多晶硅生产企业安全技术指导书.doc

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1、关于印发多晶硅生产企业安全技术指导书的通知豫安监管202335 号各省辖市安全生产监视治理局、各相关企业：现将多晶硅生产企业安全技术指导书印发给你们， 请遵照执行。附件：多晶硅生产企业安全技术指导书河南省安全生产监视治理局2023年四月二十五日附件:多晶硅生产企业安全技术指导书1、范围本指导书规定了多晶硅生产过程产生的各类危害因素应 实行的根本安全技术要求和措施，包括总图平面布局与通道、防火防爆、防雷防静电、电气安全、生产装置安全、防尘防毒、 防噪声、防护用品、多晶硅作业安全和安全治理等方面内容。适用于河南省境内用氯硅烷法生产多晶硅的生产企业。2、根本安全要求2.1 根本规定2.1.1 建、扩

2、建、改建多晶硅生产企业装置应符合 本指导书的规定。暂不符合本指导书规定的现有多晶硅生产企业，应实行综合预防、治理措施，到达本指导书要求。2.1.2 建、扩建、改建多晶硅生产企业的安全、卫生状 况，安全、卫生技术措施与治理措施应符合 GB 12801-2023生产过程安全卫生要求总则的规定；其安全设施设计专篇应符合危急化学品建设工程安全设施设计专篇编制导则试行；爆炸危急场所应当符合爆炸危急场所安全规定 劳部发199556 号。多晶硅生产企业的建、改建、扩建工程， 必需进展安全、环保和职业卫生评价，其安全、卫生、消防、 环保设施，应与主体工程同时设计、同时施工、同时投入生产和使用。 用于生产、储存

3、危急化学品的多晶硅生产企业应进展安全条件论证和托付有资质的机构进展安全评价；其建设工程应托付具有化工设计乙级以上资质的设计单位设计；应托付具有化工建设安装资格的单位负责施工。2.2 总图功能分区与通道2.2.1 多晶硅生产企业总图布置应符合建筑设计防火规 范GB50016-2023 和石油化工企业设计防火标准 GB50160-2023 、 化工企业总图运输设计标准GB50489-2023的有关规定。2.2.2 建筑物的耐火等级和防火间距符合建筑设计防火标准GB50016-2023和石油化工企业设计防火标准GB50160-2023的有关规定。2.2.3 厂区消防系统设计应符合建筑设计防火标准GB

4、50016-2023的有关规定。2.3. 防火防爆分区与间距2.3.1 同一防火分区内有不同性质生产时，其火灾分类， 应按火灾危急性较大的局部确定。多晶硅生产企业火灾危急性 分类和举例见附录 A。2.3.2 氯化氢与三氯氢硅合成装置、多晶硅复原装置、复原尾气回收分别装置、四氯化硅氢扮装置、电解水制氢装置、 氢气罐区、氯硅烷罐区等有爆炸危急厂房的泄爆面积应符合GB50016-2023建筑设计防火标准GB50016-2023第3.6 节要求。2.3.3 易燃易爆厂房内不应设置办公室、休息室。如必需 贴邻本厂房设置时，应承受一、二级耐火等级建筑，并应承受 耐火极限不低于 3h 的非燃烧体防护墙隔开或

5、设置直通室外或疏散楼梯的安全出口。2.3.4 假设专用把握室、中控化验室必需与设有氯化氢与三 氯氢硅合成反响、四氯化硅氢化反响、多晶硅复原反响、电解 水反响等生产设备的房间布置在同一建筑物内时，应用非燃烧 体防火墙隔开和设置独立的安全出口，朝向爆炸危急区域的应 承受防爆墙。防火墙的耐火等级应为一级。2.4 贮存场所2.4.1 构成重大危急源的氢气罐区和氯硅烷储罐区应严格 依据重大危急源的有关规定执行。2.4.2 全部氯硅烷罐区都应依据该罐区单个最大容积储罐配备备用储罐。2.4.3 全部甲、乙类液体的轻松容器如桶、瓶存放在室外时，应设置防晒棚或水喷淋雾设施。氯硅烷贮罐区应 设防日晒设施或其他降温

