集成电路期末考试知识点答案.pdf

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1、1、哪 一 年 在 哪 儿 独 创 了 晶 体 管？独 创 人 哪 一 年 获 得 了 诺 贝 尔 奖？1947贝 尔 试 验 室 肖 克 来 波 拉 坦 巴 丁 独 创 了 晶 体 管 1956获 诺 贝 尔 奖 2、世 界 上 第 一 片 集 成 电 路 是 哪 一 年 在 哪 儿 制 造 出 来 的？独 创 人 哪 一 年 为 此 获 得 诺 贝 尔 奖？Jack k ilb y德 州 仪 器 公 司 1958年 独 创 2。0。获 诺 贝 尔 奖 3、什 么 是 晶 圆？晶 圆 的 材 料 是 什 么？晶 圆 是 指 硅 半 导 体 集 成 电 路 制 作 所 用 的 硅 晶 片，材

2、料 是 硅 4、目 前 主 流 集 成 电 路 设 计 特 征 尺 寸 已 经 到 达 多 少？预 料 2 0 1 6年 能 实 现 量 产 的 特 征 尺 寸 是 多 少？主 流 0.18um 22nm5、晶 圆 的 度 量 单 位 是 什 么？当 前 主 流 晶 圆 的 尺 寸 是 多 少？英 寸 12英 寸 6、摩 尔 是 哪 个 公 司 的 创 始 人？什 么 是 摩 尔 定 律？英 特 尔 芯 片 上 晶 体 管 数 每 隔 18个 月 增 加 一 倍 7、什 么 是 S oC?英 文 全 拼 是 什 么？片 上 系 统 System On Chip8、说 出 Foundry、Fab

3、less和 Chipless的 中 文 含 义。代 工 无 消 费 线 无 芯 片 9、一 套 掩 模 一 般 只 能 消 费 多 少 个 晶 圆？1000个 晶 圆 10、什 么 是 有 消 费 线 集 成 电 路 设 计？电 路 设 计 在 工 艺 制 造 单 位 内 部 的 设 计 部 门 进 展11、什 么 是 集 成 电 路 的 一 体 化(IDM)实 现 形 式？设 计 制 造 和 封 装 都 集 中 在 半 导 体 消 费 厂 家 内 进 展 12、什 么 是 集 成 电 路 的 无 消 费 线(Fabless)设 计 形 式？只 设 计 电 路 而 没 有 消 费 线 13、一

4、 个 工 艺 设 计 文 件(PDK)包 含 哪 些 内 容？器 件 的 SPICE参 数、幅 员 设 计 用 的 层 次 定 义、设 计 规 则 和 晶 体 管 电 阻 电 容 等 器 件 以 和 通 孔 焊 盘 等 根 本 构 造 幅 员，及 设 计 工 具 关 联 的 设 计 规 则 检 查、参 数 提 取、幅 员 电 路 图 比 照 用 的 文 件。14、设 计 单 位 拿 到 P D K文 件 后 要 做 什 么 工 作？利 用 CAD/EDA工 具 进 展 电 路 设 计 仿 真 等 一 系 列 操 作 最 终 生 成 以 GDS-II格 式 保 存 的 幅 员 文 件，然 后 发

5、 给 代 工 单 位。15、什 么 叫“流 片”？像 流 水 线 一 样 通 过 一 系 列 工 艺 步 骤 制 造 芯 片。16、给 出 几 个 国 内 集 成 电 路 代 工 或 转 向 代 工 的 厂 家。上 海 中 芯 国 际 上 海 宏 力 半 导 体 上 海 华 虹 N E C上 海 贝 岭 无 锡 华 润 华 晶 杭 州 士 兰 常 州 柏 玛 微 电 子 17、什 么 叫 多 工 程 晶 圆(MPW)?M P W 英 文 全 拼 是 什 么？将 多 个 运 用 一 样 工 艺 的 集 成 电 路 设 计 放 在 同 一 晶 圆 片 上 流 片，完 成 后 每 个 设 计 可 以

6、 得 到 数 十 片 芯 片 样 品 Multi-Project-Wafer18、集 成 电 路 设 计 需 要 哪 些 学 问 范 围？系 统 学 问，电 路 学 问，工 具 学 问，工 艺 学 问 19、对 于 通 信 和 信 息 学 科，所 包 括 的 系 统 有 哪 些？程 控 系 统，无 线 通 信 系 统，光 纤 通 信 系 统 等；信 息 学 科：有 各 种 信 息 处 理 系 统。20、RFIC、M M IC和 M 31c是 何 含 义？射 频 电 路 微 波 单 片 集 成 电 路 毫 米 波 单 片 集 成 电 路 21、闻 名 的 集 成 电 路 分 析 程 序 是 什

