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1、传感器系统综合实验一MPX扩散硅压阻式传感器一、实验目的了解MPX扩散硅压阻式传感器的工作原理及测量过程。 二 实验原理MPX压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X型的等 值电阻组成的电路，它用激光修正，温度补偿，所以线性好，灵敏度高，重复性 好，其工作原理及实验接线如下图所示。图1差劲放大器图2本实验中所用的压阻式传感器为差压式，无外加压力时电路平衡无输出，受 压时则输出与压力大小成正比的电压信号。三 实验所需部件：MPX压力传感器，综合实验台、应变式传感器实验模块、气压源、胶管。 四、实验步骤：1 .连接主机与实验模块的电源线，然后按图2连接线路，胶管一端连接气 源输出口，
2、另一端与传感器输入口连接（传感器另一接口感受大气压力）。差动 放大器增益调到最大。2 .软件参数量程选“10V”档位，电压表量程选“2V”档位.开启主机电源，调节电桥平衡电位器旋钮，使电桥输出为零。, 4,开启气源开关，逐步加大气压，观察随气压上升，输出电压的变化情况。5 .待到气压Pg稳定在某一压力值后，关闭气源，按一定间隔逐渐减小气压, 输出电压也会发生变化，记录Rkp)值与Vmv值并填入下表，同时还可用采集卡采 集数据，用计算机绘制曲线。6 .在坐标纸上作出VmP(kp曲线，并与计算机所绘制的曲线作比较。验证传 感器的线性度。说明：气压源因功率限制输出W20kp,亦可用随机附带的加压气囊代替气源，使传感器工作范围扩大到所需压力。