传感器技术及其应用.pptx

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1、10.1.1 光栅分类及结构光栅分类及结构1.光栅分类光栅分类光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量；在几何量计量中使用的光栅称为计量光栅,计量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。按其透射形式,光栅可分为透射式光栅和反射式光栅。刻划基面采用玻璃材料的为透射式光栅；刻划基面采用金属材料的为反射式光栅。10.1 光栅基础光栅基础第1页/共45页按其栅线形式,光栅可分为黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅）。黑白光栅是利用照相复制工艺加工而成,其栅线与缝隙为黑白相间结构；相位光栅的横断面

2、呈锯齿状,常用刻划工艺加工而成。按其应用类型,光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅又称为光栅尺,用于测量长度或线位移；圆光栅又称盘栅,用于测量角度或角位移。长光栅有透射式和反射式,而且均有黑白光栅和闪耀光栅；圆光栅一般只有透射式黑白光栅。目前还发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。本章主要介绍透射式的计量光栅。第2页/共45页2.光栅结构光栅结构 所谓光栅,是在刻划基面上等间距（或不等间距）地密集刻划,使刻线处不透光,未刻线处透光,形成透光与不透光相间排列构成的光电器件。光栅上的刻线称为栅线,栅线的宽度为a,缝隙宽度为b,一般取a=b,而w=a+b称为栅距（也称为光栅常数或光栅节距,是光栅的重要

3、参数,用每毫米长度内的栅线数表示栅线密度,如100线mm、250线mm）。圆光栅还有一个参数叫栅距角或称节距角,它是指圆光栅上相邻两条栅线的夹角。光栅结构如图10.1所示。第3页/共45页图10.1 光栅的结构 第4页/共45页圆光栅有三种栅线形式：一种是径向光栅,其栅线的延长线通过圆心；另一种是切向光栅,其栅线的延长线与光栅盘的一个小同心圆相切；还有一种是其栅线为一簇等间距同心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上刻有108064800条线。圆光栅栅线如图10.2所示。第5页/共45页图10.2 圆光栅栅线 第6页/共45页10.1.2 莫尔条纹原理莫尔条纹原理计量光栅是利用莫尔现象实现几何量

4、的测量的。莫尔条纹的成因是由主光栅和指示光栅的遮光和透光效应形成的（两只光栅参数相同）。主光栅用于满足测量范围及精度,指示光栅（通常是从主尺上裁截一段）用于拾取信号。将主光栅与指示光栅的刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角,这样就可以看到,在a-a线上两只光栅栅线彼此错开,光线从缝隙中透过形成亮带,其透光部分是由一系列棱形图案构成的；在b-b线上两只光栅栅线相互交叠,相互遮挡缝隙,光线不能透过形成暗带。这种亮带和暗带相间的条纹称为莫尔条纹。由于莫尔条纹的方向与栅线方向近似垂直,故该莫尔条纹称为横向莫尔条纹。莫尔条纹原理如图10.3所示。第7页/共45页图10.3 莫尔条纹原理第8页/共45

5、页10.1.3 莫尔条纹特点莫尔条纹特点1.位移放大作用位移放大作用相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角的关系为令k为放大系数,则(10.1)(10.2)第9页/共45页一般很小,所以放大系数k很大。故尽管光栅栅距w很小,而通过莫尔条纹的放大作用仍使其清晰可辨。在安装调节时,通过调整角,可以改变莫尔条纹宽度,从 而 使 光 电 接 收 元 件 能 正 确 接 收 光 信 号。对 于 100线 mm的 光 栅,栅 距 为0.01mm,当夹角为0.06时,莫尔条纹间距B可达10 mm,放大了1000倍。第10页/共45页2.运动对应的关系运动对应的关系由图10.1知,若光栅栅距为w,i为刻线