7、么？有 哪 些 闻 名 公 司 开 发 了 集 成 电 路 设 计 工 具？SPICE 程 序 Cadence、Synopsis 和 Mentor Graphics 等 公 司 22、从 事 逻 辑 电 路 级 设 计 和 晶 体 管 级 电 路 设 计 需 要 驾 驭 哪 些 工 具？逻 辑：驾 驭 VHDL或 Verilog HD1等 硬 件 语 言 描 绘 和 相 应 的 分 析 和 综 合 工 具 晶 体 管：驾 驭 SPICE或 类 似 的 电 路 分 析 工 具。23、为 了 使 得 I C 设 计 胜 利 率 高，设 计 者 应 当 驾 驭 哪 些 主 要 工 艺 特 征？从 芯

8、 片 外 延 和 掩 膜 制 作，光 刻，材 料 淀 积 和 刻 蚀，杂 质 扩 散 或 注 入，到 滑 片 封 装 的 全 过 程。24、SSL MSI、LSI、VLSL U L S I的 中 文 含 义 是 什 么？英 文 全 拼 是 什 么？SSI(small-scale integration)小 规 模 集 成 电 路；MSI(Middle-scaleintegration)中 规 模 集 成 电 路；LSI(large-scale integration)大 规 模 集 成电 路；VLSI(very-large-scale integration)甚 大 规 模 集 成 电 路 U

9、LSI(Ultra-large-scale integration)超 大 规 模 集 成 电 路。-2-1、电 子 系 统 特 殊 是 微 电 子 系 统 应 用 的 材 料 有 哪 几 类？导 体 半 导 体 绝 缘 体 2、集 成 电 路 制 造 常 用 的 半 导 体 材 料 有 哪 些？硅、神 化 钱、磷 化 锢 3、为 什 么 说 半 导 体 材 料 在 集 成 电 路 制 造 中 起 着 根 本 性 的 作 用？集 成 电 路 通 常 制 作 在 半 导 体 衬 底 材 料 上，集 成 电 路 的 根 本 元 件 是 根 据 半 导 体 特 性 构 成。4.半 导 体 材 料 得

10、 到 广 泛 应 用 的 缘 由 是 什 么？参 杂、温 度、光 照 都 可 以 变 更 半 导 体 导 电 实 力，以 和 多 种 由 半 导 体 形 成 构 造 中，注 入 电 流 会 放 射 光（发 光 二 极 管）5、Si、GaAs、In P三 种 根 本 半 导 体 材 料 中，电 子 迁 移 率 最 高 的 是 哪 种？最 低 的 是 哪 种？GaAs Si6、在 过 去 4 0 年 中，基 于 硅 材 料 的 多 种 成 熟 工 艺 技 术 有 哪 些？双 极 性 晶 体 管（BJT）、结 型 场 效 应 管（J-FET）、P 型 场 效 应 管（PMOS）、N 型 场 效 应

11、管（NMOS）、互 补 型 金 属-氧 化 物-半 导 体 场 效 应 管（CMOS）和 双 极 性 管 CMOS（BiCMOS）等 7、硅 基 最 先 进 的 工 艺 线 晶 圆 直 径 已 到 达 多 少？0.13umCMOS工 艺 制 成 的 C P U运 行 速 度 已 达 多 少？12英 寸 2Ghz8、为 什 么 市 场 上 90%的 I C 产 品 都 是 基 于 S i工 艺 的？原 料 丰 富、技 术 成 熟、价 格 低 9、及 S i材 料 相 比，G aA s具 有 哪 些 优 点？l.G aAs中 非 平 衡 少 子 饱 和 漂 移 速 率 大 约 是 S i的 4倍，

12、2.在 GaAs中，电 子 和 空 穴 可 干 脆 复 合，而 S i不 行。3.GaAs中 价 带 及 导 带 之 间 的 禁 带 为 1.43eV,大 于 Si 的 1.1 leV10.G a A s晶 体 管 最 高 工 作 频 率 f T 可 达 多 少？而 最 快 的 S i晶 体 管 能 到 达 多 少？150Ghz 几 十 GHz11、基 于 G a A s的 集 成 电 路 中 有 哪 几 种 有 源 器 件？MESFET、HEMT和 HBT三 种 有 源 器 件。12、为 什 么 说 In P合 适 做 发 光 器 件 和 OEIC?In P中 电 子 及 空 穴 的 复 合

13、 是 干 脆 进 展 的 13、I C 系 统 中 常 用 的 几 种 绝 缘 材 料 是 什 么？SiO2 SiON、Si3N414、什 么 是 欧 姆 接 触 和 肖 特 基 接 触？在 半 导 体 外 表 制 作 金 属 层 后，假 如 参 杂 浓 度 较 高，隧 道 效 应 抵 消 势 垒 的 影 响 形 成 欧 姆 接 触：假 如 参 杂 浓 度 较 低，金 属 和 半 导 体 结 合 面 就 形 成 肖 特 基 接 触。15、多 晶 硅 的 特 点？多 晶 硅 是 单 质 硅 的 一 种 形 态、特 性 随 结 晶 度 及 杂 质 原 子 而 变 更、应 用 广 泛 16、在 M

