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1、机械装配技术（第三版）10 无尘室基本知识电子课件10.无尘室基本知识10.1 概述 无尘室(Cleanroom)，亦称为洁净室或净化室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在某一需求范围内所特别设计的房间。亦即是不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。无尘室的主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。无尘室用于集成电路(芯片)的生产、高价值设备的装配等方面，同时也用在医院，如器官移植等。
2、无尘室有不同的等级，通常是根据每立方英尺(28升)空气中所含尘粒的数目而定的。我们将无尘室外等级分类如下：等级100000：每立方英尺最多含有100000个0.5微米及以上的颗粒。等级10000：每立方英尺最多含有10000个0.5微米及以上的颗粒。等级100：每立方英尺最多含有100个0.5微米及以上的颗粒。等级1：每立方英尺最多含有1个0.5微米的颗粒。10.2 无尘室防的污染与控制措施无尘室污染的来源是人、材料及各种活动。(）人是无尘室中最大的污染源人是无尘室中最大的污染源，因为人类在不断的新陈代谢，皮肤的最外一层总是在不断地脱落，并被新的一层所替代是一个自然的过程，而已脱落的皮肤细胞就
3、会从人体上掉落下来。平均来说，一个人每天大约要掉落出20亿个尘粒(皮屑微粒)。为尽量防止这些皮屑微粒污染无尘室，每个在无尘室中工作的人员都务必要穿着无尘衣。当有人员进入无尘室时，污染的程度会大大地提高。人们在静止时，每分钟身上可掉出几十万颗肉眼看不见的微粒。如果人们稍做适当的运动，该数目会上升到每分钟大约一百万颗。因此，人们不时地进出无尘室就会是污染的最大原因之一。无尘室24小时微粒数曲线图(）无尘室内禁用的材料 有一些材料是不能够在无尘室内使用的，原因是这些物品或材料引起太多的尘埃，以致无法维持无尘室的灰尘等级。在小于100000灰尘等级的室内，禁止存在的材料包括纸类、棉类、碳类、草类、石灰
4、类、木材类等材料，但不包括由部门专门配发的清洁用的纸和布。所禁止物品有铅笔、橡皮擦等，但许可的圆珠笔、纸张、手帕和食物等物品除外。(）无尘室内的活动l十分注意自己的举止及运动一个动作或移动越是剧烈，所引起和带动的尘粒越多。因此，在无尘室内动作缓慢就显得特别重要。l尽量避免与地面接触下降气流使所有现存的尘粒被吸向下面，从而使地面成为整个无尘室中尘埃最多的部分。因此，在有关无尘室衣着标准要求中，工作人员在穿或脱无尘衣时，其裤腿始终不能碰到地面；若手套掉在地上，必须立即换用新的手套；当一定要从地面上拿取东西时，必须以蹲的姿势来拿，而绝不能采用坐、躺或跪的动作。l无尘室禁止的行为-吃喝（专用咖啡室除外
5、）；-吸烟；-化妆；-梳头；-打印机、标绘器等之类所出来的东西，不可被撕下，只能切裁下来；-移动办公用具（柜子、桌子）；-进行机械操作（锉、钻孔、锯、砂磨等）。（）防止无尘室污染的措施-过滤进入室内的空气；-空气的输入速度是经过控制的；-空气是通过层流工作台来流动的，从而使空气流动非常平稳；-在无尘室和外界之間必须有一个缓冲的气密室，做为清洁的用途。无尘室的每一个入口都有气密室，一类气密室是专供设备进入之用，一类则是供人员出入之用；-为材料的进入设立清洗装置；-操作人员进入无尘室需更换无尘衣；-工作人员必须遵守无尘室纪律(行为准则和规定)；-遵守无尘室严格的工作程序。工作人员进入无尘室必须穿着
6、规定的无尘衣。无尘衣的按钮在任何时候都必须是关闭的。记住在无尘室要戴好你的个人物品(如手机,呼机,钥匙)。10.3 无尘室穿衣指导（）在更衣处的第一区域，脱下你自己的鞋子。外来访问者可在普通鞋子上套上鞋套。（）将你自己的鞋放入更衣长椅的存放处。（）确保你的脚没有碰到地面。（）在长椅子上转动180，这样你的脚就不会碰到地面。（）取出无尘鞋并穿上。（）穿着无尘室鞋走到更衣橱边。（）戴上帽子，并把头发放进帽子内。（）穿上无尘衣，然后拉上拉链和扣好裤腿上的按钮。注意，在穿无尘衣时要避免其与地板接触，你的皮肤、头发和服装不要接触到无尘衣的外面。（）检查你的无尘衣的按钮是否全都扣好，包括裤腿上的按钮。（10）走过粘性垫，进入无尘室。当工作人员离开无尘室时注意以下事项。(1)解开裤腿上的按扭和拉链，脱掉无尘帽和无尘衣。注意，避免无尘衣接触地板。对于参观者，若使用一次性无尘帽，则扔进废物箱里。(2)坐在长椅子上，脱掉无尘鞋将其放在存放处。注意：不要穿上你自己的鞋子踩在更衣室地板的清洁的一边上。对于外来参观人员只需脱掉鞋套，并把将其扔进废物箱里。(3)穿上自己的鞋子。(4)离开更衣室。