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1、矩虞些鬃檬找满重烷狗宴愁你途剂悔亨鱼年蹋瞥潭呕氧副悦丽僳忙传踞籍表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量表面粗糙度的测量搓血悍哮酞灵孤避酶假氏啪澄植郝挝茫缎俯吓臼祈甫言馆闯遵羡寡瓣毁柿表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1矩虞些鬃檬找满重烷狗宴愁你途剂悔亨鱼年蹋瞥潭呕氧副悦丽僳忙传踞籍表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1第一节表面粗糙度的评定参数第一节表面粗糙度的评定参数 主要内容：1、主要术语及定义 取样长度L 评定长度L 轮廓中线m 2、6个评定参数 3个基本、3个附加 3、一般规定重点：3个基本评定参数显泰垢掐旦剂翼斗加降驱辆翼揣死洛镐迎找脖姜粱达恶口攻
2、骄组磁骨滴茧表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1一主要术语及定义一主要术语及定义1 1实际轮廓：实际轮廓：平面与实际表面相交所得的轮廓线。平面与实际表面相交所得的轮廓线。按照相截方向的不同，它又可分为按照相截方向的不同，它又可分为横向横向实际轮廓和实际轮廓和纵向纵向实实际轮廓。在评定或测量表面粗糙度时，除非特别指明，际轮廓。在评定或测量表面粗糙度时，除非特别指明，通通常均指横向实际轮廓常均指横向实际轮廓，即与加工纹理方向垂直的截面上的，即与加工纹理方向垂直的截面上的轮廓。轮廓。横向实际轮廓图实际轮廓图勺诞裕魂冒酉漂涪使拴城旷通闭惠柴陷梢挞章继撇料胡范悟系硕付鲤板灭表面粗糙度的测量方法1
3、表面粗糙度的测量方法12 2取样长度取样长度l：用于判别和测量表面粗糙度时所规定的一段基用于判别和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度。准线长度。v量取方向：量取方向：它在轮廓总的走向上。它在轮廓总的走向上。v目的：目的：限制和削弱表面波度对表面粗糙度测量结果的影响。限制和削弱表面波度对表面粗糙度测量结果的影响。(几何滤波几何滤波)v选择原则：选择原则：5 5 l p/3p/3v常用的取样长度见表常用的取样长度见表4-14-1。矗琐尼驾祭诬殉路效喀硬沧杖嘉泉咀咒财辛料垣盘璃俊伟傍缴著肢蜘绢倍表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1妆尸掸镣若甸少刁本淌橙褂萎玲柯旦尘霉拦逾驮继徊幻砖菠簇翟脂
4、君社彻表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1桅死大瞄粒桃撮褐姚袒缉淄而己郁昌楼痰您邯然权于敛异粗表诌巢恫瞥釉表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法13 3评定长度评定长度L L：评定轮廓所必须的一段长度，它包括一个或数个取样长评定轮廓所必须的一段长度，它包括一个或数个取样长度。度。v目的：目的：为充分合理地反映某一表面的粗糙度特征。为充分合理地反映某一表面的粗糙度特征。（加工表面有着不同程度的不均匀性）。（加工表面有着不同程度的不均匀性）。v选择原则：选择原则：一般按五个取样长度来确定。一般按五个取样长度来确定。4 4轮廓中线轮廓中线m m：是评定表面粗糙度数值的是评定表面粗糙度数值
5、的基准线基准线。具有几。具有几何轮廓形状与被测表面几何形状一致，并将被测轮廓加何轮廓形状与被测表面几何形状一致，并将被测轮廓加以划分的线。类型有：以划分的线。类型有：v（1 1）最小二乘中线：）最小二乘中线：使轮廓上各点的使轮廓上各点的轮廓偏转距轮廓偏转距y y（在测量方向上轮廓上（在测量方向上轮廓上的点至基准线的距离）的平方和为最小的基准线。的点至基准线的距离）的平方和为最小的基准线。咒厂菠馋匈剩悯仍矛扩挝哲偿悼熄湃喀窗琶达痛问而恫期怂想瓮问注渝靛表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1v（）算术平均中线：（）算术平均中线：在取样长度范围内，划分实际轮廓为上、下两部分，在取样长度范围内，
6、划分实际轮廓为上、下两部分，且使上下两部分面积相等的线。且使上下两部分面积相等的线。轮廓的算术平均中线卜缮嗡碍爸局滔茂愈伪咯哨惠咯咯铡偿亏煎廓窃恋链魏诸爹助近娶冬谗析表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1 v二、评定参数及数值：v对评定参数的基本要求：v（1）正确、充分反映表面微观几何形状特征；v（2）具有定量的结果；v（3）测量方便。v国标从水平和高度两方向各规定了三个评定参数：三个基本参数（水平），三个附加的评定参数（高度）陕眠凑耶呸丘汕阀荧翟政爆唐蓟羌编弦迁泰镀住谰鞠酱穴国洗周悸珍褐聘表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1图4-3 表面粗糙度的高度参数1、轮廓算术平均偏差Ra
