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1、光电子器件课程设计教学大纲一、课程概况 二、课程简介光电子器件是电子科学与技术专业本科生的专业任选课,采用国防工业出版社光电子器件课程英文名称Optoelectronic Devices课程编号19151302课程类别口公共必修课 公选课 院级限选1 口专业基础课 口专业限选课 专业,课口学科基础课 任选课总学时24讲授学时24实验学时总学分1.5开课单位理学院开课系 所物理授课对象电子科学与技术本科生先修课程大学物理、高等数学量子力学应用光学光电子器件教材,基本课时为24理论学时。课程定位是使学生掌握光电器件特别是高 端成像器件的基本工作原理和基本技术,熟悉各种光电器件,达到能熟练使用这些器
2、件的目 的,通过课堂理论教学,培养学生分析和解决实际问题的能力,使学生具备扎实的理论基础, 为将来毕业后从事有关光电子与光通信领域的科研、教学、开发、生产、销售等工作打下坚 实的基础。三、课程性质本课程是电子科学与技术专业的专业任选课。该课程以光电子学为基础,涵盖了量子力 学、光学、电子学等学科知识,应用性强,可作为电子、通讯类专业的选修课。四、课程教学目标通过本课程的学习,要求学生掌握光电子器件的基本工作原理及应用领域。基本掌握多 种光电子器件特别是一些高端的成像器件的工作原理和评价参数,为以后学生毕业在光电子 领域工作打下基础。五、理论教学内容及要求第一部分查漏补缺【教学目标】(1)了解:
3、常用的光电导探测器,结型光电探测器和光电管及光电倍增管;(2)理解:常用光电探测器的工作原理;(3)掌握:各种探测器的评价参数的含义。【学时分配】3学时。【授课方式】讲授3学时。【授课内容】第1章光电导探测器1.1 光电子器件的基本特性1.1.1 光谱响应率和响应率1.1.2 最小可探测辐射功率和探测率LL3光吸收系数1.2 光电导探测器原理1.2.1 光电导效应L2. 2光电导电流L2. 3光电导增益L2. 4光电导灵敏度L2. 5光电导惰性和响应时间1.2. 6光电导的光谱响应特性1.2. 7电压响应率1.2. 8探测率L3光敏电阻L 3.1光敏电阻的结构L3. 2光敏电阻的特性第2章结型
4、光电探测器2.1光生伏特效应2. 1. 1PN 结2. 1.2PN结电压电流公式2. 1. 3PN结光生伏特效应2. 1.4光照平行结的定态情况2.1. 5光照垂直于PN结的定态情况光照垂直于NP结的定态情况2. 2光电池2. 2.1光电池的结构2. 2. 2光电池的电流与电压2. 2. 3光电池的主要特性2. 3光电二极管2. 3. 1PN结型光电二极管2. 3. 2PIN型光电二极管2. 3. 3雪崩型光电二极管(APD)2. 4光电三极管光电三极管结构和工作原理2. 4. 2光电三极管的主要性能参数第3章光电阴极与光电倍增管3.1光电发射过程3. 1. 1外光电效应3. 1.2金属的光谱
5、响应3.1. 3半导体光电发射过程3. 1.4实用光电阴极3. 2负电子亲和势光电阴极3. 2.1负电子亲和势光电阴极的原理3. 2. 2NEA光电阴极中的电子传输过程3. 2. 3NEA阴极的量子产额3. 2.4负电子亲和势阴极的工艺及结构3. 3真空光电管4. 3. 1真空光电管工作原理5. 3. 2真空光电管的主要特性6. 4光电倍增管7. 4. 1光电倍增管结构和工作原理8. 4. 2光电倍增管主要特性和参数3. 4. 3光电倍增管的供电电路第二部分光电成像器件【教学目标】(1)了解:微光像增强器,摄像管,红外紫外等成像器件;(2)理解:常用的光电成像器件的工作原理;(3)掌握:各种光
6、电成像器件的评价参数。【学时分配】21学时。【授课方式】讲授21学时。【授课内容】第4章微光像增强器4学时4.1像管的基本原理和结构4.1.1 光电阴极4. 1.2电子光学系统4. L3荧光屏4. 1.4光学纤维面板4. 2像管主要特性分析4. 2.1像管的光谱响应特性4. 2. 2像管的增益特性4. 2. 3像管的光传递特性4. 2. 4像管的背景特性4. 2. 5像管的传像特性4. 2. 6像管的时间响应特性4. 2. 7空间分辨特性5. 3红外变像管6. 3. I玻璃管型的红外变像管4. 3. 2金属型红外变像管4.4第一代微光像增强器4. 5微通道板4.5. 1通道电子倍增器4. 5.
7、 2微通道板的增益特性4. 5. 3电流传递特性4. 5. 4微通道板的噪声4. 5. 5微通道板的噪声因子4. 6第二代微光像增强器4. 6.1近贴式MCP像增强器静电聚焦式配像增强器4. 6. 3第二代微光像增强器的优点4. 6. 4第二代微光像增强器的缺点4. 7第三代微光像增强器4. 8第四代微光像增强器第5章摄像管3学时5.1摄像管的工作方式5. 2摄像管的性能指标与评定5. 2.1摄像管的灵敏度5. 2. 2摄像管的光电转换5. 2. 3摄像管的分辨率5. 2. 4摄像管的惰性5. 2. 5摄像管的灰度5. 3氧化铅光电导视像管5. 3.1氧化铅靶结构5. 3. 2视像管的结构5.