14、O S和 双 极 型 器 件 中，多 晶 硅 可 用 来 做 什 么?栅 极、源 极 及 漏 极（或 双 极 器 件 的 基 区 及 放 射 区）的 欧 姆 接 触、根 本 连 线、薄 PN结 的 扩 散 源、高 值 电 阻 等 17、什 么 是 材 料 系 统？由 一 些 根 本 材 料，如 在 Si,GaAs或 InP制 成 的 衬 底 上 或 衬 底 内，用 其 它 物 质 再 生 成 一 层 或 几 层 材 料。18、半 导 体 材 料 系 统？是 指 不 同 质 的 几 种 半 导 体（GaAs及 AlGaAs,Si及 SiGe等）组 成 的 层 构 造 19、异 质 半 导 体 材

15、 料 的 主 要 应 用 有 哪 些？制 作 异 质 结 双 极 性 晶 体 管 HBT、高 电 子 迁 移 率 晶 体 管 HEMT、高 性 能 的 LED和 LD。20、什 么 是 半 导 体/绝 缘 体 材 料 系 统？半 导 体 及 绝 缘 体 相 结 合 的 材 料 系 统 21、晶 体 和 非 晶 体 的 区 分？晶 体 具 有 肯 定 几 何 外 形 如 硅 和 错，非 晶 体 无 固 定 形 态 如 玻 璃、橡 胶 22、什 么 是 共 价 键 构 造？.最 外 层 的 价 电 子 不 仅 受 到 自 身 原 子 核 的 作 用，还 要 受 到 相 邻 原 子 核 的 作 用，

16、这 样 每 个 价 电 子 就 不 局 限 于 单 个 原 子，可 以 转 移 到 相 邻 的 原 子 上 去，这 种 价 电 子 共 有 化 的 运 动 就 形 成 了 晶 体 中 的 共 价 键 构 造。23、什 么 是 本 征 半 导 体 和 杂 质 半 导 体？征 半 导 体 是 一 种 纯 洁 的、构 造 完 好 的 半 导 体 晶 体。在 本 征 导 体 中 参 入 微 量 的 杂 质，就 形 成 了 杂 质 半 导 体（N、P）24、本 征 半 导 体 有 何 特 点?电 子 浓 度 及 空 穴 浓 度 一 样，热 力 学 零 度 没 有 自 由 电 子，载 流 子 少、导 电

17、性 差、温 度 稳 定 性 差 25、杂 质 半 导 体 中，多 子 和 少 子 是 如 何 形 成 的？在 本 征 半 导 体 中 掺 入 少 量 的 3 价 元 素，如 硼、铝 或 锢，有 3 个 价 电 子，形 成 共 价 键 时，缺 少 1个 电 子，产 生 1个 空 位。空 穴 为 多 数 载 流 子，电 子 为 少 数 载 流 子。在 本 征 半 导 体 中 掺 入 少 量 的 5价 元 素，如 磷、神 或 睇，有 5 个 价 电 子，形 成 共 价 键 时，多 余 1个 电 子。电 子 为 多 数 载 流 子，空 穴 为 少 数 载 流 子。26、什 么 是 扩 散 运 动？什

18、么 是 漂 移 运 动？扩 散 运 动：由 于 P N结 交 界 面 两 边 的 载 流 子 浓 度 有 很 大 的 差 异，载 流 子 就 要 从 浓 度 大 的 区 域 向 浓 度 小 的 区 域 扩 散。漂 移 运 动：进 入 空 间 电 荷 区 的 空 穴 在 内 建 电 场 作 用 下 向 P 区 漂 移，自 由 电 子 向 N 区 漂 移。27、P N 结 的 主 要 特 点 是 什 么？单 向 导 电 性 28、双 极 型 三 极 管 三 个 区 有 什 么 不 同？放 射 区 的 掺 杂 浓 度 远 远 高 于 基 区 和 集 电 区，基 区 做 的 很 薄，集 电 结 的 面

19、 积 大 于 放 射 结 的 面 积。29、双 极 型 三 极 管 有 几 种 工 作 状 态？每 个 状 态 P N 结 偏 置 状 况 如 何？放 射 结 正 偏 集 电 结 反 偏 时 为 放 大 工 作 状 态、放 射 结 正 偏 集 电 结 也 正 偏 时 为 饱 和 工 作 状 态、放 射 结 反 偏 集 电 结 也 反 偏 时 截 止 工 作 状 态、放 射 结 反 偏 集 电 结 正 偏 为 反 向 工 作 状 态。30、在 放 大 状 态 下，三 极 管 内 部 载 流 子 传 输 过 程 是 怎 样 进 展 的?放 射 结 的 注 入、基 区 中 的 输 运 及 复 合 和