6、设施，甲、乙类液体贮罐阀门冬季应有防冻措施。储存氯硅烷液体，应选用压力储罐。2.4.4 厂区消防设施应依据 建筑设计防火标准 GB50016-2023 、 建 筑 灭 火 器 配 备 设 计 规 范 GB50140-2023的相关要求配置。2.5 消防、防雷、防静电2.5.1 扑救四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅、一氯三氢硅、硅烷、等甲、乙、丙类液体应选用干粉灭火器。生产作业 场所应按 GB50140-2023建筑灭火器配置设计标准的规定依据火源及着火物质性质，配备适当种类、足够数量的消防器材，并定期检查，保持有效状态。2.5.2 生产作业场所的各类建、构筑物、露天装置、贮罐应设置防雷设施。 防

7、雷措施及防雷装置应符合 GB 50057-19942023 年版建筑物防雷设计标准的要求。防雷设施应由有资质的单位进展设计、安装和监测。2.5.3 生产作业场所内可能产生静电危害的物体应实行工 业防静电接地措施，应符合 GB 12158-2023防止静电事故通用导则的要求。 使用、贮存、输送、装卸、运输易燃易爆物品各类溶剂、氯硅烷、导热油、产生可燃性粉料等的生产装置反响器、提纯塔、换热容器、贮罐、输送泵、装卸 设施和过滤器、易燃液体、气体管道阀门等、装卸场所以及产生静电积存易燃易爆的生产设施岗位都应有防静电接地措施。各专设的防静电接地电阻值不应大于 100。2.5.4 在输送和灌装过程时，应防

8、止液体的飞散和飞溅， 以削减静电产生。从底部或上部入灌的注入管末端应设计成不 易使液体飞散的倒 T 外形或另加导流板；或在上部灌装时，使液体沿侧壁缓慢下流。2.5.5 易燃易爆液体应从槽车等大型容器底部注入，假设不 得已在上部灌装时，应将注入管伸入容器内离其底部不大于200mm 处，在注入管未浸入液面前，其流速应限制在 1m/s 以内。2.5.6 装运危急化学品的汽车槽车装卸作业时应配带阻火 帽、静电接地链等设施，在装卸区应安装静电接地报警器，装 卸作业依据先接地再作业的原则进展。装卸工作完毕后，应静 置 2min 以上时间，才能撤除接地线。2.5.7 氢气储罐区、氢气压缩机房等重点防火防爆作

9、业区的入口处，应设置人体静电消退装置接地暴露金属体如栏杆、 金属支架等。2.6 电气安全2.6.1 电解水制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成装置、氯硅烷分别提纯装置、多晶硅复原装置、复原尾气干法回收装置、四氯化硅氢扮装置、氢气和氯硅烷罐区等爆炸性气 体环境电气装置应符合 GB 50058-1992爆炸和火灾危急环境电力装置设计标准第 2 章的要求, 硅粉仓库等爆炸性粉尘环境电气装置应符合 GB 50058-1992爆炸和火灾危急环境电力装置设计标准第 3 章的要求。2.6.2 电解水制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成 装置、氯硅烷分别提纯装置、多晶硅复原装置、复原尾气干法 回收装置、四

10、氯化硅氢化等生产装置中的 DCS 过程把握系统应有 ups 备用电源，多晶硅复原炉冷却系统循环动力泵应有其它备用电源或冷却水备用水箱。四氯化硅氢化、活性炭吸附 和多晶硅复原或其他工艺承受直接电加热方式，应实行电气防 爆措施，并符合 GB 50058-1992爆炸和火灾危急环境电力装置设计标准要求。2.6.3 电解水制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成装置、氯硅烷分别提纯装置、多晶硅复原装置、复原尾气干法 回收装置、四氯化硅氢扮装置生产装置、氢气和氯硅烷罐区等 易燃易爆环境的电气设备和线路的安装和敷设应符合GB50058-1992爆炸和火灾危急环境电力装置设计标准、GB50257-1996爆炸

11、和火灾危急环境电力装置竣工及验收标准。2.6.4 各种场所的电气设施防爆等级见附录。2.7 生产装置安全2.7.1 生产设备应具备根本安全功能，符合 GB5083-2023生产设备安全卫生设计总则的通用安全要求。锅炉、压力容器、及其压力管道、电梯、电动葫芦、供垂 直运输物品的升降机、叉车等特种设备应当符合特种设备安全监察条例要求。2.7.2 建构筑物防腐应满足 GB50046-95工业建筑防腐蚀设计标准的要求。2.7.3 生产工艺过程中接触氯硅烷介质的生产装置不宜采 用 304 不锈钢材料。2.7.4 工业金属管道的材料、组成件的选用、布置应符合GB 50316-2023工业金属管道设计标准的

