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1、电容式薄膜真空计的工作原理 Prepared on 22 November 2020电容式薄膜真空计的工作原理图电容式薄膜真空计的工作原理图根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。图 20图 20 示出了零位法电容式薄膜真空计的结构原理图。它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放大器、相敏检波器和指示仪表等组
2、成。电容式薄膜规管的中间装着一张金属弹性膜片，在膜片的一侧装有一个固定电极，当膜片两侧的压差为零时，固定电极与膜片形成一个静态电容 C0，它与电容 C1串联后作为测量电桥的一条桥臂，电容 C2、C3和 C4与 C5的串联电容组成其它三条桥臂。金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统(pbPb时，由于规管中的压力差 p1-pb，膜片发生应变引起电容 C0改变，破坏了测量电桥电路的平衡，指示仪表上亦有相应的指示。调节直流补偿电源电压对电容 C0充电，使其静电力与压差相等，此时，电桥电路重新达到平衡，指示仪表又重新指零。根据补偿电压的大小，就能得出被测压力
3、p1，故有p1-pb=KU2(12)式中 p1被测压力pb参考压力U补偿电压K规管常数，其值 K=Co/d0,Co 和 d0分别为固定电极与膜片在平衡状态下的静态电容和间距。当 p1p0时，测量结果就是绝对压力，即p1=KU2(13)电容式薄膜真空计测量范围为 10-1101Pa，其规管常数 K 可通过校准得到。近年来，电容式薄膜真空计取得了重大进展，新型的双电容式薄膜真空计的问世，提高了该类真空计的精度，扩展了测量范围，使其测量下限可达 lO-3Pa。单侧双电容薄膜真空计具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数完全不受气体成分影响、反应速度快等特点。如将其规管参考室内加置消气剂并抽至lO-5Pa，就可测量lO-3pa 的绝对压力。