20、 集 电 区 的 搜 集 31、为 什 么 晶 体 管 的 反 向 工 作 状 态 一 般 不 用，尤 其 是 在 集 成 电 路 中 更 是 如 此？由 于 晶 体 管 的 实 际 构 造 不 对 称，特 殊 是 在 集 成 电 路 中，放 射 区 嵌 套 在 基 区 内，基 区 嵌 套 在 集 电 区 内，放 射 结 比 集 电 结 小 很 多 反 向 电 流 放 大 倍 数 BR比 B F 小 很 多 32、M O S管 的 核 心 构 造 是 什 么？导 体、绝 缘 体 及 衬 底 的 掺 杂 半 导 体 这 三 层 材 料 叠 在 一 起 构 成 33、根 据 形 成 导 电 沟 道

21、 载 流 子 类 型 的 不 同，M O S管 有 几 种 类 型？NMOS和 PMOS34、简 述 PM O S管 的 详 细 构 造。半 导 体 局 部 的 构 造 包 含 由 两 个 P 型 硅 的 扩 散 区 隔 开 的 N 型 硅 区 域，这 层 型 硅 区 域 之 上 覆 盖 了 由 一 个 绝 缘 层 和 一 个 栅 极 的 导 电 电 极 构 成 的 夹 层 构 造，两 个 P 型 硅 的 扩 散 区 分 别 通 过 及 金 属 导 体 的 欧 姆 接 触，形 成 源 极 和 漏 极。35、简 述 M O S管 的 导 电 沟 道 是 如 何 形 成 的？N 反 型 层 及 源

22、 漏 两 端 的 N 型 扩 散 层 连 通 36、什 么 叫 阈 值 电 压？阈 值 电 压 是 否 可 变？阈 值 电 压 为 负 时 称 为 什 么 电 压？引 起 沟 道 区 产 生 强 外 表 反 型 的 最 小 栅 电 压，称 为 阈 值 电 压 V T o 往 往 用 离 子 注 入 技 术 变 更 沟 道 区 的 掺 杂 浓 度，从 而 变 更 阈 值 电 压。夹 断 电 压。37、对 N M O S晶 体 管，注 入 何 种 杂 质 使 阈 值 电 压 增 加 或 降 低？P 型 杂 质 增 加、N 型 杂 质 降 低。38、根 据 阈 值 电 压 不 同，常 把 M O S

23、器 件 分 为 几 种？增 加 型 和 耗 尽 型 39、在 C M O S电 路 里，M O S管 一 般 采 纳 何 种 类 型？增 加 型 40、为 什 么 说 M O S晶 体 管 是 一 种 电 压 限 制 器 件？当 栅 源 电 压 V G S等 于 开 启 电 压 V T 时，器 件 开 场 导 通，当 源 漏 间 加 电 压 V D S且 VGS=VT时，由 于 源 漏 电 压 和 栅-衬 底 电 压 而 分 别 产 生 的 电 场 程 度 和 垂 直 重 量 的 作 用，沿 着 沟 道 就 出 现 了 导 电。源 漏 电 压(VDS 0)所 产 生 的 电 场 程 度 重 量

24、 起 着 使 电 子 沟 道 向 漏 极 运 动 的 作 用。随 着 源 漏 电 压 的 增 大，沿 沟 道 电 阻 的 压 降 会 变 更 沟 道 的 形 态。41、M O S管 的 I D S 大 小 除 及 源 漏 电 压 和 栅 极 电 压 有 关 外，还 及 哪 些 因 素 有 关？源 漏 之 间 的 间 隔、沟 道 宽 度、开 启 电 压、栅 绝 缘 氧 化 层 的 厚 度、栅 绝 缘 层 的 介 电 常 数、载 流 子 的 迁 移 率 42、一 个 M O S管 的 正 常 导 电 特 性 可 分 为 几 个 区 域？夹 断、线 性、饱 和 43、说 明 M O S管“线 性 区

25、”沟 道 和 漏 极 电 流 特 点。弱 反 型 区 漏 极 电 流 随 栅 压 的 增 大 而 线 性 增 大 44、说 明 M O S管“饱 和 区”沟 道 和 漏 极 电 流 特 点。沟 道 强 反 型，漏 极 电 流 及 漏 极 电 压 无 关45、用 什 么 参 数 衡 量 M O S器 件 的 增 益？用 g m 衡 量 M O S器 件 的 增 益-3-1、外 延 生 长 的 目 的 是 什 么？外 延 生 长 的 方 法 有 哪 几 种？用 同 质 材 料 形 成 具 有 不 同 的 掺 杂 种 类 和 浓 度 而 具 有 不 同 性 能 的 晶 体 层。液 态 生 长、气 相

