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1、一厂设备科2013年上半年工作总结一、设备各项指标完成情况1、设备故障时间统计2、设备主要故障原因单位：h一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年1572.5404481084.50.0 原因：外延组 ：1.23 MOCVD-I 时间：1H 原因：H2压力低下DOWN机3.31 MOCVD-I 时间：4h 原因：设备漏水5.11 M-k465 时间：15.5h 原因：反应室下端焊接处漏5.12 M-k465 时间：8.5h 原因：反应室下端焊接处漏5.29 MOCVD- N 时间：2h 原因：RT电脑异常，对其重新启动6.22 烤炉D 时间：5h 原因：由于湿度过大导致跳电宕机制备 ：3.4
2、-5 PECVD03 时间：36h 原因：加热控制器出错3.6-11 PECVD03 时间：132h 原因：加热控制器出错 3.14-16 高温清洗机 时间：22 原因：上下轴移动告警3.21 高温清洗剂 时间：16h 原因：石英提篮摔碎4.9 ITO-03 时间：17.5h 原因：e-gun熄火4.10 QX-03 时间：13h 原因：2#槽石英槽破裂4.17 PG-04,05,06 时间：14h 原因：线条粗，粘版4.18 PG-06 时间：12h 原因：线条粗细不均匀4.19 PG-06 时间：24h 原因：线条粗细不均匀4.20 PG-06 时间：9h 原因：线条粗细不均匀5.6 PG
3、-05 时间：12h 原因：stage异常，改造5.7 PG-05 时间：12h 原因：stage异常，改造5.27 PG-06 时间：7h 原因：曝光台不平 芯片 ：3.25-4.24 CS20CS30 时间：974h 原因：真空异常，探痕异常，分选排列异常，分选马达异常等4.26 CS30时间：3h 原因：分选前置PPT变形，卡夹感应器异常 4.30 CS26 时间：3h 原因：wafer置放失败5.1 YM03 时间：3h 原因：设备电源无法启动 5.2 HP05，HP07 时间：7h原因：厂家保养 5.5 HP05时间：3.5h 原因：划片切深不够5.6 HP05，HP06时间：7.5
4、h 原因：划片切深不够5.8 LP-04 时间：4h 原因：无法开机 5.14 HP-06 时间：10h 原因：CCD Z轴光栅尺污染5.21 YM-04 时间：6.5h 原因：研磨偏 6.6 CS24 时间：8.5h 原因：软件异常,触摸屏异常6.9 CS28 时间：5h 原因：电极异常；YM-04 时间：3h 6.15 HP-07 时间：12h 原因：平台晃动 对设备故障时间总结：a) 设备故障时间统计办法从4月份进行更改， innobiz故障时间纳入统计。5月份由于重新定义故障时间的核算方法，innobiz的设备调整调试时间均不纳入故障考核，使得芯片部门设备故障时间大大减少。b) 上半年
5、制备设备故障主要体现在PECVD-03上，加热器控制错误故障时间长达168H,该设备的加热控制是厂家专利设计，无法再短时间内购买到合适的备件，对于其加热测温的热电偶也得现场测量，其密封口径也必须与设备相配合。曝光机综合故障时间为113小时，主要体现在自动曝光机上，此类曝光机精度较高，维修难度较大，且都为厂家一代产品，尚有许多不稳定因素，改造性维修时间较长。c) 芯片后段4月份起innobiz故障时间纳入统计，由于该设备调整调试频繁，综合故障时间达到974h，占4月份故障总时间的90%，后规范故障考核标准，故障时间大大减少。划片机由于厂家过于保守，内部主要部件维修均采用上锁和保密方式，不让我科室
6、人员自行修复。特别是激光源调整和平台更换设置与厂家和我司维修费用付款及时性问题，造成很多等待等无效故障时间。d) 本季度设备故障总时间为1572.5h（未剔除备件等待时间），由于故障设备非瓶颈性及备品备件准备充分，对生产影响较小。现一厂制定设备故障时间指标为每月不超过270h且剔除备件等待时间（1000h），则上半年设备科总体故障时间达标。2、备品备件及外修费用单位：万元一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年 386.19 122.78 138.09 92.84 31.79对设备备品备件和外修维修费用总结：1、 设备科备品备件和外修维修费用单片指标为33.1元，综合产量约合上半年备品备件和