12、要求。2.7.5 工业管道的识别色、识别符号、安全标识应符合 GB 7231-2023工业管道的根本识别色、识别符号和安全标识 要求。2.8 相关安全装置2.8.1 凡工艺上有放空的设备均应设放空装置，并定期检 查其有效性。用于易燃、易爆气体放空的安全阀及放空管，应 至少将其导出管高出建筑物屋脊 1.0m 以上，不应将导出管置于下水道等限制性空间，以免引起爆炸。放空管应选用金属材 料，不应使用塑料管或橡皮管。其中释放压力大于等于0.1MPa 的放空管线应承受不锈钢材料。放空管上应设有阻火器，应静电接地。管口上应有挡雨、阻雪的伞盖。2.8.2 易燃易爆液体严禁使用玻璃管液位计。2.8.3 四氯化

13、硅氢化反响器和导热油电加热器温度把握装 置应有冗余设计，宜使用两套把握仪器，并定期校验。氢化反 应器及系统中的安全附件、安全保护装置、测量调控装置及有 关附属仪器应完整、齐全、有效。2.9 安全标志2.9.1 多晶硅企业生产作业场所应按 GB 2894-1996 安全标志 的规定设置安全标志，或在建构筑物及设备上按 GB 2893-2023安全色规定涂安全色。2.9.2 生产作业场所的紧急通道和出入口，应设置明显醒 目的标志。生产作业区入口及其他制止明火和产生火花的场所 应有制止烟火的安全标志。2.10 职业危害把握2.10.1 生产过程应严格把握粉尘、毒物的产生。存在严峻 职业危害的作业岗位

14、应按 GBZ 158-2023工作场所职业病危害警示标识的规定设置醒目的警示标识和中文警示标志。2.10.2 依据生产工艺和粉尘、毒物特性，实行防尘、防毒 通风措施把握其集中，使作业场全部害物质及粉尘的浓度符合GBZ 2-2023工作场全部害因素职业接触限值规定。多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度见附件 B。2.10.3 产生粉尘、可燃性气体烟雾的作业场所，应设排毒或除尘净化的通风设施。通风设施应有防爆措施，风机与电机应要求防爆隔爆等级。通风空气不应循环使用。2.10.4 对于毒性危害严峻的生产过程和设备，应设计牢靠 的事故处理装置及应急防护措施。在有毒性危害的作业环境中，应设置必

15、要的洗眼器、淋洗器等卫生防护设施，其效劳半 径应小于 15m。并依据作业特点和防护要求，确定配置事故柜、急救箱或个人防护用品。2.10.5 应从声源上把握生产过程和设备噪声，以低噪声的 工艺和设备代替高噪声的工艺和设备。2.10.6 生产过程和设备的噪声应实行隔声、消声、隔振及 治理等综合措施，使操作人员每天连续 8h 接触的噪声不大于85dBA。作业场所噪声声级的卫生限值，应符合国家标准 GBZ 1-2023工业企业设计卫生标准要求。2.10.7 当室内作业地点气温等于或大于 37时应实行局部降温存防暑措施，并应削减接触时间。在炎热季节对高温 作业的工人应供给含盐凉快饮料含盐量为 0.1%0

16、.2%。2.10.8 当室内作业地点温度近十年最冷月平均温度等于或小于 8的月份连续三个月以上的，应设置采暖设施，设置采暖设施应符合 GB50016-2023建筑设计防火标准第 10.2节的要求。甲、乙类厂房和甲、乙类仓库内不应承受明火和电热散热器采暖。2.11 防护用品治理2.11.1 对作业人员应实行个人防护措施，配备专用的劳动防护用品。不同岗位作业人员配用劳动防护用品及劳动防护用品质量性能应符合 GB/T 11651-2023个体防护装备选用标准的要求。易燃易爆场所作业人员应配用阻燃、防静电、防 酸碱的工作服、防毒口罩、工作手套等。2.11.2 生产作业场所应配备呼吸防护器以及其他应急防

17、护用品。呼吸防护器配备应符合 GB/T 18664-2023呼吸防护用品的选择、使用与维护的要求。2.12 过程自动把握设计安全要求2.12.1 系统 DCS 的操作站、把握器、通讯总线、I/O 卡件等应当考虑冗余要求。2.12.2 提纯塔、三氯氢硅气扮装置、复原尾气压缩机、氢 化反响器等重要设备应依据其内部物料的火灾危急性和操作条件设置相应的仪表报警讯号，自动联锁保护系统或紧急停车 系统。2.12.3 多晶硅生产装置中，承受 DCS、PLC 等执行监控的生产装置仪表电源应承受 ups 备用电源，其后备电池供电时间：15min-30min2.12.4 氢气压缩机房、复原炉室、氯硅烷储罐区等区域

