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1、涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating显显 影影DevelopingDeveloping蚀蚀 刻刻EtchingEtching剥剥 膜膜StripeStripe配向膜涂布配向膜涂布Polyimide CoatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-over Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤Pre-CuringPre-Cu
2、ring涂涂 布布Spacer SpraySpacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExposure清清 洗洗CleanClean清清 洗洗CleanClean贴贴 片片PolarizerPolarizer AssemblyAssemblyLCD制程流程图制程流程图涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating显显 影影DevelopingDeveloping蚀蚀 刻刻EtchingEtching剥剥 膜膜StripeStripe配向膜涂布配向膜涂布Polyimide C
3、oatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-over Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤Pre-CuringPre-Curing撒撒 布布Spacer SpraySpacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExposure清清 洗洗CleanClean贴贴 片片PolarizerPolarizer Asse
4、mblyAssembly清清 洗洗CleanClean显显 影影DevelopingDeveloping蚀蚀 刻刻EtchingEtching剥剥 膜膜StripeStripe配向膜涂布配向膜涂布Polyimide CoatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-over Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤Pre-CuringPre-Curing撒撒 布布Spacer Spray
5、Spacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExposure涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating贴贴 片片PolarizerPolarizer AssemblyAssembly清清 洗洗CleanClean涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating显显 影影DevelopingDeveloping蚀蚀 刻刻Etchi
6、ngEtching剥剥 膜膜StripeStripe配向膜涂布配向膜涂布Polyimide CoatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-over Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤Pre-CuringPre-Curing撒撒 布布Spacer SpraySpacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExpo
7、sure曝曝 光光ExposureExposure清清 洗洗CleanClean涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating蚀蚀 刻刻EtchingEtching剥剥 膜膜StripeStripe配向膜涂布配向膜涂布Polyimide CoatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-over Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤P
8、re-CuringPre-Curing撒撒 布布Spacer SpraySpacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExposure显显 影影DevelopingDeveloping显显 影影DevelopingDeveloping贴贴 片片PolarizerPolarizer AssemblyAssembly清清 洗洗CleanClean涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating显显 影影DevelopingDeveloping剥剥 膜膜StripeStripe配向膜
9、涂布配向膜涂布Polyimide CoatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-over Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤Pre-CuringPre-Curing撒撒 布布Spacer SpraySpacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExposure蚀蚀 刻刻EtchingEtching蚀蚀 刻刻E
10、tchingEtching贴贴 片片PolarizerPolarizer AssemblyAssembly清清 洗洗CleanClean涂布光阻剂涂布光阻剂Photoresist CoatingPhotoresist Coating显显 影影DevelopingDeveloping蚀蚀 刻刻EtchingEtching配向膜涂布配向膜涂布Polyimide CoatingPolyimide Coating灌灌 液液LC InjectionLC Injection定定 向向RubbingRubbing印印 框框Screen PrintingScreen Printing印印 点点Cross-ov
