洁净室需要检测的7个基础项目.docx

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1、洁净室需要检测的7个基础项目检测项目:风速风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒 子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度等。具体可以参考洁净室检 测相关标准。01风速风量换气次数洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气, 以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净 室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流 型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空 气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性 是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、 更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注 的检测项目。非单

2、向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内 的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合 理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净 室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试 项目。为了获得可重复的读数,记录各测点风速的时间平均值。换气次数:根据洁净室总风量除以法净室的容积求得02温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般 测试和综合测试。第一个档次适用于处于空态的交竣验收测试, 第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于 对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进 行这项检

3、测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每 个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳 定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才 开始测量,测量时间不少于5分钟。这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各 空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状 态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、 由平面布置上与外界最远的里间房间开始,依次向外测试;有孔 洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气 流流向等等。03压差检测要求1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下 进行;2)在

4、洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一 直检测到直通室外的房间;3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口 面与气流流线平行;4)所测量记录的数据应精确到l.OPa。压差检测步骤:1)先关闭所有的门;2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊 与外界之间的压差;3)记录所有数据。压差标准要求:按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负 压值。1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静 压差,应不小于5Pa;2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于lOPa;3)对于空气洁净度等级严于5级(100级)的单向流洁净 室在开门时,门内0.6m处的室内工作

5、面含尘浓度应不大于相应 级别的含尘浓度限值;4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风 量、至合格为止。04悬浮粒子A、室内测试人员必须穿洁净服,不得超过2人,应位于测 试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作 要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰;B、设备要在校准期内使用;C、检测前和检测后设备“清零”;D、在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样, 进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无 法做到这一点,将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样 点,采样口应竖直向上;E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8T. 2m

6、左右,要均匀科学布点,而且 要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的 数目都不得少于2个,总采样数可根据面积开2次根求得。最少 采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8- 1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或 关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。全部采样结束后,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不 少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污 染。05沉降菌工作区测点位置离地0. 8-1. 2m左右,将已制备好的培养皿 置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿 盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时, 每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。06噪声测量高度距离地面约1.2米,洁净室面积在15平方以下 者,可只测室中心1点;面积在15平方米以上,还应再测对角 4点,距侧墙各1米,测点朝向各角。07照度测点平面离地面0.8米左右,按2米间距布点,30平方米 以内的房间测点距边墙0. 5米,超过30平方米的房间测点距离 墙面1米。

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