6、数,x为移动距离,则 x=i w (10.3)将式（10.3）代入式（10.1）中,有(10.4)当i和一定时,B与移动距离x成正比。第11页/共45页由式（10.4）知,当很小时,光栅副中任一光栅沿垂直于刻线方向移动时,莫尔条纹就会沿近似垂直于光栅移动的方向运动。当光栅移动一个栅距w时,莫尔条纹就移动一个条纹间隔B；当光栅改变运动方向时,莫尔条纹也随之改变运动方向,两者具有相互对应的关系。因此,可以通过测量莫尔条纹的运动来判别光栅的运动。第12页/共45页3.误差减小作用误差减小作用光栅在制作过程中必然会引入刻划误差。光电元件获取的莫尔条纹是指示光栅覆盖区域刻线的综合结果,对刻划误差有平均作

7、用,从而能在很大程度上消除栅距的局部误差及短周期误差的影响。这是光栅传感器精度高的一个重要原因。刻划误差是随机误差。设单个栅距误差为,形成莫尔条纹区域内有N条刻线,则综合误差为(10.5)第13页/共45页10.2 光栅传感器的工作原理光栅传感器的工作原理10.2.1 光电转换原理光电转换原理光栅传感器的光电转换系统由光源1、聚光镜2、光栅主尺3、指示光栅4和光敏元件5组成,如图10.4(a)所示。当两块光栅作相对移动时,光敏元件上的光强随莫尔条纹移动而变化,如图10.4(b)所示。在a处,两光栅刻线不重叠,透过的光强最大,光电元件输出的电信号也最大；第14页/共45页 在c处,由于光被遮去一

8、半,光强减小；在b处,光全被遮去而成全黑,光强为零。若光栅继续移动,透射到光敏元件上的光强又逐渐增大。因而形成图10.4（b）所示的输出波形。在理想情况下,当a=b=w时,光强亮度变化曲线呈三角形分布,如图10.4(b)中虚线所示。但实际上因为刻划误差的存在造成亮度不均,使三角波形呈近似正弦波曲线。第15页/共45页图图10.4 光电转光电转换换第16页/共45页10.2.2 莫尔条纹测量位移原理莫尔条纹测量位移原理当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时,根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距w时,电信号则变化了一个周期。这样,光电信号的输出电压U可以用光栅位移x的正弦函数

9、来表示,光敏元件输出的波形为式中：U0输出信号的直流分量；Um交流信号的幅值；x 光栅的相对位移量。(10.6)第17页/共45页由式（10.6）可知,利用光栅可以测量位移量x的值。当波形重复到原来的相位和幅值时,相当于光栅移动了一个栅距w,如果光栅相对位移了N个栅距,此时位移x=Nw。因此,只要能记录移动过的莫尔条纹数N,就可以知道光栅的位移量x值。这就是利用光闸莫尔条纹测量位移的原理。第18页/共45页10.2.3 辨向原理辨向原理位移测量传感器如果不能辨向,则只能作为增量式传感器使用。为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具有相差的莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向,且两个莫尔条纹信号相差9

10、0相位。第19页/共45页 实现的方法是在相隔B4条纹间隔的位置上安装两只光敏元件,当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变化规律完全一样,相位相差2。滞后还是超前完全取决于光栅的运动方向。这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。辨向原理如图10.5所示。第20页/共45页图10.5 辨向原理 第21页/共45页AB与CD两个狭缝在结构上相差2,所以它们在光电元件上取得的信号必是相差2。AB为主信号,CD为门控信号。当主光栅作正向运动时,CD产生的信号只允许AB产生的正脉冲通过,门电路在可逆计数器中作加法运算；当主光栅作反方向移动时,则CD产生的负值信号只让AB产生的负脉冲通过,门电路在可逆计数器

11、中作减法运算。这样就完成了辨向过程。图10.6为辨向原理电路框图。第22页/共45页图10.6 辨向原理电路框图 第23页/共45页10.3.1 细分方法细分方法（1）增加光栅刻线密度。（2）对电信号进行电子插值,把一个周期变化的莫尔条纹信号再细分,即增大一个周期的脉冲数,称为倍频法。电子细分又可分为直接细分、电桥细分、示波管细分和锁相细分等。（3）机械和光学细分。10.3 莫尔条纹细分技术莫尔条纹细分技术第24页/共45页10.3.2 光电元件直接细分光电元件直接细分在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件（如图10.4(c)所示）,得到相位分别相差2的四个正弦周期信号（如图10.7所示）。