18、内， 应设置可燃气体检测报警仪。氯硅烷罐区的区域内，还应设置有毒气体检测报警仪。2.12.5 易燃易爆装置内的保护管与仪表、检测元件、电气设 备 、 接 线 箱 、 拉 线 盒 等 的 连 接 作 业 ， 应 当 符 合GB50257-1996爆炸和火灾危急环境电力装置竣工及验收标准的有关要求。3、多晶硅生产作业安全3.1 工艺把握及一般规定3.1.1 企业应依据不同的多晶硅生产具体工艺及特点，根 据本指导书制定岗位操作规程。3.1.2 多晶硅生产的工艺技术指标和中间把握指标应认真 核对、严格把握，重要的把握指标应设治理把握点。更改指标 应有相应的安全保障，并经技术负责人批准。3.1.3 加热

19、设备、提纯设备、复原设备、氢化反响设备、HCL 与 TCS 合成设备、制氢设备、干法回收设备、关心设备过滤机、离心机、各类泵、空气压缩机、通风机、电动葫芦 等生产设备的操作应依据安全操作规程进展。3.1.4 系统开停车根本指导书3.1.4.1 系统开车前应先检查并确认水、电、汽(气)必需符合开车要求，设备及其安全附件完好，各种原料、材料、关心 材料的供给必需齐备，合格，投料前必需进展分析验证。3.1.4.2 检查阀门开闭状态及盲板抽加状况,保证装置流程 畅通,各种机电设备及电气仪表等均应处在完好状态。3.1.4.3 保温、保压及洗净的设备要符合开车要求,必要时 应重置换,清洗和分析,使之合格。

20、3.1.4.4 必要时停顿一切检修作业 ,无关人员不准进入现场。3.1.4.5 各种条件具备后开车,开车过程中要加强有关岗位之间的联络,严格按开车方案中的步骤进展 ,严格遵守升降温 , 升降压和加减负荷的幅度(速率)要求。3.1.4.6 开车过程中要严密留意工艺的变化和设备运行的状况,加强与有关岗位和部门的联系,觉察特别现象应准时处理, 状况紧急时应中止开车,严禁强行开车。3.1.4.7 必需编制停车方案,正常停车必需按停车方案中的 步骤进展。用于紧急处理的自动停车联锁装置 ,不应用于正常停车,加强与有关岗位和部门的联系。3.1.4.8 系统降压,降温必需按要求的幅度(速率)并按先高 压后低压

21、的挨次进展。凡需保压、保温的设备容器等 ,停车后要按时记录压力,温度的变化。3.1.4.9 大型传动设备的停车,必需先停主机,后停辅机.3.1.4.10 设备(容器)卸压时,要留意易燃,易爆,易中毒等化 学危急物品的排放和散发都应进入尾气处理系统 ,防止造成事故。3.1.4.11 冬季停车后,要实行防冻防凝措施。3.1.5 紧急处理。3.1.5.1 工艺及机电设备等发生特别状况时,应快速实行措 施,并通知有关岗位协调处理。如仍不行控，或发生爆炸、着火、大量泄漏等事故时，马上启动应急救救援预案。3.2 三氯氢硅提纯3.2.1 提纯塔开车。3.2.1.1 应依据所开提纯塔的工艺操作规程或作业本指

22、导书的要求操作。3.2.1.2 提纯塔进料前要确保全部相关设备、阀门、管道 均已打压检漏吹扫合格，各种仪表监控装置经校验合格并正常 投用。3.2.1.3 该提纯塔以及相关全部设备管道用高纯氮气置换 合格经检测后氮中氧小于 5000PPm，露点小于-45。3.2.1.4 应依据工艺技术操作规程的要求逐步开车，留意进料流量，升温升压速度，防止由于升压过快引起塔失去把握， 发生事故。在开塔过程中留意，冷热源的投入必需遵循“先冷后热”的原则，先通冷却介质，再通加热介质，在通入热源之间要先进料，应避开加热设备“干烧”的状况。3.2.2 提纯塔运行把握3.2.2.1 提纯塔运行中要严格依据工艺操作参数把握

