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1、题目题目:无尘室的原理无尘室的原理内容简介内容简介: : 无尘室的原理无尘室的原理; ; 无尘室方式无尘室方式; ; 无尘室管理无尘室管理. .关键词关键词: :无尘室无尘室( (Clean Room);); 洁净度洁净度( (Class););作成作成: :金昌明金昌明无无 尘尘 室室 什么是无尘室什么是无尘室( (Clean Room):): 用通俗易懂的语言来描述的话用通俗易懂的语言来描述的话, ,无无尘室就是在某个空间的空气中尘埃尘室就是在某个空间的空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下微粒子控制在一定数值以下, ,把压力把压力、温度温度、湿度湿度、气流分布及其形状和气流分布及其形状和速
2、度控制在一定范围内为目的而建速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子造的屋子. .Clean Room简称为简称为CR洁洁 净净 度度 什么是洁净度什么是洁净度(Class)? ? 就是指单位体积就是指单位体积 ( 通常是立方英尺通常是立方英尺) 的空的空气中含有大于气中含有大于、等于等于0.5m直径的尘粒的数直径的尘粒的数量量,也称为无尘度也称为无尘度.1英尺英尺=30.48cm1英尺英尺1英尺英尺1英尺英尺 为为0.5m直径的尘粒直径的尘粒. 尘埃的个数尘埃的个数,就是洁净度就是洁净度.例如例如: 有有80个尘粒个尘粒,那么洁那么洁 净度就是净度就是80.0.001 0.01 0.1 1 1
3、0 100 1000粒径粒径: : m烟尘烟尘大气尘大气尘云云,雾雾大气中大气中存在物存在物常见的常见的粉粉、尘尘空气清空气清洁装置洁装置电子显微镜下电子显微镜下看得见的粒子看得见的粒子光学显微镜下光学显微镜下看得见的粒子看得见的粒子肉眼看得肉眼看得见的粒子见的粒子油烟油烟面粉面粉干奶粉干奶粉头发头发病毒病毒HEPA过滤器过滤器静电式空气清净机静电式空气清净机一般空气过滤网一般空气过滤网微粒子的大小微粒子的大小 什么是尘粒什么是尘粒? ? 尘粒是微小的灰尘尘粒是微小的灰尘、悬浮的东西悬浮的东西. . 尘粒越小尘粒越小, ,其表面积的比例相对增加其表面积的比例相对增加, ,并不遵从并不遵从牛牛顿
4、定律顿定律运动运动, ,按重力垂落按重力垂落. .而是在空气中做不规则而是在空气中做不规则的运动的运动, ,这种运动叫这种运动叫布朗运动布朗运动. . 因是悬浮的东西因是悬浮的东西, ,而且做不规则的运动而且做不规则的运动, ,在洁净化在洁净化技术技术、产品制造中是令人头痛的代表物产品制造中是令人头痛的代表物. . 总之总之, ,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要尘粒会对产品成品率高低影响至关重要. . 如如: :电腐蚀现象电腐蚀现象. .尘尘 埃埃电腐蚀现象电腐蚀现象尘粒尘粒( (与空气中的微量水份结合在一起与空气中的微量水份结合在一起) )这样尘粒付着状态下通电的话这样尘粒付着状态下通电的
5、话,电电流通过尘粒流向邻近的流通过尘粒流向邻近的ITO中中,会会造成浅横线不良造成浅横线不良.这种状态下继续使用这种状态下继续使用渐缓短路现象渐缓短路现象(在通电状况下渐渐地腐蚀在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于以至于最后造成最后造成ITO断线断线电腐蚀现象电腐蚀现象)在通电状况下在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象被电解而造成断线的现象无尘室的原理无尘室的原理 通过空调系统和净化装置把空气进行调湿通过空调系统和净化装置把空气进行调湿、调温和过滤调温和过滤, ,然后把净化的空气通过无尘室然后把净化的空气通过无尘室的高效过滤器送入到无尘室内的高效过滤器送入到无尘室内, ,达到洁净等达到洁净