26、 外 延 生 长、金 属 有 机 物 气 相 外 延 生 长、分 子 束 外 延 生 长。2、什 么 是 卤 素 传 递 生 长 法？它 属 于 4 种 生 长 方 法 中 的 哪 一 种？把 至 少 一 种 外 延 层 组 成 元 素 以 卤 化 物 形 式 通 过 衬 底 并 发 生 卤 素 析 出 反 响 从 而 形 成 外 延 层 的 过 程，它 属 于 气 相 外 延 生 长 法。3、液 态 生 长 有 什 么 优 缺 点？最 简 洁 最 廉 价 但 其 外 延 层 的 质 量 不 高 4、金 属 有 机 物 气 相 外 延 生 长 和 一 般 的 气 相 外 延 生 长 的 最 大

27、 区 分 是 什 么？它 是 一 种 冷 壁 工 艺，只 要 将 衬 底 限 制 到 肯 定 温 度 就 行 了 5、分 子 束 外 延 生 长 有 什 么 特 点？只 能 在 超 真 空 中 进 展 且 量 产 较 低、在 G aA s基 片 上 生 长 无 限 多 外 延 层、可 以 限 制 参 杂 的 深 度 和 精 度 到 纳 米 级 6.什 么 是 掩 模？掩 模 及 集 成 电 路 制 造 有 什 么 关 系？制 做 掩 模 的 数 据 从 哪 儿 来？掩 膜 是 涂 有 特 定 图 案 的 铭 薄 层(6 0 8 0 n m)的 匀 称 平 坦 的 石 英 玻 璃 薄 片、一 层

28、 掩 膜 对 应 一 块 I C 的 一 层 材 料 的 加 工、幅 员。7、掩 模 制 作 方 法 有 哪 些?图 案 发 生 器 方 法、X 射 线 制 版、电 子 束 扫 描 法 8、什 么 是 整 版 接 触 式 曝 光？掩 模 尺 寸 和 晶 圆 尺 寸 一 样，并 干 脆 及 光 刻 胶 胶 层 接 触 进 展 曝 光。9、什 么 是 光 刻？光 刻 的 作 用 是 什 么？光 刻 的 主 要 流 程 有 哪 些？光 刻 就 是 通 过 一 系 列 消 费 步 骤，将 晶 圆 薄 膜 的 特 定 局 部 去 除 的 工 艺。作 用 是 把 掩 膜 上 的 图 型 转 换 成 晶 圆

29、 上 的 器 件 构 造。流 程 有 晶 圆 涂 光 刻 胶、曝 光、显 影、烘 干。10、负 性 和 正 性 光 刻 胶 有 什 么 区 分 和 特 点？特 点：光 刻 胶 都 对 大 局 部 可 见 光 灵 敏，对 黄 光 不 灵 敏。区 分：负 性 光 刻 胶 运 用 时，未 感 光 局 部 被 适 当 的 溶 剂 刻 蚀，而 感 光 局 部 留 下，所 得 图 形 及 掩 膜 幅 员 形 相 反；正 性 光 刻 胶 所 得 图 形 及 掩 膜 板 图 案 一 样。11、光 刻 的 曝 光 方 式 有 几 种？各 有 何 特 点？接 触 和 非 接 触 两 种，非 接 触 分 为 接 近

30、 式 和 投 影 式 接 触 式：准 确 度 高，但 掩 膜 易 磨 损，消 耗 大 非 接 触 式：接 近 式：解 决 了 磨 损 问 题，但 辨 别 率 下 降。投 影 式：辨 别 率 高，不 存 在 掩 膜 磨 损 问 题，但 消 费 量 不 高 12、接 触 曝 光 方 式 的 关 键 技 术 有 哪 些？它 的 主 要 优 缺 点 是 什 么？需 要 一 股 很 粗 的 光 束、一 个 很 大 的 透 镜，以 和 一 套 良 好 的 光 学 系 统；准 确 度 较 高 但 非 志 向 接 触 导 致 L S I芯 片 合 格 率 不 高，掩 膜 和 晶 圆 每 次 接 触 都 会 产

31、 生 磨 损，掩 膜 消 耗 大.13、什 么 是 非 接 触 曝 光 方 式？掩 膜 及 晶 圆 不 接 触 的 光 刻 方 式，分 为 接 近 式 和 投 影 式 两 种 14、氧 化 的 目 的 是 什 么？利 用 硅 独 有 的 特 性 制 造 薄 到 几 十 埃（只 有 几 个 原 子 层）的 栅 氧 化 层 15、为 什 么 说 栅 氧 化 层 的 生 长 是 特 别 重 要 的 一 道 工 序？氧 化 层 的 厚 度 确 定 了 晶 体 管 的 电 流 驱 动 实 力 和 牢 靠 性，其 精 度 必 需 限 制 在 几 个 百 分 点 以 内。16、淀 积 的 主 要 作 用 是