23、，不 应超过全部参数的把握范围。3.2.2.2 提纯塔运行中假设消灭泄漏时应马上实行停塔处理措施，停顿加热，停顿进出料，翻开尾气阀门泄压，通入高 纯氮气，防止由于泄漏消灭着火爆炸等次生事故。假设条件允许，可使用带压堵漏工具对泄漏部位进展封堵，否则待压力降低后将塔内物料倒出，高纯氮气置换，分析合格后再对泄漏部位进展处理。3.2.2.3 提纯塔运行中要细心观看各参数运行是否特别， 定期对循环水 ph 值及系统压力进展检测，以确保在换热器泄漏时能够准时觉察处理。3.2.3 提纯塔停车3.2.3.1 提纯塔停车时应遵循“先热后冷”的原则，当提纯塔全部进出料停顿，与其他系统断开后，先停顿热源，保持冷却水

24、连续运转，待塔内温度降下来、塔压维持稳定前方可关闭冷却循环水。停塔过程中应随时监视塔内压力和温度状况。3.2.3.2 提纯塔停塔后依据实际状况进展后续处理。如停塔后不需检修且物料没有倒出，则要连续监视塔内各个参数， 保证塔内各参数正常，且保持微正压；如需要检修，则应把塔内全部物料倒出，高纯氮气置换合格后进展检修。3.3 复原尾气干法回收3.3.1 复原尾气干法回收系统开车。3.3.1.1 应依据复原尾气干法回收系统的工艺操作规程或作业本指导书的要求操作。干法回收系统进料前要确保 全部相关设备、阀门、管道均已打压检漏吹扫合格，各种仪表 监控装置经校验合格并正常投用。3.3.1.2 全部相关设备管

25、道先使用高纯氮气置换经检测后氮中氧小于 5000PPm，露点小于-45，合格后再使用高纯氢气置换，氢气置换合格氢中氮小于 5000PPm，氢中氧小于 10PPm后才可以进料。3.3.1.3 干法回收系统进料后，循环降温的过程中要加强现场巡检，防止由于系统温度降低造成的泄漏。降温过程中严格把握降温速度，防止低于设备承受温度而发生的设备损坏。3.3.2 复原尾气干法回收系统运行把握。3.3.2.1 应依据复原尾气干法回收系统的工艺操作规程或作业本指导书的要求操作。在干法回收系统运行期间， 操作者要细心调整，确保各个参数都保持在正常范围内。3.3.2.2 正常运行时突然停水，停电，泵、压缩机、冷冻系

26、统会马上跳停，鼓泡淋洗系统压力会快速上升，应马上开启 鼓泡淋洗系统尾气阀门泄压，停顿向复原系统供料，操作人员 严密监控各个参数，一旦消灭超压现象应准时泄压。3.3.2.3 氢气或物料泄露，应马上将泄漏部位与其它局部断开，利用尾气管道泄压，当系统压力低于氮气系统压力时， 向系统内通入高纯氮气，降低泄漏物中可燃物质含量，避开发生着火爆炸等次生事故。3.3.2.4 运行中要定时对各个局部气体以及物料进展检测 (成分、杂质)，通过检测结果对把握参数进展适当的调整，以 优化系统的运行效果。3.3.3 复原尾气干法回收系统停车3.3.3.1 应依据复原尾气干法回收系统的工艺操作规程或作业本指导书的要求操作

27、。3.3.3.2 干法回收系统停车过程中，要留意各参数是否特别，特别是鼓泡淋洗系统和脱吸塔压力是否特别不能超过系 统设定压力，随时做好泄压的预备。3.4 四氯化硅氢化3.4.1 硅粉与触媒加料。3.4.1.1 应依据氢化系统和混料机的工艺操作规程或作 业本指导书的要求操作。3.4.1.2 硅粉与触媒下料时应翻开除尘装置，把握加料速 度，防止固体粉尘飞扬。操作者应佩戴相关劳动防护用品。3.4.1.3 加料完成后关闭活化枯燥器加料阀门，并加上盲 板按 AQ3027-2023 要求，升压检漏合格前方可进展下一道工序。3.4.2 硅粉与触媒的活化枯燥。3.4.2.1 应依据氢化系统和氢气加压净化系统的

