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1、 SEMI E20-0697 C SEMI 1991，2002 半导体国际标准半导体国际标准 设 备 规 程 集群工具接口：电源和急停标准 SEMI E20-0697 C SEMI 1991，2002 SEMI E20-0697（1102 重新批准）集群工具模块接口：电源和紧急关断标准 本标准在技术上由全球物理接口和运营商委员会批准，是由北美物理接口和运营商委员会直接负责。当前版由北美物理接口和运营委员会于 2002 年 7 月 21 日批准。最初发表于www.semi.org2002年10月，2002年11月被公布.原始发表于1991;此前公布于1997年6月。1 目的 1.1 本标准的目的
2、是指定集群工具模块的紧急关闭功能，允许模块在不切断其余部分电源的情况下，以安全的方式紧急关闭断开和重新连接，以及防止电源被应用到一个不带有紧急停止功能的模块。2 适用范围 2.1 集群工具模块的电能的输送和紧急中断的处理准则。2.2 本标准并非旨在解决安全问题，如果有的话，仅是相关联的使用。本标准用户的责任是建立相应安全健康措施，并在使用前，事先确定适用性或监管限制。3 影响 3.1 本标准的要求是只有当其紧急关闭功能是正常时，才允许电源传递到一个单独的模块，这并不排除通过非紧急手段从模块切断电源。3.2 本标准规定在集群工具紧急关闭接口处，包括插头、瞬间旁路开关和旁路跳线插头，必须要提供紧急
3、关闭电路功能。插脚引线的紧急关闭插头和旁路跳线插头都应指定。4 引用标准 4.1 SEMI 标准 SEMI E21-集群工具模块接口：物理接口和晶圆传输标准 4.2 军用标准 MIL-C-26500E-一般规格连接器-通用目的，电器，小型，圆形，环境阻抗。5 术语 5.1 定义 5.1.1 菊花链 一种连接方式，以便一个部件的移除引发另一个部件的电路中断。5.1.2 紧急关闭（EMO）-故障安全控制开关或电路，当取消通电时，将停止相关设备的操作，并将切断所有主电源机箱外的潜在危险。SEMI E20-0697 C SEMI 1991，2002 5.1.3 EMO 接口-在一个过程或盒式模块 EM
4、O 电缆的位置连接到群集工具电路。6 要求 6.1 配电 6.1.1 电源-每个集群工具（如 SEMI E21 定义）应带有由 EMO 启用的一个或更多个接触器提供的电源。电源要被传递到一个或更多配电箱，其中电压在分配到模块之前可能已变压（如SEMI E21 中定义）。6.1.2 模块配电-通过在配电柜中的专用电路断路器给每个模块配电。每个电路中的额定电流和电压由工具的配置决定。在如何使用此标准可以被实现的讨论中给出了相关信息R1-2）。6.2 EMO 电路 6.2.1 说明-连接到群集工具的每个模块都带有至少一个 EMO 按钮操作的 EMO 开关（见相关信息 R1-3）。这些开关是菊花链式连
5、接到一个电路或电路组，即断开主电源和任何备份 电源。来激励这个电路的 24 VAC 电源是从内部的主电源箱提供，从而使 EMO 电路独立于模块电源。每个模块 EMO 被连接到链上的 EMO 接口。一个瞬间旁路开关，也位于每个模块EMO 接口，在不引起 EMO 跳闸时允许模块从集群工具分离。通过关闭专用断路器电力从模块内移除（见相关信息 R1-4）。如果专用电路断路器被接通，在旁路跳线插头串联连接 EMO电路的触点是打开的。6.2.2 在 EMO 电路中使用接线铜导线应为 0.82 平方毫米截面（18 AWG）或更大。6.2.3 标记-如下图例标签须贴于电源分配箱各模块电路短路器附近。注意：给装
6、有相关EMO 旁路跳线插头的电路上电将中断整个集群工具的电源。6.3 连接 EMO 接口 6.3.1 EMO 连接器-EMO 接口连接器仅用于预留 EMO 功能。每个 MIL-C-26500E 标准规定金属壳卡口式连接器如下：MS24265R16B10SN 用于面板上，MS24266R16B10PN 用于电缆及 EMO 旁路跳线插头。EMO接口的插座采用面板式安装，插头配在模块 EMO 电缆上。6.3.2 模块 EMO 连接器引脚-EMO 电缆插头引脚 1 和 2 的两端连接模块 EMO 的开关触点。在插座中，引脚 1 和 2 连接到 EMO 电路，引脚 3 和 4 跨接第 6.2.1 节规定
7、的接点。6.3.3 EMO 旁路跳线插头-引脚 1 短接引脚 4 和引脚 2 短接插头针脚 3。当插件安装时，在6.2.1 节中指定的触点将引入 EMO 电路中。注意：用户需要注意的是，符合本标准可能需要使用受专利权保护的发明。通过出版本标准，半导体设备和材料协会（SEMI）不持任何立场，尊重任何专利权的有效性与任何声明附带 项目中提到的这个标准。特别是，本说明书中的用户应意识到 Drytek 公司。通用信号的规格。Jonspin 路 16 号，Wilmington.MA 01887-1087.Phone：（508）657-3933，既没有宣称也不否认，遵守本规范将需要使用受它的一个或多个专利