6、等级的标准级的标准. .q 通常通常: 温度温度: 223 ; ;湿度湿度: :55%5%.包括包括: : 1. 空气调节系统空气调节系统; 2. 空气净化系统空气净化系统.无尘室的类型无尘室的类型 按洁净度和气流的状态的组合可按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式以分为三种方式:1. 紊乱式无尘室紊乱式无尘室;2. 水平平行流式无尘室水平平行流式无尘室;3. 垂直平行流式无尘室垂直平行流式无尘室.1.紊乱式无尘室紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):HEPA过滤器过滤器空气调和器空气调和器进气口进气口排气口排气口HEPA:High Efficiency P
7、articulate Air filter.以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网 通过无尘室屋顶的高效通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风过滤器出口向屋内送风. .通过墙壁的排气口回风通过墙壁的排气口回风. .无尘室的类型无尘室的类型 1. 紊乱式无尘室紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):HEPA过滤器过滤器空气调和器空气调和器多孔板进气口多孔板进气口无尘室的类型无尘室的类型 无尘室的类型无尘室的类型 空气调和器空气调和器照明照明吹出口吹出口2. 水平平行式无尘室水平平行式无尘室( Cross flow type CR):H
8、EPA过滤网过滤网HEPA过过滤网滤网HEPA过滤网过滤网 通过无尘室墙壁的高效通过无尘室墙壁的高效过滤器出口向屋内送风过滤器出口向屋内送风. .通过墙壁的排气口回风通过墙壁的排气口回风. .无尘室的类型无尘室的类型 2. 水平平行式无尘室水平平行式无尘室( Cross flow type CR):HEPA过滤网过滤网点检空间点检空间墙壁吸附口墙壁吸附口空气室空气室无尘室的类型无尘室的类型 3. 垂直平行式无尘室垂直平行式无尘室( Down flow type CR):HEPA过滤网过滤网空气调和器空气调和器 通过无尘室屋顶通过无尘室屋顶的高效过滤器出口的高效过滤器出口向屋内送风向屋内送风.
9、.通过地通过地板的排气口回风板的排气口回风. . 因通过整个屋顶的因通过整个屋顶的高效过滤器向下送高效过滤器向下送风风, ,故该类型无尘室故该类型无尘室的造价高于其他类的造价高于其他类型型. .地板地板(吸附口吸附口)无尘室的类型无尘室的类型 3. 垂直平行式无尘室垂直平行式无尘室( Down flow type CR):HEPA过滤网过滤网空气调和器空气调和器屋顶内空气室屋顶内空气室地板下空气室地板下空气室地板吸附口地板吸附口无尘室的管理原则无尘室的管理原则四大原则四大原则:1. 杜绝把灰尘带入无尘室杜绝把灰尘带入无尘室;2. 减少和防止无尘室中减少和防止无尘室中尘粒尘粒的产生的产生;3.
10、清除无尘室中的灰尘清除无尘室中的灰尘;4. 监测环境参数监测环境参数.原则原则-11. 杜绝把灰尘带入无尘室杜绝把灰尘带入无尘室;进入无尘室中的有进入无尘室中的有: : 空气空气; ; 人员人员; ; 设备设备; ; 材料等材料等. .原则原则-11. 杜绝把灰尘带入无尘室杜绝把灰尘带入无尘室;(一一). 空气空气: :(1).(1).通过过滤网净化空气通过过滤网净化空气: :常用的过滤网常用的过滤网: :玻璃纤维和玻璃石棉等玻璃纤维和玻璃石棉等. . 玻璃纤维玻璃纤维: :能过滤能过滤0.3 m的悬浮尘粒的悬浮尘粒, 甚至达到甚至达到0.04 m 的悬浮尘粒的悬浮尘粒; 过滤效果过滤效果:9
11、9.99% % 玻璃石棉玻璃石棉: :根据石棉的的直径大小决定根据石棉的的直径大小决定; ; 例例: :1 m 的石棉过滤的石棉过滤1 m 的尘粒的尘粒.原则原则-11. 杜绝把灰尘带入无尘室杜绝把灰尘带入无尘室;(一一). 空气空气: :(2).(2).设定室内压力高于室外设定室内压力高于室外. . 为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进入到无尘室中入到无尘室中, ,无尘室内要保持一定的静压无尘室内要保持一定的静压. . 无尘室中的空气压力一般要比室外高无尘室中的空气压力一般要比室外高25 Pa左右左右.原则原则-11. 杜绝把灰尘带入无尘室杜绝
