置漫坡围堰；压力气体应设置专门存放区不变消防 水池依托园区使用规格为 13m x 8m x 2.5m不
25、变3 、水平衡项目扩建前生产用水和生活用水总用水量为 2550t/a，硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺的生产用水量为 2370t/a。项目扩建后，现有硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺将更换清洗工序，把 多槽式清洗机换为半柜式清洗机，用水量将缩减，将由原来的 2370t/a 缩减为 531.6t/a ，故项目扩建后硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺生产用水削减量为1838.4t/a。所以扩建后总给水量为 2550- 1838.4+12+1350=2073.6t/a。表 2-4 扩建项目用水量及废水排放量项目用水量t/a损耗量 t/a排放量t/a生活用水13501351215硅微透镜阵列、石英微透镜
26、阵列 工艺生产用水（531.6t/a）纯水（265.8t/a）清 洗1.80.181.62划 片264144120浓水265.8/265.8快轴透镜、Diffuser（扩散片）工 艺生产用水（12t/a）纯水（6t/a）清 洗60.65.4浓水6/6合计1893.6279.781613.829注：项目划片冷却循环水量约为 1t/h ，按年加工 4800h 计，冷却循环水量约 为 4800t/a。参考工业循环水冷却设计规范（GB/T50102-2014），并结合项目 实际情况，本项目划片冷却风吹与蒸发损失水率约为循环水量的 3% ，则本项目划片冷却循环蒸发水量约为 144t/a。图 2-1 扩建
27、项目水平衡图图 2-2 项目扩建后全厂水平衡图4 、产品产能及生产工艺本项目现有产品为硅微透镜阵列、石英微透镜阵列，扩建后产品为硅微透镜 阵列、石英微透镜、快轴透镜、Diffuser（扩散片），扩建后增加产品产能，主要产能及生产工艺如下表：表 2-5 产品产能一览表类别产品种类扩建前扩建后变化产品产能硅微透镜阵列1500 万个/a1500 万个/a不变石英微透镜阵 列500 万个/a500 万个/a不变快轴透镜/30 万个/a+30 万个/aDiffuser（扩散 片）/100 万个/a+100 万个/a10序 号5 、工作制度和劳动人员表 2-6 劳动定员及工作制度情况表变化不变职工 +13
28、5 人类别 扩建前 扩建后工作制度年工作时间 300 天，每日 2 班制， 年工作时间 300 天，每日 2 班每班 8 小时 制，每班 8 小时劳动定员 职工共 15 人 职工共 150 人6 、主要生产设备表 2-7 项目主要生产设备一览表名称备注数量（台）现有扩建后 变化量注：项目不设备用发电机。表 2-8 项目主要环保设施一览表数量（台）序 号123456备注废气处理 废气处理 废气处理 废气处理生产废水处理 生活污水处理扩建后111111现有111111变化量000000名称引风机1#活性炭吸附装置2#活性炭吸附装置排气筒P1废水处理站三级化粪池117 、原辅材料表 2-9 项目主要
29、原辅材料一览表序 号原辅材料名称计 量 单 位年用量 变化量储 存 方 式储 存 位 置最大存 储量 （t）备注扩建前扩建后128 、原辅材料理化性质表 2-10 部分原辅材料理化性质一览表名称理化性质131415. .168 、扩建项目总平面布置及周边布置总平面布置：珠海迈时光电科技有限公司位于珠海市香洲区珠海大道 4333 号租用汇威工业园 7 栋 1 、2 、3 层。1 层主要为硅微透镜阵列、石英微透镜阵列加工生产车间、原辅料仓库、危 险废物暂存间等；2 层主要为快轴透镜、Diffuser（扩散片）加工生产车间、原辅料仓库；3 层空置。详细平面布置图见附图 5。周边布置：项目现东面相距
30、25 米为汇威工业园 5 栋员工休息生活楼；南面为市政道路，道路对面是建设空地；西面为相距厂界约 150 米的待迁移的广昌旧村；北面为相距厂界约 20 米的汇威工业园 4 栋（六层式砼柱框架结构混凝土工业厂房）；西北面是汇威工业园 3 栋六层式砼柱框架结构混凝土工业厂房，一层、二层为珠海稻盛科技有限公司。项目四至图及四至现状图详见附图 2 、附图 3。1 、本次扩建工艺流程（1）快轴透镜工艺流程：工艺流程和产排污环节17图 2-3 快轴透镜工艺流程图工艺流程简述：1）超声清洗：把玻璃片原材料放进超声波清洗机的清洗槽中，对玻璃片进 行超声波清洗，挑出不良品。此过程产生清洗废水、有机废气、不良品固