8、的发明。SEMI E20-0697 C SEMI 1991，2002 本标准的使用者已被明确告知该决定任何此类专利权利，这些权利的侵权风险，完全是他们自己的责任。注意：对于本标准所阐述的任何特定的应用的适用性，SEMI 不作任何保证或陈述，决定标准的适用性完全是用户的责任。用户应注意参阅制造商的说明，产品标签，产品数据表和其他相关文献，尊重本文中提到的任何材料或设备。这些标准如有变更，恕不另行通知。本标准出版时，半导体设备和材料国际（SEMI）不持任何立场，尊重任何专利权或版权的有效性声明与本标准中提到的任何相关项目。本标准的使用者被明确告知，确定任何这样的专利权或版权，侵犯这些权利的风险完全
9、是他们自己的责任。相关信息 1 注意：包含在这些应用笔记中的材料不是 SEMI E20 的正式组成部分，也不意味着修改或以任何方式取代它。相反，这些笔记主要是作为一个辅助标准应用的信息源。因此，它们将被仅仅作为参考材料。标准应作为所有情况下的参考。R1-1 交流配电 R1-1.1 提供电力和 EMO 功能的集群工具的一个方法示于图 R1-1（见第 6.1.2 节）。备用电源（SPS）或不间断电源电源（UPS）用来维护 EMO，并在主电源故障时选定集群工具功能。如果在图 R1-1 第一级处，需要断开独立模块，那么在主电源箱内，可能需要包括附加的断路器。使用模块断路器可断开图 R1-1 第 2 级
10、;SEMI E7，“电气接口规范”应用于负载达到10 千瓦。可以提供额外的主电源机箱以供大交流负载模块使用，前提是每个主接触器由一个共同的 EMO 电路操作，然而，一些用户的安全码可能要求单一电源。R1-2 操作远程设备 R1-2.1 激活 EMO 设备将停止，通过故障安全意味着在工具中，传递潜在危险的能量（如高电压，激光）或有害物质（如有毒工艺气体，冷却液）到集群工具（参见第 6.1.3 节）。R1-3 EMO 开关布置 R1-3.1 每个模块上的 EMO 开关（参见第 6.2.1 节）需要布置在集群工具附近的任何人可接触到它们的位置。就地安全代码可能会优先于 EMO 开关布置的情况。该标准
11、可确保每个模块在它的操作中至少有一个 EMO 开关，当模块是附加的，就应从整个集群工具中移除电源。R1-4 EMO 旁路 R1-4.1 实现-功能。在 4.2.1 节规定，允许旁路 EMO 并确保模块电源已关闭时，EMO 从群集工具除去 EMO 电路，可以如图 R1-2.A 继电器或开关来实现。在操作在 6.1.2 节指定专用断路器平行模块。当断路器处于断电，提供 24 VAC 至双极继电器的线圈。在与线圈并联一个指示灯亮起时，旁路启用且电源模块关闭。该继电器的一组触点是用来启用瞬时 EMO 旁 SEMI E20-0697 C SEMI 1991，2002 路开关。另一组是短接在 EMO 接口
12、上的 EMO 插座的引脚 3 和 4，并在当 EMO 旁路跳线插头安装时的 EMO 电路，。两组触点被连接到开路，当继电器线圈不得电时，即，当断路器关闭时。R1-4.2 模块断开 断开模块前必须先关闭专用断路器（参见第 6.2.1 节）。在此情况下，使串联的 EMO 旁路开关触点得以闭合，使其具有可操作性。此刻，该模块上的 EMO 开关仍处于群集工具 EMO 电路中。要断开连接，操作员需要从 EMO 接口卸下模块 EMO 插头的同时，将 EMO 旁路开关连接到 EMO 旁路跳线插头。此时，瞬时旁路开关被释放。R1-4.3 模块连接-要连接模块，必须确保给此模块供电的专用断路器（参见第 6.2.
13、1 节）处于关闭状态。此时电源线可连接到该模块。操作员应从 EMO 接口断开 EMO 旁路跳线插头的同时将瞬时旁路开关链接到模块 EMO 插头。此时瞬时旁路开关被释放。除非 EMO 已连接，否则不可以给模块供电（如在图 R1-2 中所示）。R1-5 附加文件和参考资料 执行此标准时，可参考其它标准，包括：R1-5.1 SEMI 文件 SEMI S2-半导体制造设备安全指南 R1-5.2 其他文件 国际电工委员会（IEC）标准 204，第 1,2 和 3。（美国）美国国家电气规范（NEC）。SEMI E20-0697 C SEMI 1991，2002 SEMI E20-0697 C SEMI 1
14、991，2002 图 R1-2 示例：EMO 连接/断开 电路图（模块电源处于“关闭”，如图）注意：本标注用户应注意到，使用并符合本标准的要求，可能会使用到受专利权保护的发明。SEMI（国际半导体设备与材料协会）不因出版本标准而对其中任何项目的相关专利权或著作权的有效性负有任何责任。特别是，本标准的用户应该知道，Drytek公司，通用信号单位，Jonspin路16号，威尔明顿，MA01887-1087，电话：（508）657-3933，我们不作任何保证或陈述，遵守本规范将需要使用它的受一个或多个专利权保护的发明。本标准的用户被明确告知，本标准的使用者应对任何专利权或著作权的确认及相关侵权风险担负完全责任。注意：SEMI 对于本文件之标准是否适合特定用途不作任何保证或陈述。本 文件之标准是否适用应由使用者自行决定。对于本文件提及的任何材料或设 备，使用者应注意遵守制造商的说明、产品标示、产品资料表及其他相关资讯。SEMI 保留随时修改标准的权利，恕不另行通知。SEMI（国际半导体设备与材料协会）不因出版本标准而对其中任何项目之 相关专利权或著作权的有效性负有任何责任。本标准之使用者应对任何专利 权或著作权之确认及相关侵权风险担负完全责任。