12、用适当的电路处理这一列信号,由图10.8(a)可知,AB和CD两光电元件输出的U1和U2经方波发生器后变成方波,并相差2。在1、3点的方波经倒相器倒相一次,便得到2、4点两个方波倒相电压。将它们分别微分后获得5、6、7、8四点的正脉冲,同时送到与非门得到9点的12个输出脉冲为原来任意一路的四倍,实现了四倍频细分,如图10.8（b）所示。用计数器对这一列脉冲信号计数,就可以得到1/4个莫尔条纹宽度的位移量（即光栅固有分辨率的四倍）。此种细分方法被称为四倍频细分法。第25页/共45页图10.7 四路电信号波形第26页/共45页 图10.8 四倍频细分(a)四倍逻辑；（b）波形图第27页/共45页1

13、0.3.3 CCD直接细分直接细分1.细分原理细分原理CCD直接细分的原理是,利用线阵CCD上数千个等间距的像素所构成的“感光尺”对整栅距的位移信号,即周期性的交点移动信号进行细分,使测量信号能够反映一个栅距内的精确位移。细分的具体方法如下。在均匀的背景光照明下,光栅刻线在CCD像素位置上形成明暗相间的像,如图10.9(a)所示。CCD在扫描驱动脉冲的控制下对一维视场进行扫描,输出一个周期性的脉冲序列。周期内的脉冲数等于像素数,脉冲幅值反映了像点的亮度,从脉冲序列中可以明显地辨认出交点的位置（暗点）（如图10.9（b）所示）。对脉冲进行限幅比较,并配以简单的逻辑电路即可筛选出从扫描原点到第一个

14、交点之间的脉冲,如图10.9(c)所示。第28页/共45页图10.9 CCD直接细分 第29页/共45页将计数脉冲与扫描脉冲合二为一可大大简化后续电路。当光栅位移大于一个栅距时,交点的位置发生突变,此时从扫描原点到临界脉冲之间的脉冲数也会发生突变。通过计算机记下突变的次数以及变化的正负方向,再经过累加计算即可获得大于一个栅距的位移。这种累计方法记录了每个栅距间的绝对距离,所以可以排除因光栅刻线粗细、间距不均匀而造成的测量误差。第30页/共45页当刻线与CCD像场的交点移动时,亮点临界脉冲的位置也相应地改变。用计数器记下从扫描原点到临界脉冲间的脉冲数,即可确定光栅在一个栅距间的位移。在没有软件细

15、分的情况下,离散信号定位精度不会高于CCD的物理分辨率,所以,以扫描脉冲作为计数脉冲已经足够,提高计数频率也不会有改善。第31页/共45页与电路细分的栅式测量一样,直接细分法的测量也分为绝对测量和相对测量两部分。一个栅距内的绝对测量由CCD直接完成,栅线的计数和辨向则需由计算机软件完成。两部分数据整合后得出光栅的绝对位移。在测量过程中,CCD保持与光栅刻线的夹角不变,驱动电路驱动CCD进行循环采样,经过临界比较筛选后的脉冲不断地刷新计数器。以上的测量周期由硬件自动完成,以保证系统的动态响应速度。测量软件通过查询方式对计数器读数,获取位移信息并对数据进行拼接,得到最终测量结果。第32页/共45页

16、2.细分精度细分精度这种细分方法的分辨率取决于两交点像之间所包含的像素数,精度取决于像素的尺寸精度以及各像素光电特性的一致性。由于CCD是采用蚀刻方法制作的集成电路,各像素尺寸和光电特性都较均一,所以采用CCD直接细分法时精度可以做到与其分辨率同一个数量级。如果采用软件拟合方法,精度还可以进一步提高。第33页/共45页由于线阵CCD与标尺光栅刻线也有一个角,投影在CCD视场中的交点数就等于以前的莫尔条纹数。改变角的大小就可以改变视场中交点的个数,从而改变直接细分的分辨率。CCD直接细分光栅的分辨率由下式决定：(10.7)第34页/共45页式中：L为CCD的像场长度；P为有效像素数；q为像场中的