31、体废物、噪声。2）烘烤干燥：清洗完毕的玻璃片进行烘烤干燥，挑出不良品。烘箱温度为40-70 。此过程产生不良品固体废物、噪声。3）模压：烘烤干燥完毕后的玻璃片原材料，进入模压机在加温加压和无氧 的条件下，一次性直接模压成型，挑出不良品。此过程产生氮气、不良品固体废物、噪声。4）性能检测：对模压成型的玻璃用台阶仪进行性能检测，挑出不良品。此过程产生不良品固体废物。5）外观挑拣：通过显微镜对成品经行外观挑拣。此过程产生不良品固体废物。主要污染因素：1）废水（W）：清洗废水；2）废气（G）：有机废气、氮气废气；3）噪声（N）：超声清洗机、模压机等机械设备噪声；184）固废（S）：不良品固体废物。（2
32、）Diffuser（扩散片）工艺流程图 2-4 Diffuser 工艺流程图工艺流程简述：1）超声清洗：把玻璃片原材料放进超声波清洗机的清洗槽中，对玻璃片进 行超声波清洗，挑出不良品。此过程产生清洗废水、有机废气、不良品固体废物、噪声。2）烘烤干燥：清洗完毕的玻璃片进行烘烤干燥，挑出不良品。烘烤干燥温度为 100 。此过程产生不良品固体废物、噪声。3）PDMS 制作：PDMS 模具在真空手套箱中成型，将调配好的 PDMS 溶剂 与镍板模板放置于手套箱中，开启真空泵，真空度达到-0. 1MPa 时，通过外接手 套将 PDMS 溶剂缓慢倒入镍板模板中，静置，等待 PDMS 流平，工序完成，此过程产
33、生不良品、噪声。194）镍板转印（电铸）（外发）：把预先按所需形状制成的原模作为阴极， 用电铸材料作为阳极，一同放入与阳极材料相同的金属盐溶液中，通以直流电。 在电解作用下，原模表面逐渐沉积出金属电铸层，达到所需的厚度后从溶液中取 出，将电铸层与原模分离，便获得与原模形状相对应的金属复制件。电镀时要求 得到与基体结合牢固的金属镀层，以达到防护、装饰等目的，而电铸层要和芯模分离，其厚度也远大于电镀层。5）热压转印：首先将光学塑料片放置于热压模具中，使用热压机对热压模 具进行加热加压，塑料成型后冷却降压，取出成品。热压机温度为 180 。此过程产生不良品固体废物、噪声。6）光敏转印：将 UV 光敏
34、胶涂抹于基底表面，在涂好胶的基片上压上透明 模板，UV 灯照射固化胶水，脱膜后形成产品。此过程产生不良品固体废物、噪声。7）划切/冲压：冲床对材料施以压力，使其塑性变形，而得到所要求的形状 与精度，因此必须配合一组模具，将材料置于其间，由机器施加压力，使其变形， 加工时施加于材料之力所造成之反作用力，由冲床机械本体所吸收。此过程产生不良品、噪声。8）光学镀膜：将被镀基片固定于蒸镀机顶部的夹具上，通过加热将蒸镀机 底部膜料气化，膜料上升沉积于基片表面完成光学镀膜。此过程产生不良品固体废物、噪声。主要污染因素：1）废水（W）：清洗废水；2）废气（G）：有机废气；3）噪声（N）：超声清洗机、冲压机等
35、机械设备噪声；4）固废（S）：废包装材料、不良品固体废物。（3）硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺流程扩建后硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺把原有多槽清洗机更换为半柜式清洗机，工艺流程大致不变，清洗剂种类、纯水用量有所改变。20图 2-5 硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺流程图工艺流程简述：1）原材料企业按要求外购所需的原材料单晶硅晶圆和石英晶圆。通常由生产单位或专业供应商采用汽车运输到厂。该晶圆是半导体集成电路制作所用的原材料。2）来料检测晶圆需经过质检合格后方可用于产品加工，检验出不合格的原材料将退回给供应商。213）原料清洗与干燥工序项目晶圆原材料使用无水乙醇和纯净水进行清洗，以清洗晶圆原
36、材料表面杂 质，使晶圆表面达到纯净状态。此环节产生有机废气、清洗废水、废包装物料、噪声。4）匀胶在密闭恒温洁净的生产车间内，使用玻璃片托板加上热浆蜡粘贴较薄的晶圆 片，蜡液冷却固化后将晶圆片固定下来。项目使用密闭的匀胶机将光刻胶自动均 匀地涂覆在晶圆片表面。因光刻胶含 VOCs成分，此工序产生有机废气、废包装物料、噪声。5）烘干 1在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用配置密闭通风橱的热板装置预烘 干涂覆光刻胶的晶圆片。热板装置常用温度为 85 , 100 , 135 , 170 。此工序产生有机废气、噪声。6）曝光在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用密闭精密的光刻机对晶圆片光刻 胶涂层进行