11、er Cross-over PrintingPrinting预预 烤烤Pre-CuringPre-Curing撒撒 布布Spacer SpraySpacer Spray组组 合合Glass AssemblyGlass Assembly曝曝 光光ExposureExposure剥剥 膜膜StripeStripe剥剥 膜膜StripeStripe贴贴 片片PolarizerPolarizer AssemblyAssembly 导电玻璃材料导电玻璃材料 就是在普通玻璃就是在普通玻璃(不导电不导电)的一个胶面层镀上透的一个胶面层镀上透明导电膜的玻璃明导电膜的玻璃.目前常用的导电玻璃是氧化铟目前常用的导
12、电玻璃是氧化铟,氧化锡玻璃氧化锡玻璃,通常简称通常简称ITO玻璃玻璃,在生产过程中在生产过程中,每每片玻璃都必经过万用电表检片玻璃都必经过万用电表检 测测,导电面为导电面为ITO正正面面,不导电面无不导电面无ITO面为背面面为背面.一、一、 ITO玻璃的结构玻璃的结构,如图如图1 玻璃厚度: 0.5mm 0.7mm 1.1mm 玻璃面积: 14 * 16 (或355.6mm * 406.4mm)300*350 SiO2阻挡层: 200 500A (1 A= 1010米) ITO层厚: 250 2000 A SiO2绝缘层厚: 500 1000 A ITO导电玻璃的主要技术 透光率8% 方块电阻
13、R R10、15、30 、80相对R越小越好 若R 10/膜厚1000 2000 A R 100-300/膜厚200-300 A平整度好,一般要求平整度0.5um/20mm机械强度与化学抗蚀性能,ITO层对玻璃(SiO2)表面的粘附力要强,不易脱落,抗划伤强.ITO膜能抗强碱,但易被酸腐蚀.光刻胶性能的主要指针光刻胶性能的主要指针. 感亮度.光刻胶对光敏感的性能. 所以说,对于固定光强的曝光机,光刻胶的感亮度越高,则曝光时间越短,反之,则差. 分辩率. 光刻精度的标志.它不仅与光刻胶本身有关.还与光刻工艺条件和操作技术等因素有关. 抗蚀性 只是在针孔密度小,粘附性能良好的情况下,才能有较强的抗
14、酸.碱能力.粘附力 光刻胶与ITO面之间沾附的牢固程度也直接影响光刻后的精度,光刻胶的沾附力与光胶本身性质有关.而且与玻璃面有密切关系.平整.清洁.干燥.无油质污染的表面有利于光刻胶的粘附.此外.光刻胶的配比,前烘条件,显影液配方因素有关. 稳定性 光刻胶在常温和暗房内(黄色光).光刻胶不发生暗反应. 针 孔 视其光刻胶膜上针孔形成密度尽可能低,它将直接影响光胶质量. 粘度和含固率 光刻胶越浓,粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄,因此.我们常采用改变光胶浓度调节粘度,控制膜厚度.例中:光刻细小图表时,为了提高分辩率,胶层相对薄些故采用浓度较稀的光刻胶. 温度高温度高.固含率低固含率低.粘度变
15、小粘度变小,膜薄膜薄,反之则厚反之则厚. 负性胶在衬底表面将得到与光刻掩盖版遮光图形完全相反的图形(不适用LCD制造业).正性胶这种胶在曝光前对某些溶剂是不可溶的,而曝光后就变成可溶性,能与掩模遮光图形相同的图案.此胶分辨率高,边缘整齐,边缘陡度好,以及反刻时易对准等优点,较易显影,常被LCD制造业采用.正性胶经强紫外线照射后,发生光合反应,经光照后的生成物能溶解于弱碱性水溶液中,而显示出正图形.工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程产生不良后制程产生不良PR涂涂布布PR脏点脏点1.玻璃表面脏物玻璃表面脏物2.涂胶轮本身脏涂胶轮本身脏3.环境太环境太差（粒子浓度偏高）差（粒子浓度偏高）4.PR
16、被污染被污染针孔、开路针孔、开路PR空洞空洞1.玻璃表面有水汽和油污玻璃表面有水汽和油污2.涂胶轮上有脏物和凸点涂胶轮上有脏物和凸点针孔、开路针孔、开路亮线亮线1.涂胶轮浸润不够涂胶轮浸润不够2.玻璃清洗不干凈玻璃清洗不干凈3.水汽未干水汽未干针孔、开路针孔、开路PR不均不均(厚薄厚薄不均不均)1.涂胶轮与匀涂胶轮与匀均胶轮间的间隙不一致均胶轮间的间隙不一致2.玻璃表面局部有水汽玻璃表面局部有水汽、油污）油污）3.胶的粘度大小直接与胶的粘度大小直接与PR膜的厚薄有关膜的厚薄有关开路与短路，对下一开路与短路，对下一工序造成显影、蚀刻工序造成显影、蚀刻工位的不足工位的不足、过度过度胶泡胶泡1.PR
17、中本身有汽泡中本身有汽泡2.搅拌中产生汽泡搅拌中产生汽泡3.涂胶轮上有亮线涂胶轮上有亮线短路、针孔短路、针孔工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程产生不良后制程产生不良显显影影 工工 位位显影不足A喷淋支数少B蚀刻液温度低于工艺要求C浓度低于工艺要求D传送速度太快短路、字体变形显影过度A、喷淋太支数太多B、蚀度温度、浓度高出工艺要求C、传送太慢开路、针孔多余物A、模板本身多余物B、模板上有脏物C、环境太差（粒子浓度偏高）字体变形、多点针孔A模板上本身有针孔、脏物B涂胶线脏点、空洞、连线针孔缺口A模板上本身有缺口、脏物B涂胶脏点空洞、连线字体变形、缺口短路A模板刮花、联机、脏物B曝光机内环境太脏
18、C显影、曝光不足D显影水洗冲洗不干凈刮花A、模板刮花；B、机台运行不正常、刮花开路断线A、模板本身脏物；B、机台刮花、显影、曝光过度开路玻璃寸法A、真空不稳定；B、调试不当直接影响PI、丝印定位不准工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程产生不良后制程产生不良蚀蚀刻刻针孔、缺口、针孔、缺口、断线、短路、断线、短路、多余物多余物同显影同显影同显影同显影蚀刻不足蚀刻不足1、喷淋支数太少、喷淋支数太少2、蚀刻温度、浓度太低、蚀刻温度、浓度太低3、传送速度太快、传送速度太快短路、多余物短路、多余物蚀刻过度蚀刻过度1、喷淋支数太多、喷淋支数太多2、蚀刻温度、浓度太高、蚀刻温度、浓度太高3、传送速度太快、传送速度太快开路开路工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程产生不良后制程产生不良剥膜剥膜残留残留PR1剥膜浓太低剥膜浓太低2传送太快传送太快3坚膜温度过高坚膜温度过高PI脏点脏点脏物脏物1DI水太脏水太脏2滤芯效果太差滤芯效果太差3机台内未定期清洗机台内未定期清洗PI脏点脏点水未干水未干1吹干将置风量太小吹干将置风量太小2烘干温度太低烘干温度太低PI空洞、空洞、PI涂覆不干涂覆不干演讲完毕，谢谢观看！