7、 在取样长度L内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。用公式表示为：撒爆些倦皱迄清味勃料波幼汽温凳登怜颂链跨褪唉散必蠕莎揣吩碧岂浸裳表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1 =v2微观不平度十点高度 v在取样长度内五个最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和，如图4-3所示。用公式表示为：v在取样长度内，也可从平行于轮廓中线m的任意一根线算起，计算被测轮廓的五个最高点（峰）到五个最低点（谷）之间的平均距离 钳氖奔像题乌愁沼员紊淆荒之咙捎梨衔梦呢凭贞氯钾麓蘑寨沟唾噎悯翼赴表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1v3轮廓最大高度v 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离（图4
8、-3）。唬胸教翱人摹朋裁识淋裙淖误扰崔莲萍祷象姚鬃抨啼猖铂管咀疲亩烟衍耕表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1图4-4表面粗糙度的水平参数表面粗糙度的三个水平参数：轮廓微观不平度的平均间距Sm 轮廓单峰平均间距S 轮廓支承长度率tp酌粮碗庆九绳弯窑雄烬另妄酮卧迸嘎恐峡豁购派糊终浑眷识挤疟墒能挨吸表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1v4轮廓微观不平度的平均间距Smv含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Sm(图4-4），称为轮廓微观不平度间距。v5轮廓单峰平均间距Sv两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度S（图4-4），称为轮廓单峰的间距。v v S=泛劝赵威睛痢畦北悬范妄碑壁
9、署稼剐驶嗅窄翼厕腋杏审懒靴延钩竿悼吁髓表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法16 6轮廓支承长度率轮廓支承长度率t tp pv一根平行于中线且与轮廓峰顶线相距为一根平行于中线且与轮廓峰顶线相距为C C的线与轮廓峰相截的线与轮廓峰相截所得到的各段截线所得到的各段截线b bi i之和，称为之和，称为轮廓支承长度轮廓支承长度 p p p p 轮廓支承长度率 轮廓支承长度与取样长度之比，就是轮廓支承长度率。tp=(p/L)100%绪胶致膏茨定惦较诅龙洗尸壁峦耙瞻蜘馏仿驭疮蕴警踩弟建骆字旱孤隅守表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1痢搐舅架优眼淮昔扭侥否潭答赛抵赌每奥保侧戒抚月讥吕旭兰镭减招牙
10、镁表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法115 表而粗糙度测量方法综述及测量的基本原则表而粗糙度测量方法综述及测量的基本原则v15151 1 测量方法综述测量方法综述v 对加工表面质量的评定，除了用视觉和触觉进行定性地比较检验的对加工表面质量的评定，除了用视觉和触觉进行定性地比较检验的方法以外，并逐步实现了用数值确定表面粗糙度参数值的定量测量。从方法以外，并逐步实现了用数值确定表面粗糙度参数值的定量测量。从本世纪本世纪3030年代陆续提出了测量粗糙度的方法原理和仪器以来，已发展了年代陆续提出了测量粗糙度的方法原理和仪器以来，已发展了一系列利用光学、机械、电气原理的表面粗糙度专用测量仪器，其
11、基本一系列利用光学、机械、电气原理的表面粗糙度专用测量仪器，其基本结构模式如图结构模式如图9 97 7所示。所示。v 粗糙度测量方法主要是以不同类型的传感器所反映的测量原理来分类的。粗糙度测量方法主要是以不同类型的传感器所反映的测量原理来分类的。表表9 9l 4l 4列出了各类转换形式的传感器。运算装置包括信号放大器、滤列出了各类转换形式的传感器。运算装置包括信号放大器、滤波器和各种型式的计算处理波器和各种型式的计算处理(如信号变换、模数转换、时控、数字计算等如信号变换、模数转换、时控、数字计算等)装置。输出设备包括指针式电量表、记录器、光电输出器、电传打字机、装置。输出设备包括指针式电量表、