37、自动精细的光刻曝光加工。工作温度为 19-25C ，每批次光刻曝光加 工时间约 5min。光刻曝光原理为：光刻机使用图形软件，经激光装置产生的细微激光束执行光刻指令进行强弱曝光（即光雕刻）。不使用传统遮挡形曝光的胶片。7）显影在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用密闭的显影机和显影液材料对上工序晶圆片进行显影加工处理。此过程产生显影废液、废包装物料、噪声。8）检测 1在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用显微镜检测上工序晶圆片。检验出极少量的晶圆片不良品可祛除胶膜后回用于加工。9）烘干 2在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用密闭烘箱对已显影的晶圆片光刻胶涂层进行烘干固化。烘箱温度为 40-7
38、0 。此工序产生有机废气、噪声。10）检测 2在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用显微镜检测上工序晶圆片。检验22出极少量的晶圆片不合格品。11）蚀刻在密闭恒温洁净的生产车间内，项目拟使用密闭自动的蚀刻机和蚀刻材料对上工序晶圆片进行蚀刻加工处理。此蚀刻工序产生有机废气、噪声。12）除硅油清洗用硅油清洗机除晶圆片上的硅油。此工序产生清洗废水。13）检测 3项目拟使用白光干涉仪检测蚀刻工序加工晶圆片。检验出极少量的晶圆片不良品。14）外发镀膜项目拟将上述加工好的晶圆片外委专业加工单位镀膜处理。15）划片项目使用密闭的划片机将已镀膜的晶圆片进行划片加工，按工艺要求将晶圆 片分割成微光学元件。项目使
39、用超纯净水冷却加工刀具。此工序产生清洗废水、加工料渣、噪声。16）成品清洗与干燥项目使用专业上述清洗机对晶圆片加工成品进行清洗。此清洗环节产生有机废气、清洗废水、废包装物料、噪声。17）检验项目人工目视检验晶圆片加工成品。检验出极少量的晶圆片不合格品。18）包装项目使用真空封装机将晶圆片加工成品进行包装。19）产品将包装好的晶圆片加工成品入库贮存待销。主要污染因素：1）废气（G）：有机废气；2）废水（W）：清洗废水、显影废液；3）噪声（N）：机械设备噪声；4）固废（S）：废包装物料、不合格品、加工料渣。232 、扩建项目产排污环节表 2-11 扩建产排污情况类别产物环节主要污染物治理措施废气快
40、轴透镜、Diffuser（扩散片）工艺超声清 洗VOCs设备顶部排气管口接驳负压抽排管道收集废气，并经二级活性炭吸附装置处理后引至 28m排气筒高空排放硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺清洗 1干燥 1匀 胶烘干 1烘干 2蚀 刻清洗 3干燥 2污水处理站臭气加强污水处理站周边绿化废水生活污水CODcr 、BOD5、SS 、NH3-N 、动 植物油经三级化粪池处理达标后排入南区 水质净化厂处理快轴透镜、Diffuser（扩散片）工艺超声清 洗废水CODcr 、BOD5、 SS、NH3-N、LAS经自建污水处理站处理达标后排入市政污水管网，排至南区水质净化厂硅微透镜阵列、石英微透镜阵列工艺清洗 2
41、CODcr 、BOD5、 SS、NH3-N、LAS划 片清洗 4除硅油 清洗纯水装置浓水噪声机械设备噪声通过选用低噪声设备、合理布局、 加强维护和釆取减振、隔声、消声 等处理措施及控制经营时间，加强 管理，降低噪声对周围环境的影响固 体 废 物一般 固体 废物生产过程不合格品由供应商回收，不外排废包装材料由相关回收公司回收纯水装置废石英砂定期交给一般固废处理单位处理废活性炭废 PP 棉折叠滤 芯24废 PP 棉折叠滤 芯废 PP 棉滤芯废一级 RO 反渗 透膜废二级 RO 反渗 透膜废抛光树脂生活垃圾经营场 所生活垃圾交由环卫部门清理运走危险废物生产过 程废包装材料 （HW49）暂存于危险废物暂存间， 由有危险废物处理资质的单位回收处理废气处 理设施废活性炭（HW49）污水处 理设施污泥（HW17