7、外修维修费用指标为354万元而实际为386.19万元。2、 1月份由于生产需要，备品备件集中领用，备品备件和外修费用共计112.91万元，占上半年总费用的约30%3、设备完好率单位一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源实际 99.66%99.96%99.73%99.43100%结论：完成比目标98.50%高：1.16%结论：完成指标- 比目标高1.16%备注：芯片后段4月份由于innobiz故障纳入统计，导致芯片完好率大大降低，同时也影响了整个上半年的完好率。总体来说，设备科各组上半年增强预检预修和维修及时性，有效保证了设备完好率完成指标。开展的主要工作1安全方面a) 每日班前会安全教育，确保了
8、人员安全零事故。b) 编制、完善了特气泄漏安全应急措施预案。c) 编制纯化间保温房使用规定。2设备方面主要管理工作a) 开展设备人员推进表制度，每个设备科成员都有自己独立的推进计划和进度。进行每周进行汇总和点评，提高对每个设备人员的监督和工作效果评价。b) 加强了日常设备的巡视、点检，发现问题及时处理，做好预检，预修工作，将故障消除在萌芽状态，做好设备的定期检查、定期润滑和保养工作。c) 加强备件、工具的管理工作。要求各班组对备件、工具的申报、领用、使用做到账目清楚。每一个备件的使用周期做好统计工作，按频度更换。确保不多报，不少报，合理使用。3技改技措外延：l 解决TS19片机过滤器异常问题，
9、取代了原过滤；l 完成了P机台45片机升级为54片机工作；l 增加MO源利用率的工作，目前试用中。l Veeco K465加热灯丝国产化工作。目前试用中。制备：l 研发自制手动匀胶机一台。l 研发制作高温清洗机测温较稳系统。l 研发制作高温清洗机手臂移动预警系统。l 化学站清洗机安装制程制动及时系统，取代了秒表计时。l 所有清洗机实现移门改造。l PG平台系统改造。l ODR冷泵增加加热装置。l 聚昌ITO镀锅转动轴改造。l 配合研发PSS曝光机的制作。l 喷砂机排风过滤系统设计。l 清河曝光机曝光台改造。l ICP尾气处理器加装散热装置。l 制作PG平台调试仪。芯片：l 完成了闲置压片机改造
10、成4寸撑片机的课题。l 完成了报废顶针模组的改造。l 完成了研磨偏心夹具的改造，使其使用更方便。l 完成了研磨机主轴国产化代改。4 备件整备工作外延：l 修复冷水机水泵一台，节约12000余元。l 修复MOCVD M机台反应室，节约外修费用。l 修复K465手动球阀两个，节约5000余元。l 19片机冷阱控制器检修修复2台，节约30000余元。制备：l 修复超声清洗机2台，节约了2000元备件成本。l 修复干式小型正空泵5台，预计可节约2500元备件成本。l 清河曝光机曝光台改造，可以节约备件成本6000元/个。l 19片机冷阱控制器的检修，维修11台，成功9台，修复率81.8%，剩余的需单独
11、再购买诸如热电偶等备件。l 化学站干湿两用吸尘器维修一台，节约备件成本8000元。l 自主简易清洗维修分子泵两台，节约备件成本15000元。芯片：l 修复BQ50-1J蠕动泵3台，节约1794元。l 修复单相机床冷却水泵2台，节约420余元。l 修复研磨机主轴2台，节约5000元。工作中存在的不足a) 对作业人员操作设备培训工作做的不到位，导致异常操作带来了一些不必要的故障时间。b) 由于点检不严密和方法手段经验不足，高温清洗机加热线路短路着火。c) 设备维修过程中，技术员安全意识比较淡薄，需要加强。d) 设备维修中专业知识尚有不足，需要公司安排培训。e) 设备人员工作中对产品品质意识比较淡薄
12、，必须改进。f) 对一些设备组成的重要系统备件把握不好，比如，射频电源，加热系统等。g) 设备管理工作还不够细致，考核明细性及上班的实质性还不够明确。h) 有待稳定人心减少人员的流动性，确保技术的稳定性。i) 电气知识比较缺乏，对设备电路的维修造成了障碍。j) 各个设备技术人员业务水平参差不齐，动手能力有望提高。下半年工作计划1、大力推进设备维修及保养工作的细化工作，努力使各项工作有“法”可依。2、减少设备的停机时间，一厂设备完好率达到99.5%，完成公司考核指标。3、强化设备成员的品质意识，努力为产线提供稳定的生产工艺环境。4、实施新的设备管理制度将细化设备管理制度，所有设备考核到人，明确责任目标，激发工作积极性。5、继续加强安全培训，增强设备技术人员安全意识。6、继续做好设备备品备件的代改技改工作、进一步加强管控，加强自修，降低生产成本。