12、把灰尘带入无尘室;(二二). 人员人员: : 进入无尘室的人员必须穿着无尘衣进入无尘室的人员必须穿着无尘衣(包括手套包括手套、帽帽子子、鞋鞋、口罩口罩), 用纯水洗手用纯水洗手, 再通过风淋室进入无再通过风淋室进入无尘室尘室.参考资料参考资料 : 进退入无尘室手顺书进退入无尘室手顺书原则原则-11. 杜绝把灰尘带入无尘室杜绝把灰尘带入无尘室;(三三). 设备及材料设备及材料: : 进入无尘室的设备及材料要经过特殊的清洁方法进入无尘室的设备及材料要经过特殊的清洁方法, 即除尘处理后即除尘处理后,才可以进入无尘室才可以进入无尘室.原则原则-2 进入无尘室必须穿着无尘衣进入无尘室必须穿着无尘衣. 不
13、得使用容易产生灰尘的不得使用容易产生灰尘的材料、材料、设备设备、备品等、备品等. . 使用无尘室用品使用无尘室用品.(.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等无尘纸、无尘本、圆珠笔等) ) 减少没必要的人员的活动、设备的运转减少没必要的人员的活动、设备的运转. . 制定设备的摆放结构设计方案制定设备的摆放结构设计方案. . 没必要的物品禁止带入到无尘室没必要的物品禁止带入到无尘室. . 无尘室中禁止脱无尘衣无尘室中禁止脱无尘衣. . 无尘室内物品数量限制在最少的限度无尘室内物品数量限制在最少的限度. . 物品摆放作出规定物品摆放作出规定, ,减少空气乱流减少空气乱流. .参考资料参考资料: : 无尘室管理
14、规定无尘室管理规定2. 减少和防止无尘室中减少和防止无尘室中尘粒尘粒的产生的产生. 原则原则-3 定期打扫无尘室定期打扫无尘室(每周一次大扫除每周一次大扫除); 设备设备、工作台、工作台每天要打扫每天要打扫; 增加换气增加换气, ,特别是易产生灰尘的场所特别是易产生灰尘的场所. .3. 清除无尘室中的灰尘清除无尘室中的灰尘. 原则原则-4 定期测定无尘度定期测定无尘度(每周一次每周一次); 空调系统定期点检空调系统定期点检;4. 监测环境参数监测环境参数. 无尘室测定数据无尘室测定数据-1F1F无尘室无尘度测定记录表无尘室无尘度测定记录表050010001500200015日日16日日17日日
15、18日日19日日休日休日21日日22日日23日日24日日25日日26日日休日休日28日日29日日30日日日期日期无尘度无尘度FPC压着区压着区光学素子外观区光学素子外观区STN外观区外观区组立区组立区测定日期测定日期: :2004年年6月份月份(15日日-30日日)无尘室测定数据无尘室测定数据-2F2F无尘室无尘度测定记录表无尘室无尘度测定记录表01000200030004000500015日 日16日 日17日 日18日 日19日 日休日休日21日 日22日 日23日 日24日 日25日 日26日 日休日休日28日 日29日 日30日 日日期日期无尘度无尘度中间检查区中间检查区硅胶涂布区硅胶
16、涂布区IC BG区 区外观检查区外观检查区洗净室洗净室测定日期测定日期: :2004年年6月份月份(15日日-30日日)无尘室测定数据无尘室测定数据-3F3F无尘室无尘度测定记录表无尘室无尘度测定记录表0100200300400500600700800900100015日15日16日16日17日17日18日18日19日19日休日休日21日21日22日22日23日23日24日24日25日25日26日26日休日休日28日28日29日29日30日30日日期日期无尘度无尘度点灯检查区点灯检查区外观检查区外观检查区单个分断区单个分断区封孔区封孔区短册区短册区注入室注入室洗净室洗净室配向检查配向检查测定日期测定日期: :2004年年6月份月份(15日日-30日日)总总 结结 液晶显示器的生产离不开无尘室液晶显示器的生产离不开无尘室, ,为了提高产品为了提高产品 质量质量, ,保持和维持无尘室的洁净度是至关重要的保持和维持无尘室的洁净度是至关重要的. . 保持保持和维持和维持清洁的无尘室清洁的无尘室,靠大家的努力来完成靠大家的努力来完成. 遵守无尘室规定遵守无尘室规定.养成良好的习惯养成良好的习惯. 演讲完毕，谢谢观看！