8、 3. 3视像管的工作原理5. 3. 4氧化铅视像管特性第6章CQ)和CMOS成像器件(避免重复,相当于复习2学时)6.1电荷耦合器件的基本原理6. 1. 1MOS结构特征6. 1.2CCI)的势阱深度和存储电荷能力6. 1.3电荷耦合原理6. L4电荷耦合的机理6. 2电荷耦合器件基本结构6. 2.1转移电极结构6. 2. 2转移信道结构6. 2. 3通道的横向限制6. 2. 4输入结构6. 2. 5输出结构6. 3CCI)的主要特性6. 4电荷耦合成像器件6. 4. 1线阵电荷耦合成像器件6. 4. 2面阵电荷耦合成像器件(ACCID)6. 4. 3两种面型结构成像器件的比较6. 4.4扫
9、描方式与读出转移动作6. 5彩色CCD成像器件6. 5.1补色滤光片结构6. 5. 2Bayer滤光片结构6. 6CM0S型成像器件的像素构造6. 6. 1PN结光电二极管方式6. 6. 2M0S光电门方式6. 6. 3掩埋型光电二极管方式6. 7CM0S成像器件的彩色像素6. 8CM0S与CCD图像器件的比较第7章致冷型红外成像器件4学时7. 1SPRITE红外探测器7. 1. 1硅镉汞的性质7. 1.2SPRITE探测器的工作原理与结构7. 1.3SPRITE探测器的响应率7. 2红外焦平面阵列的结构和工作原理7. 2.1红外探测的原理7. 2. 2红外焦平面阵列特点7. 2. 3红外焦平
10、面阵列的材料7. 2.4混合式IRFPA之倒装式结构7. 2. 5混合式IRFPA之Z平面结构7. 2. 6单片式阵列之PtSi肖特基势垒IRFPA7. 2.7单片式阵列之异质结探测元IRFPA7. 2. 8单片式阵列之MIS像元IRFPA7. 2. 9准单片式阵列结构7.3IRFPA的性能参数7. 3.1光伏型红外探测器的电压响应率7. 3. 2光伏型红外探测器的噪声和探测率7. 3. 3光子探测器的背景辐射限制7. 3. 4IRFPA的其他特性简述7. 4红外成像器件与材料的制备7. 4. 1材料制备技术7. 4. 2衬底的选择与制备7. 4. 3PN结的制作第8章略第9章热释电探测器和成
11、像器件4学时9.1热释电探测器的基本原理9. 1. 1热释电效应9. 1.2热释电探测器特性分析9. 2热释电材料和探测器9. 2.1热释电材料9. 2. 2热释电探测器的结构形式9. 2. 3热释电探测器的特点9. 3混合型热释电成像器件的设计9. 3. 1热隔离以提高温度响应9. 3. 2像素间热隔离以改进MTF9. 3. 3斩波器的结构9. 4单片热释电成像器件9. 4.1热释电薄膜材料9. 4. 2隔离结构9. 4. 3微机械加工传感器的制作流程设计9. 4.4热释电成像器件的集成电路第10章紫外探测与成像器件略第11章X射线探测与成像器件(4)11. IX射线的特性11. 1.1X射
12、线的产生H. 1.2X射线透过和吸收特性11. 1.3X射线量的表征H. 2X射线探测与成像器件的分类H.2. IX射线成像器件的分类11.2. 2X射线计算机断层扫描技术11.3X射线成像器件系统的性能指标H.4CsI/ MCP反射式X射线光电阴极1L4.1反射式X光阴极的物理过程反射式乂光阴极的量子效率11. 5窗材料/阴极透射式X光阴极窗材料/阴极透射式X光阴极物理过程11. 5. 2窗材料/阴极透射式X光阴极的量子效率11. 6X射线像增强器11. 6. IX射线像增强器的基本结构11.6. 2近贴型X射线像增强器H. 7X射线影像光电二极管阵列成像器件11. 8直接数字X射线影像器件
13、11.8. 1光电导体X射线的吸收电子一空穴对产生能11. 8. 3电荷传输和移动距离射线光电导体材料11. 8.5非晶Se的性质11. 8. 6样品制备动态成像的直接转换探测器的结构动态成像的直接转换探测器的工作原理直接转换成像器件的分辨本领11.8. 10动态成像的直接转换探测器的灵敏度【教学重点和难点】重点:各种光电成像器件的工作原理和基本结构。难点:特殊光电成像器件的工作原理。【授课方法与手段】(1)教学方法:采用讲授式教学方法。(2)教学手段:采用多媒体、板书结合的方式。【课外学习指导的要求】作业与思考题利用互联网查找典型光电子器件并记录对应的参数;搜索国内主要光电子器件生产企业,
14、特别是光电成像器件生产企业,列出广东省相关企业的具体地址及联系方式。六、课程考核要求1、考核主要环节:包括考勤、作业、课程论文、课程考试2、考核方式:平时成绩占总成绩占40%、课程期末考试成绩占60%。期末考试采用闭卷方 式,成绩评定依据参考答案及试卷答题情况确定。平时成绩由课堂考勤、课堂讨论、课堂提 问及作业完成情况综合确定。七、参考资料1、参考教材1汪贵华.光电子器件(第二版).国防工业出版社,20142庄顺连.光子器件物理.电子工业出版社,2013。2、参考资料1中科院上海光学精密机械研究所:hllp:www. siom. cas. cn/2中科院长春光学精密机械与物理研究:http:www. ciomp. ac. cn/3中科院西安光学精密机械研究所:http:www. opt. ac. cn/4长春理工大学:. cn/