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1、07中国（华南地区）真空与光电子技术论坛暨广东省真空学会学术年会（会后总结报告）参与人：刘洋黄启荣许连斌 时间：07年12月10日经过一天的培训，让我受益菲浅。从真空界前辈和专家 的论述中了解到真空技术的应用无处不在。高科技、新能源 都与真空技术紧密相连，现在的装饰薄膜在生产中出现的一 些新问题以及新动向。磁控溅射、多弧、离子镀等工艺镀膜 在实际生产过程中的运用都有了些了解。现在可利用能源与环境污染成为全球性问题，寻找和研 究清洁、无污染的可再生新能源是每个国家的研究热点。水, 风和太阳能等都是可以利用的可再生能源，但是我们国家的 风力资源不是很充足，水资源也在逐日减少，太阳能以可再 生、无污
2、染、取之不尽用之不竭的优势就成为了首选的新能 源，由此能光电转换薄膜在太阳能电池上起到不可取代的地 位。预计在以后50-100年时间内全球的50%80%的能源来 源于太阳能。许多真空设备，零配件和润滑油的厂商也讲解了各个附 件对真空的抽速以及对工艺和膜层质量的影响。例如：电源 是真空电镀技术的核心组成部分，其可靠性与稳定性直接影 响镀膜工艺的流畅性和膜层质量，也可以说镀膜技术的发展是随着电源技术发展而发展的；真空管道的设计亦对真空腔 体抽速有着很大影响；不同的薄膜沉积工艺选择不同的真空 泵；真空泵油的型号也直接影响泵的抽速和泵的使用寿命;现在环保形、低噪音、高抽速的干泵成为众多镀膜人的首选,
3、国外在这种新型泵的技术上属于一个领跑者，我们国家在这 种高转速、高性能的泵上突破和进展不明显；诸多方面表明 真空设备也在朝着节能，高效，长寿命的方向去发展。当前，硬质薄膜，光学增透、减反膜的应用已经慢慢成 为薄膜的又一个发展趋势。我国目前硬质薄膜主要运用于机 械制造和装饰两大方面。模具、切削刀具上使用超硬膜可以 降低磨损、减少基体的热负荷，从而提高精度，延长寿命。现在国外已经开发出一种新的短共价键超硬材料，其原子间 的膨胀系数很小，据说其坚硬的足以划破金刚石；装饰性超 硬薄膜以其结合力强，热稳定好和高硬度的优势在装饰膜行 业占据举足轻重的地位。光学薄膜技术又在数码、图象输入 和存储、国防军事等领域起到了无可替代的作用。可见，纳 米技术制备超硬膜，光学薄膜导入国防、航空事业即将成为 本世纪研究及应用的热点项目和发展主流。总结，此次是我第一次参加真空技术交流的培训，由于 自身的技术水平限制，不能提供很多让人茅塞顿开的理论及 见解。但是经过这次的学习，我了解到了自己的不足，在许 多方面都还要去学习和实践，以理论联系实际的将书本上的 知识变成自己的经验。结合我们公司的资源和优势进行一些 技术的简化和创新是我后续工作的目标和重点，能为公司做 出一些切实可用的事情。报告人：许连斌2007年12月12日