32、 什 么？生 成 器 件 制 造 所 需 的 材 料 17、什 么 是 刻 蚀？什 么 是 湿 法 刻 蚀？湿 法 刻 蚀 有 什 么 缺 点？刻 蚀 即 光 刻 腐 蚀，就 是 通 过 光 刻 将 光 刻 胶 进 展 光 刻 曝 光 处 理，然 后 通 过 其 他 方 式 实 现 腐 蚀 以 处 理 掉 所 需 除 去 的 局 部；湿 法 刻 蚀 首 先 要 用 含 有 可 以 分 解 外 表 薄 层 的 反 响 物 的 溶 液 浸 润 刻 蚀 面；抗 蚀 剂 中 的 小 窗 口 会 由 于 毛 细 作 用 而 使 得 接 触 孔 不 能 被 有 效 浸 润、被 分 解 的 材 料 不 能

33、被 有 效 从 反 响 区 中 去 除。18、什 么 是 干 法 刻 蚀？干 法 有 几 种 刻 蚀 方 法？用 等 离 子 体 对 薄 膜 线 条 进 展 刻 蚀 的 一 种 新 技 术。分 为 等 离 子 体 刻 蚀、反 响 离 子 刻 蚀 RIE、磁 增 加 反 响 离 子 刻 蚀、高 密 度 等 离 子 刻 蚀 等 类 型 19、掺 杂 的 目 的 是 什 么？掺 杂 在 何 时 进 展？惨 杂 方 法 有 哪 几 种?变 更 半 导 体 的 导 电 类 型，形 成 N 型 层 或 P 型 层，以 形 成 双 极 型 晶 体 管 和 各 种 二 极 管 的 P N结，或 变 更 材 料

34、 电 导 率；掺 杂 可 及 外 延 生 长 同 时 或 者 其 后 进 展;热 扩 散 掺 杂 和 离 子 注 入 法 两 种 20、离 子 注 入 法 有 哪 些 优 点？掺 杂 的 过 程 可 通 过 调 整 杂 质 剂 量 和 能 量 来 准 确 限 制 杂 质 分 布，可 进 展 小 剂 量 和 微 小 深 度 的 掺 杂 较 低 的 工 艺 温 度，故 光 刻 胶 可 用 作 掩 膜 可 供 掺 杂 的 离 子 种 类 较 多，离 子 注 入 法 也 可 用 于 制 作 隔 离 岛-4-1、说 明 用 硅 材 料 采 纳 C M O S工 艺 可 形 成 哪 些 元 件、电 路 形

35、 式 以 和 可 到 达 的 电 路 规 模？可 形 成 D、N/P-M OS、R、C、L元 件、可 以 形 成 CM OS或 S C L电 路 形 式、可 到 达 ULSI和 G S I的 电 路 规 模 2、集 成 电 路 特 殊 是 逻 辑 集 成 电 路 技 术 的 类 型 有 哪 些？以 双 极 性 硅 为 根 底 的 ECL技 术、PM OS技 术、NMOS技 术，双 极 性 硅 或 硅 错 异 质 结 晶 体 管 加 CM OS的 BiCMOS技 术 和 G aA s技 术 3、为 什 么 说 速 度 和 功 耗 是 每 一 种 工 艺 两 个 最 重 要 的 特 性？功 耗 越

36、 低 越 省 钱，速 度 越 快 越 省 时 4、在 各 种 工 艺 中，哪 种 工 艺 的 速 度 最 高？哪 种 工 艺 的 功 耗 最 小？G aA s速 度 高 CM OS功 耗 小5、双 极 型 硅 工 艺 的 特 点 是 什 么？有 哪 些 主 要 应 用？高 速 度、高 跨 导、低 噪 声 和 阈 值 易 限 制 低 噪 声 高 灵 敏 度 放 大 器、微 分 电 路、复 接 器、振 荡 器 6、典 型 双 极 型 硅 工 艺 中 的 硅 晶 体 管 存 在 哪 些 问 题？由 于 B-E结 及 基 极 接 触 孔 之 间 的 P 型 区 域 而 形 成 较 大 的 基 区 体

37、电 阻；集 电 极 接 触 孔 下 N 区 域 导 致 较 大 的 集 电 极 串 联 电 阻；因 P N结 隔 离 而 形 成 较 大 的 集 电 极 寄 生 电 容。7、双 极 型 晶 体 管 的 最 高 速 度 取 决 于 哪 些 因 素？通 过 基 区 到 集 电 极 耗 尽 层 的 少 数 载 流 子 的 传 输 速 度、主 要 器 件 电 容、向 寄 生 电 容 充 放 电 的 电 流 大 小 8、超 高 频 S i双 极 型 晶 体 管 的 截 止 频 率 f T 已 达 多 少？40GHz9、什 么 是 异 质 结？根 据 两 种 材 料 的 导 电 类 型 不 同，异 质 结