28、操作规程或作业本指导书的要求操作。3.4.2.2 进氢气前要确保全部相关设备、阀门、管道均已 打压检漏吹扫合格，各种仪表监控装置经校验合格并正常投用。3.4.2.3 系统运行前要确保高纯氮气置换合格，经检测后氮中氧小于 5000PPm，露点小于-45。氢气置换合格氢中氮小于 5000PPm，氢中氧小于 10PPm。3.4.2.4 活化枯燥过程中要严格依据触媒的升温曲线进展升温，升温过程要严格监控系统各参数的变化状况，升温速度 不能过快，防止设备管道由于短时间内形变过大而造成的损坏。全部电加热设备运行时必需确保有足量的气体流淌，避开 由于局部过热造成设备、管道发生泄漏。3.4.2.5 活化枯燥过

29、程中发生氢气泄漏着火时，要马上停 止全部运行设备，切断氢气来源，准时通入氮气，利用各个尾 气点泄压。同时利用干粉灭火器、二氧化碳灭火器或氮气准时 扑救。3.4.3 氢化反响过程运行把握。3.4.3.1 应依据氢化系统的操作规程或作业指导书的 要求操作。3.4.3.2 进氢气前要确保全部相关设备、阀门、管道均已 打压检漏吹扫合格，各种仪表监控装置经校验合格并正常投用。3.4.3.3 运行前应确保氮气置换合格经检测后氮中氧小于5000PPm，露点小于 -45，氢气置换合格氢中氮小于 5000PPm，氢中氧小于 10PPm。3.4.3.4 混合气预热炉四周等氢化系统关键部位，应依据氢气使用安全技术规

30、程GB4962-2023安装氢气报警装置，依据石油化工可燃气体和有毒气体监测报警设计标准GB50493-2023安装氯化氢报警装置。3.4.4 停车氧化抽渣。3.4.4.1 应依据氢化系统的操作规程或作业指导书的要求操作。停车时要遵循“先热后冷”的原则，先停顿全部的 加热设备，压缩机连续运转，当系统温度降至规定值之下，再停顿降温设备和压缩机。3.4.4.2 停车后将系统内剩余物料倒出，压力卸为微正压， 开头氮气置换。氮气置换合格后氮中氢小于 5000PPm，将氢化系统与其他系统加盲板断开。3.5 三氯氢硅复原。3.5.1 三氯氢硅复原系统开车。3.5.1.1 开车应依据三氯氢硅复原系统的工艺规

31、程或作业指 导书要求进展操作。3.5.1.2 开车前要确保全部相关设备、阀门、管道均已打压检漏吹扫合格；氮气置换合格检验以氮中氧 5000ppm 视为合格；氢气置换合格检验以氢中氮1000ppm，氢中氧10ppm 视为合格，氢气置换合格后系统具备开炉条件。3.5.1.3 复原炉装置区间、混合气体工艺管路室内输送区间的屋顶必需装置可燃性气体实时监测装置，经校验能监测出 低浓度氢气如氢气爆炸下限的 1/10 以下等可燃性气体。3.5.1.4 应依据工艺技术操作规程的要求逐步开车，硅芯高压击穿时人员制止触摸复原炉及与其相连的任何管路设施； 启炉成功后留意进料流量，升温升压速度的平稳把握，防止因为升压

32、过快消灭泄漏事故。3.5.1.5 开车过程中，现场巡检监护人员应携带移动式可 燃性气体报警仪、防毒面具、防爆对讲机等，一旦检测到有泄 漏状况，在实行自我防护措施的前提下，准时与中控室取得联 系，并听从指挥，依据应急预案进展处理。3.5.2 三氯氢硅复原系统运行把握3.5.2.1 运行应依据三氯氢硅复原系统的工艺规程或作 业指导书要求进展操作。3.5.2.2 建立巡检监测制度：准时巡检炉内状况，并监测炉内压力，进出气温度压力变化；适时检查复原炉连接电缆、 接头等运行状况，防止过热烧红现象发生。觉察特别，按应急预案进展处理。3.5.2.3 定时进展巡检，记录工艺运行参数，并比照前后 运行参数，防止

33、系统消灭特别。3.5.3 三氯氢硅复原系统停车。3.5.3.1 依据三氯氢硅复原系统的工艺规程或作业指导 书要求进展操作。3.5.3.2 复原炉停混合气后，应先通氢气进展置换，硅棒 断电后，应待复原炉出气温度降低至 100以下再通入氮气进展置换，使氮中氢在氢气爆炸下限 1/10 以下。3.6 危急化学品运输、装卸作业3.6.1 危急化学品运输3.6.1.1 危急化学品运输应具有运输危急化学品货物经营资质，应专车专用，应设有车辆消防安全设施，并有明显标志。3. 6.1.2 汽车运输、装卸危急货物作业应符合 JT 617-2023汽车运输危急货物规章、JT 618-2023汽车运输、装卸危急货物作

