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1、真空技术标准1.1.基础标准基础标准GB/T3163-2007GB/T3164-2007GB/T4982-2003GB/T4983-2003GB/T6070 一 2007GB/T6071-2003GB/T77742007GB/T111641999GB/T16709-1996GB/T18193-2000GB/T19955.12005GB/T19955.22005GB/T19956.12005GB/T19956.22005GB/T212712007GB/T212722OO7JB/T10901991JB/T10911991JB/T10921991JB/T29651992JB/T40811991JB/
2、T40821991JB/T54101991JB/T59711992JB/T64462004JB/T65332005JB/T68732OO5JB/T69212004JB/T69222004JB/T72652004JB/T74622005真空技术术语真空技术 图形符号真空技术 快卸连接器 尺寸 第 1 部分：夹紧型真空技术 快卸连接器 尺寸 第 2 部分：拧紧型真空技术 法兰尺寸超高真空法兰真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量真空镀膜设备通用技术条件真空技术 管路配件 装配尺寸真空技术 质谱检漏仪校准蒸汽流真空泵性能测量方法 第 1 部分：体积流率(抽速)的测量蒸汽流真空泵性能测量方法 第 2 部分
3、：临界前级压力的测量容积真空泵性能测量方法 第 1 部分：体积流率(抽速)的测量容积真空泵性能测量方法 第 2 部分：极限压力的测量真空技术 真空泵噪声测量蒸汽流真空泵性能测量方法 泵液返流率和加热时间的测量J 型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JO 型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸O 型真空用橡胶密封圈型式及尺寸溅射离子泵 性能测试方法溅射离子泵 型式与基本参数溅射离子泵 技术条件低真空电磁压差充气阀 型式与基本参数单级多旋片式真空泵真空阀门旋片真空泵热偶真空计罗茨真空泵机组真空蒸发镀膜设备蒸汽流真空泵热阴极电离真空规管2.2.产品标准产品标准JB/T6446-2004JB/T6921-200
4、4JB/T6922-2004JB/T7265-2004JB/T6533-2005JB/T7674-2005真空阀门罗茨真空泵机组真空蒸发镀膜设备蒸汽流真空泵旋片真空泵罗茨真空泵容积真空泵性能测量方法第 1 部分：体积流率（抽GB/T19956.1-2005/ISO1607-1:1993速）的测量容积真空泵性能测量方法第 2 部分：极限压力的测GB/T19956.2-2005/ISO1607-1:1989量蒸汽流真空泵性能测量方法第 1 部分：体积流率GB/T19955.1-2005/ISO1608-1:1993（抽速）的测量蒸汽流真空泵性能测量方法第 2 部分：临界前级压GB/T19955.2
5、-2005/ISO1608-2:1989力的测量GB/T4982-2003GB/T4983-2003GB/T6071-2003JB/T6873-2005JB/T7462-2005JB/T7463-2005JB/T7675-2005JB/T10462-2004JB/T10463-2004JB/T10550-2006JB/T10551-2006JB/T10552-2006JB/T10553-2006JB/T10770-2007JB/T10771-2007JB/T1246-2007JB/T6923-2007JB/T1246-2007真空技术 快卸连接器 尺寸 第 1 部分：夹紧型真空技术 快卸连接器
6、 尺寸 第 2 部分：拧紧型超高真空法兰热偶真空计热阴极电离真空规管热阴极电离真空计往复真空泵水喷射真空泵真空磁流体动密封件真空技术 真空烧结炉真空技术 真空感应熔炼炉真空技术 爪型干式真空泵真空技术 扩散硅压阻真空计真空技术 液环真空泵验收规范真空技术 复合分子泵真空技术 滑阀真空泵真空技术 真空-加压浸渍设备涡轮分子泵3.3.分等标准分等标准JB/T53017-1999JB/T53014-1999JB/T53015-1999JB/T53016-1999JB/T53018-1999JB/T53019-1999JB/T53020-1999JB/T53021-1999JB/T53022-1999JB/T53023-1999旋片真空泵 产品质量分等单级多旋片真空泵 产品质量分等低真空电磁压差充气阀 产品质量分等往复真空泵 产品质量分等罗茨真空泵 产品质量分等油扩散真空泵 产品质量分等油扩散喷射真空泵 产品质量分等真空镀膜设备 产品质量分等滑阀真空泵 产品质量分等真空阀门 产品质量分等