38、 可 分 为 哪 些 类 型？异 质 结 形 成 的 条 件 是 什 么？制 造 异 质 结 的 技 术 通 常 有 哪 些？两 种 不 同 的 半 导 体 相 接 触 所 形 成 的 的 界 面 区 域，根 据 材 料 的 导 电 类 型 分 为 同 型 异 质 结 和 异 型 异 质 结，两 种 半 导 体 有 相 像 的 晶 体 构 造、相 近 的 原 子 间 距 和 热 膨 胀 系 数，利 用 界 面 合 金、外 延 生 长、真 空 淀 积 等 技 术 1 0.异 质 结 有 什 么 特 点？它 相 宜 于 制 作 哪 些 器 件？量 子 效 应，迁 移 率 变 大、奇 异 的 二 度

39、 空 间 特 性、人 造 材 料 工 程 学；发 光 组 件、镭 射 二 极 管、异 质 构 造 双 极 晶 体 管、高 速 电 子 迁 移 率 晶 体 管 11、晶 体 管 的 两 个 重 要 参 数 是 什 么？各 代 表 什 么 意 义?12、为 什 么 G a A s同 质 结 双 极 型 晶 体 管 的 性 能 很 难 到 达 或 超 过 硅 基 B J T的 性 能？它 的 空 穴 迁 移 率 低 于 硅 的 空 穴 迁 移 率 13、为 什 么 采 纳 AlGaAs/GaAs异 质 结 构 造 制 造 的 双 极 型 晶 体 管(HBT)具 有 好 的 性 能？异 质 结 双 极

40、 性 晶 体 管 的 放 射 极 效 率 主 要 由 禁 带 宽 度 差 确 定，几 乎 不 受 掺 杂 比 的 限 制 14、InP/InGaAs H B T具 有 什 么 特 点？高 速 度、低 功 耗 15、目 前，III/V族 化 合 物 构 成 的 高 速 H B T可 到 达 那 些 性 能？它 们 的 f T 和 fm ax已 分 别 超 过 150Ghz和 200GHz16、Si/SiGe材 料 系 统 的 H B T工 艺 获 得 了 那 些 长 足 进 步？截 止 频 率 大 于 100G H z的 SiGe H B T 已 胜 利 实 现；已 经 开 发 出 包 含 fm

41、ax=60GHz 的 SiGe HBT 和 0.25pm 的 CMOS 器 件 的 SiGe BiCMOS。17、H B T的 主 要 优 点 是 什 么？适 于 何 种 应 用？HBT具 有 很 强 的 电 流 驱 动 实 力；适 用 于 模 拟 信 号 的 功 率 放 大 和 门 阵 列 逻 辑 的 输 出 缓 冲 电 路 设 计。18、M ESFET的 有 源 层 是 如 何 形 成 的？它 的 导 电 沟 道 是 如 何 限 制 的？有 源 层 可 以 采 纳 液 相 外 延、气 相 外 延、分 子 束 外 延 和 离 子 注 入 形 成。在 栅 极 上 加 电 压，内 部 的 电 势

42、 就 会 被 增 加 或 减 弱，从 而 使 沟 道 的 深 度 和 流 通 的 电 流 得 到 限 制。1 9、为 什 么 说 栅 长 是 M ESFET的 重 要 参 数？对 MESFET的 限 制 主 要 作 用 于 栅 极 下 面 的 区 域 20、进 一 步 进 步 MESFET性 能 的 措 施 是 什 么？改 良 有 源 层 的 导 电 实 力 21、高 电 子 迁 移 率 晶 体 管（HEMT）速 度 高 的 主 要 缘 由 是 什 么？器 件 在 晶 体 构 造 中 存 在 着 类 似 于 气 体 的 大 量 可 高 速 迁 移 电 子，即 二 维 电 子 气。22、二 维

43、电 子 气 是 如 何 形 成 的？当 半 导 体 外 表 上 加 一 个 及 外 表 垂 直 的 电 场，在 外 表 旁 边 形 成 电 子 势 阱，就 会 积 累 起 大 量 的 电 子 23、亚 微 米、深 亚 微 米 和 纳 米 的 详 细 范 围 是 多 少？把 0.35-0.8|iim和 以 下 称 为 亚 微 米 级 0.25um和 其 以 下 为 深 亚 微 米 0.05um和 其 以 下 称 为 纳 米 级 24、什 么 状 况 下 器 件 的 栅 极 通 常 要 考 虑 采 纳 蘑 菇 型 即 T 型 栅 极？栅 长 小 于 0.3um25、什 么 是 鹰 晶 或 鹰 配

44、HEMT?因 为 In原 子 的 晶 格 常 量 比 G a原 子 的 大，因 此 GalnAs及 GaAs或 AlGaAs层 之 间 存 在 着 晶 格 不 匹 配 的 现 象 26、由 Si/SiGe材 料 系 统 研 制 的 H E M T获 得 了 哪 些 进 展？在 300K和 77K温 度 下，N 沟 道 HEM T的 跨 导 分 别 到 达 400mS/mm和 800mS/mm;P 沟 道 HEMT 的 跨 导 到 达 170mS/mm 或 300mS/mm27、HEM T有 更 高 截 止 频 率 更 高 跨 导 和 更 低 噪 声 的 缘 由？它 的 主 要 应 用 领 域