17、交点数。计 量 光 栅 的 栅 距 为 w=0.01mm,线 阵CCD像素数可以做到P=5000个。设在视场中 有 两 个 交 点 的 像,此 时q=2,由 公 式（10.7）可知分辨率可达到4nm。当采用CCD光栅栅距直接细分法时,CCD输出的图像信号经处理后为一系列代表光栅栅线相对位置的周期性脉冲序列（如图10.9(d)）。设每一个周期内的脉冲数为n,则位移x与输出信号n的关系为x=NNMS=nS第35页/共45页式中：N扫过CCD视场的刻线数；N光栅相邻两刻线间对应的线阵CCD像素数；M后续电路或计算机软件对信号进行的插值细分数；S位移脉冲当量,即单位脉冲信号代表的光栅相对位移量。第36

18、页/共45页10.3.4 光栅传感器的误差光栅传感器的误差单件光栅的误差是由刻划工艺和刻划设备决定的。计量光栅大多数是在构成莫尔条纹的情况下使用。由于莫尔条纹的平均误差作用,使局部刻划误差的影响大大减小。设光电接收元件所覆盖的光栅刻线总数为N,单个栅距误差为,则可利用式(10.3)粗略地描述平均误差与单个栅距误差之间的关系。第37页/共45页因为常用栅距w为0.050.01mm,若取光电池尺寸为10 mm,则平均误差为第38页/共45页因此,其平均误差很小。实际上莫尔条纹变化一周,只移动一个栅距,也就是在2001000条刻线中只改变了一条刻线,因此单个栅距误差的影响实际上比式（10.3）的还小

19、。长光栅栅距误差一般水平为微米（m）数量级,圆光栅为秒（）数量级.第39页/共45页10.4.1 透射直读式光路透射直读式光路将图10.4中光电元件5采用四极硅光电池作为光电转换元件,就构成四细分直读式分光系统。把形成的横向莫尔条纹宽度B调整到等于四极硅光电池的宽度S（见图10.4(c)）,这样莫尔条纹变化一个条纹宽度B,四极硅光电池依次就输出四路相位依次相差2的电信号（如图10.7所示波形）,四路电信号相当于对莫尔条纹信号进行四细分。这种光路的结构简单,位置紧凑,调整使用方便,目前广泛应用于粗栅距的黑白透射光栅传感器中.10.4 常用光学系统常用光学系统第40页/共45页10.4.2 反射直

20、读式光路反射直读式光路 反射直读式光路如图10.10所示。光源1经聚光镜2成平行光束并以一定角度通过场镜3射向指示光栅4,莫尔条纹是金属制成的标尺光栅5反射回来的光线与指示光栅4相互作用形成的,由光电元件6接收莫尔条纹并将其转换成电信号。这种光路常用于黑白反射光栅传感器中。第41页/共45页图10.10 反射直读式光路第42页/共45页10.4.3 反射积分式光路反射积分式光路反射积分式光路如图10.11所示。只用一只闪耀光栅作主光栅,没有指示光栅。光源1发出的光经准直透镜2变成平行光束垂直入射到分光镜3上,经过半透分光面时被分成CD、CE两束光并垂直射到具有等腰三角形栅线的闪耀光栅4上A、B两点的线槽面时,最大强度的衍射光将沿原路反射回分光镜3,在分光面处相遇产生干涉现象,其干涉条纹经透镜5由光电元件6接收并转换成电信号。这种光学系统具有光学四细分的作用,分辨力较高。例如，栅线密度为600线mm时，干涉条纹变化一个周期就相当于光栅移动量为w=141600=0.42m。这种光路只用于细栅距的反射式闪耀光栅传感器中。第43页/共45页图10.11 反射积分式光路第44页/共45页谢谢您的观看！第45页/共45页