34、业规程规定。汽车运输危急货物车辆标志应符合 GB 13392-2023道路运输危急货物车辆标志要求。3.6.2 危急化学品装卸3.6.2.1 应依据危急化学品装卸车的操作规程或作业指 导书的要求操作。3.6.2.2 运输氯硅烷的槽车设计压力不得低于 0.6Mpa。3.6.2.3 车辆进入装卸位置后，应先接好防静电导线，隔 离装卸车区域，制止其他车辆进入装卸车区域。3.6.2.4 氯硅烷装卸作业应使用承压力气不低于 0.6Mpa 的耐压软管，连接形式必需承受法兰连接；3.6.2.5 雷雨天不得进展氯硅烷装卸车作业，当物料装卸 区有动火作业时应停顿装卸作业。3.6.2.6 氯硅烷装卸车过程发生泄漏

35、时应马上将泄漏部位 与其它系统断开，操作人员穿戴防护用品将物料压入事故罐内，然后依据泄漏部位的具体状况确定处置方法。3.7 公用工程3.7.1 氢气站的生产应严格遵守 GB50177-2023氢气站设计标准和 GB4962-2023氢气使用安全技术规程的有关规定。3.7.2 热能转换系统应依据设计要求向工艺系统供给加热 或冷却介质，生产操作时依据工艺技术规程、安全操作规程或 作业指导书执行。3.7.3 循环冷却水的水质符合 GB 50050-2023 的规定， 水质稳定剂须经化验并确认符合要求才能投入生产使用；水质 稳定剂的存放地点符合安全要求。3.7.4 生产装置各 10kV 配电站应为双回

36、路供电，母联具有备自投功能。当一路电源事故跳闸时，可自动切换至另一电 源供电。其设计容量应满足单电源带全部负荷运行。3.7.5 全部变配电站均为两台及以上配变变压器运行，互 为备用，其低压具有手动合环运行功能，变压器容量应满足单 台变压器同时带低压全部负荷运行。4、安全治理体系企业应以保证多晶硅生产过程安全、卫生为目标，建立全 员安全生产责任制和相应的安全标准化治理体系。附录A：多晶硅生产企业火灾危急性分类A.1 火灾危急性分类多 晶 硅 生 产 中 危 险 化 学 品 的 火 灾 危 险 性 按 照GB50016-2023建筑设计防火标准的规定。A.1.1 可燃危急化学品的火灾危急性分类表自

37、燃 爆炸极限V/V序危急化学号品名称超细硅危急闪点点类别第4.1类火灾危下限上限险类别1775160mg/m3乙类粉2氢气三氯氢易燃固体第2.1类4004.174.1甲类易燃气体第4.3类3遇湿易燃-13.9175 硅物品第2.36.970.0甲类4二氯二氢硅85*4.199.0甲类有毒气体*在潮湿空气中，会发生局部放热反响，实际发生闪爆的环境温度往往大大低于该自燃点，这是造成目前发生最多的多 晶硅企业爆炸事故的缘由。A.2 防爆等级划分A.2.1 爆炸性气体环境危急区域依据 GB 50058-1992 第2 章第 2 节的规定划分。A.2.2 粉尘环境危急区域依据 GB 50058-1992

38、 第 3 章第2 节的规定划分。A.3 多晶硅生产装置火灾危急性分类A.3.1 氢氧站生产装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成 装置、氯硅烷分别与提纯装置、多晶硅复原装置、复原尾气回 收与分别装置、氢气罐区、氯硅烷罐区的火灾类别为甲类易燃 易爆作业场所，属爆炸性气体环境；A.3.2 硅粉库生产装置火灾类别为乙类，属爆炸性粉尘环境。附录 B ：多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度序号危急化学品名称危急类别毒性安康危害特危害性级别工作场接触限值mg/m3MAC TWA STEL1硅粉第4.1类易燃固体矽肺1.532氢氟酸第8.1类酸 中毒、灼伤2B.1 多晶硅生产场所空气中有毒物质及粉尘容