45、是 什 么？HEMT有 源 层 中，没 有 施 主 及 电 子 的 碰 撞 毫 米 波 电 路 和 光 纤 通 信 的 超 高 速 电 路 28、及 S i三 极 管 相 比，M ESFET和 H E M T存 在 哪 些 缺 点？1）跨 导 相 对 低；2）阈 值 电 压 较 敏 感 于 有 源 层 的 垂 直 尺 寸 形 态 和 掺 杂 程 度；3）驱 动 电 流 小 4）阈 值 电 压 变 更 大 29、M O S工 艺 包 括 有 哪 几 种？M O S工 艺 的 重 要 参 数 是 什 么？什 么 是 特 征 尺 寸？PMOS、NMOS、COMS、BiCMOS 沟 道 载 流 子 特

46、 性、栅 极 材 料、金 属 层 数、特 征 尺 寸 工 艺 可 以 实 现 的 平 面 构 造 的 最 小 尺 寸 30、铝 栅 M O S工 艺 的 缺 点 是 什 么？制 造 源、漏 极 及 制 造 栅 极 采 纳 两 次 掩 膜 步 骤，不 简 洁 对 齐 31、铝 栅 重 叠 设 计 方 法 虽 然 可 解 决 铝 栅 M O S工 艺 的 缺 点，但 还 存 在 哪 些 缺 点？CGS、CGD都 增 大 了；栅 极 增 长，管 子 尺 寸 变 大，集 成 度 降 低。32、什 么 是 自 对 准 技 术？将 两 次 MASK步 骤 合 为 一 次，让 D,S 和 G 三 个 区 域

47、 一 次 成 形 33、硅 栅 工 艺 有 哪 些 优 点?自 对 准 无 需 重 叠 设 计 减 小 了 电 容 进 步 了 速 度 减 小 了 栅、源、漏 极 尺 寸 增 加 集 成 度；增 加 电 路 牢 靠 性 34、为 什 么 N M O S工 艺 优 于 PM O S工 艺？N 沟 道 FE T的 速 度 将 比 P 沟 道 FET快 2.5倍 35、给 出 F E T的 不 同 分 类 方 法。按 衬 底 材 料 有 Si,GaAs,I n P 按 场 形 成 构 造 有 J/MOS/MES 按 载 流 子 类 型 有 P/N 按 沟 道 形 成 方 式 区 分 有 E/D3 6

48、、C M O S工 艺 是 如 何 在 一 种 衬 底 材 料 上 实 现 不 同 类 型 场 效 应 晶 体 管 的？阱 有 几 种 类 型？每 种 类 型 可 制 作 什 么 类 型 的 场 效 应 管？NMOS晶 体 管 是 P 型 硅 衬 底 上 的，而 PMOS晶 体 管 是 做 在 N 型 硅 衬 底 上 的,通 过 在 硅 衬 底 上 制 作 一 块 反 型 区 域 就 能 将 两 种 晶 体 管 做 在 同 一 个 硅 衬 底 上 两 种 类 型 N 阱 和 p 阱 NMOS管 和 PMOS管 37、C M O S包 括 哪 几 种 详 细 工 艺？P 阱 CMOS工 艺，N

49、阱 CMOS工 艺 和 双 阱 CMOS工 艺 38、什 么 是 BiCMOS?BiCM O S的 特 点 是 什 么？BiCMOS工 艺 技 术 是 将 双 极 型 及 CMOS器 件 制 作 在 同 一 芯 片 上。BiCM OS的 特 点 是 结 合 了 双 极 型 器 件 的 高 跨 导、强 驱 动 和 CMOS器 件 高 集 成 度、低 功 耗 的 有 优 点，使 它 们 互 相 取 长 补 短，发 挥 各 自 优 点，从 而 实 现 了 高 速、高 集 成 度、高 性 能 的 超 大 规 模 集 成 电 路 39、BiCM OS有 几 种 类 型？每 种 类 型 有 什 么 特 点

50、?以 CMOS工 艺 为 根 底 的 BiCMOS工 艺 和 以 双 极 工 艺 为 根 底 的 BiCMOS工 艺 以 CMOS工 艺 为 根 底 的 BiCMOS工 艺 对 保 证 CMOS器 件 的 性 能 比 拟 有 利 以 双 极 工 艺 为 根 底 的 BiCMOS工 艺 对 进 步 保 证 双 极 器 件 的 性 能 有 利。40、明 卜 种 BiCM OS工 艺 用 的 较 多？为 什 么？双 极 工 艺 为 根 底 的 BiCMOS工 艺 用 的 多 影 响 BiCMOS器 件 性 能 的 主 要 局 部 是 双 极 局 部。41、以 P 阱 C M O S工 艺 为 根 底