39、许浓度中毒、灼伤灼伤IV2灼伤IV0.522窒息窒息中毒、窒息1窒息中毒、灼伤3中毒、灼伤中毒、灼伤中毒、灼伤7.5硝酸性腐蚀品第8.1类酸性腐蚀品氢氧化第8.2类碱钾性腐蚀品氢氧化第8.2类碱钠性腐蚀品压缩氩第2.2类气不燃气体压缩氮第2.2类气不燃气体氯气第2.3类有毒气体氢气第2.1类易燃气体三氯氢硅第4.3类遇湿易燃物品345678910二氯二氢11硅四氯化12硅13 氯化氢第2.3有毒气体第8.1类酸性腐蚀品第2.2类14 盐酸附录C ：不燃气体第8.1类酸性腐蚀品中毒、灼伤7.5多晶硅生产过程中的危急、有害因素资料性C.1危急因素C.1.1火灾火灾发生必需具备空气氧气、可燃物质、引

40、燃爆 能量三个条件。当氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅二氯二氢硅、一氯三氢硅泄漏时，遇明火或静电等其他能量引燃简洁引起火灾；氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅二氯二氢硅、一氯三氢硅容器管道裂开时遇明火或静电等其他能量引燃简洁发生火灾。C.1.1.1可燃物质a) 氢气、三氯氢硅、二氯二氢硅、一氯三氢硅、导热油。b) 生产过程中在某些生产装置内形成的未彻底水解的浅黄色枯燥团状或块状物质，这些物质具有较强的燃烧性，往往 在脚踩的状况下即可发生燃烧。c) 活性炭等、超细硅粉包括复原过程中产生的超细无 定型硅。D.1.1.2引燃能量a) 明火或高温物体外表：氢气电加热器、复原炉运行状态、作业场所内部或

41、外部带入的烟火、照明灯具灼热外表，设备、管道、电器外表的过高温度、气焊割明火、机动车排气管喷火、 烟囱飞火花等；b) 摩擦冲击：机械轴承发热，钢铁工具、铁桶和容器与地 面相互碰撞或与地坪撞击，带钉鞋与地坪撞击等；c) 电器火花：电路开启与切断、短路、过载，线路电位差 引起的熔融金属，保险丝熔断、外露的灼热丝等，击穿产生的拉弧等；d) 静电放电：氯硅烷设备、容器、管道静电积存或容器、 管道裂开，等；e) 雷电；f) 化学能：自燃二氯二氢硅、一氯三氢硅，物质混合猛烈放热反响三氯氢硅、二氯二氢硅，一氯三氢硅水解放 热自燃等；g) 日光聚焦。C.1.1.3增加燃烧危急的因素a)密闭空间富氧状态；b)

42、火灾时连续通风；c) 盛装易燃易爆液体的压力容器、管道裂开与容器倾复后 的流淌和集中；d) 比空气重的氯硅烷蒸气积聚e)室内气温高。C.1.2 爆炸a) 密闭空间及通风不良处所，易燃气体及粉尘积聚到达 爆炸极限，遇到火源瞬间燃烧爆炸。b) 氢气、氯硅烷或二者混合气大量泄漏，遇到火源瞬间 燃烧爆炸。c二氯二氢硅泄漏后，遇空气中的水分，即会发生局部 放热反响而发生爆炸。d) 复原炉开炉误操作，导致在有氢气或氢气与氯硅烷化 合物与空气共存时，通电形成爆炸。e) 氯化氢合成点火误操作，形成氢气与氯气混合后光照反 应，导致爆炸等。f) 容器或管道因超压或超温发生的爆炸。C.1.3 中毒生产性物质：氯气、

43、氯化氢、氯硅烷、氢氟酸等生产性有毒物质，通过呼吸道、消化道及皮肤侵入人体或眼睛。有的可刺激粘膜上呼吸道或视网膜，有的可引起过敏反响或皮炎， 有的造成急、慢性中毒C.1.4 灼伤三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等介质遇水反响，均放出有毒的腐蚀性气体氯化氢。盐酸、氢氟酸、硝酸、氢氧化 钠、氢氧化钾等更是直接腐蚀介质，人体在生产活动中因物料迸溅、泄漏、意外接触等缘由，有被这些腐蚀性介质灼伤的可能。C.1.5 窒息多晶硅生产过程中涉及惰性气体氮气、氩气的地方较多。 因此，多晶硅生产过程生产过程中，窒息事故也经常发生。在使用、生产上述物质的水电解制氢、多晶硅复原、复原尾气干法回收、四氯化硅氢化、活性炭吸附、四氯化硅综合利用，以及配套建设的动力中心、氯硅烷罐区等场所，均存在中毒窒息的危急。生产过程或装置中引入氮气作为保护气、置换时使用氮气、硅芯拉制过程中用氩气作为保护气等，一旦保护措施不到位均可造成窒息事故。