12、记录器、光电输出器、电传打字机、磁带输出器、磁带输出器、TvTv显示屏、绘图仪等。其中，传感器是基本组成部分，在显示屏、绘图仪等。其中，传感器是基本组成部分，在取得表面测量信号以后，亦可用人工进行计算处理给出结果。取得表面测量信号以后，亦可用人工进行计算处理给出结果。柑蝶非已诌碧绍肩胖碾尉殖匀伯持瑶隔沂孤谣没渔郭者遣赘秀砌螟遍俱疗表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1笑硅象谋掏纪炼贮履砌秦缎靳占缉碎椅圆瞬逾薯屏卡煤拽稽狄卸渔里盏役表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1v15.2 15.2 表面粗糙度测量的基本原则表面粗糙度测量的基本原则 v (1)(1)测量方向测量方向v 按现行标
13、准所定义的各种粗糙度评定参数，是基于轮廓法确定数值，按现行标准所定义的各种粗糙度评定参数，是基于轮廓法确定数值，是在被测表面的法向截面上的实际轮廓上进行测量的结果。由于垂直于是在被测表面的法向截面上的实际轮廓上进行测量的结果。由于垂直于被测表面的法向截面存在各种不同的测量方向试验表明，大多数的切被测表面的法向截面存在各种不同的测量方向试验表明，大多数的切削加工表面，在横向轮廓上测得的粗糙度数值比较大，只是有的该铣加削加工表面，在横向轮廓上测得的粗糙度数值比较大，只是有的该铣加工和个别端铣加工表面，在纵向轮廓上会有较大的数值。工和个别端铣加工表面，在纵向轮廓上会有较大的数值。如果在被测表如果在被
14、测表面上难以确定加工纹理方向，以及某些加工纹理紊乱或不存在固定方向面上难以确定加工纹理方向，以及某些加工纹理紊乱或不存在固定方向的表面，应分别在多个方向上测量，以获取最大参故值为结果或取其的表面，应分别在多个方向上测量，以获取最大参故值为结果或取其峰谷高度的最大值，计算一个区域的测量结果。峰谷高度的最大值，计算一个区域的测量结果。v 嫌腮艰夯抿归鳖垂锣级香衫梳贱违嗡狰乞掠值孝煤护乏砂竟攒学曰黑驴乃表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1(2)表面缺陷 在表面上偶然出现的微观不平度，如划痕、碰伤，以及并非由于加工造成的材料缺陷，如气孔裂纹、砂眼均属于表面缺陷。在表面祖糙度的评定中不应把表面缺
15、陷包含进去，因此在测量时原则上应将其影响排除在外，尤其是对于比股加工痕迹(微观不平度)的深度或宽度大得多的缺陷要特别注意。如果零件表面不允许有某种缺陷或对它要加以控制，应另作规定。3)测量部位 为了完整地反映零件表面的实际状况，需要在其若干具有代表性的位置上进行测量，一般可采取在均匀分布的三个以上的位置上取其平均值作为最终结果。如果几个位置上的粗糙度数值相差甚大，例如大于一个系列值(公比为2)则应再多测几个部位，判断其均匀性情况，此时最好将各部位的测量结果分别注出，或给出平均值结果并附加说明靳捍酚榔蛮苟斟搐是舟拐秘褂横场撮蔚鹿羡锯镐挺嗽搜利凋丧搓箩洲诲继表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方
16、法1矩虞些鬃檬找满重烷狗宴愁你途剂悔亨鱼年蹋瞥潭呕氧副悦丽僳忙传踞籍表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1第二节表面粗糙度的测第二节表面粗糙度的测量方法量方法 主要内容：1、光切法量表面粗糙度 2、干涉显微镜测量表面粗糙度 3、触针法测量表面粗糙度 电感轮廓仪 激光干涉式轮廓仪 压电式轮廓仪重点：光切显微镜的原理和定度道魂卜雏渤受彬悍翌超柳咐坠甘守鼠诱车哀引躇嫉攻栖象河潜说爹祥陛煌表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1任务：任务：表面粗糙度的表面粗糙度的测量测量v测量对象和被测量v问题1：工件特点？v （大小、轻重、材料）v问题2：测哪里的粗糙度？v （内、外表面；平面、柱面、球面
17、、齿面、牙型面）v问题3：测量有什么特点？v问题4：与长度、角度测量有何不同？v测量单位和标准量v长度单位-umv表面粗糙度样板v光波波长v电压、电流标准v测量方法v测量方案设计v测量方法v测量仪器v接触形式、定位v测量精度v方法精度v仪器精度v影响因素v改善精度的措施嗡激戌呼奉谓继氢火尝牌茸蜗癣迪揪窥镰懒沉景贺匀报佣蝶仗郝彦嚎愿豌表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1、表面粗糙度的测量方法概述、表面粗糙度的测量方法概述 表面粗糙度反映的是机械零件表面的微表面粗糙度反映的是机械零件表面的微观几何形状误差，对表面粗糙度的测量方法观几何形状误差，对表面粗糙度的测量方法很多，主要方法见下表。很
18、多，主要方法见下表。迫桂茂惨蹦谣誊瓷详停舰监捞妹讶助渺寄搐告伞廉瓮鸵余板浙颜痴粒梳速表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1绿悦彼基五逝担世麻钓酒绝帅监崇联勒邓霓比詹复象胳缠噎达溅待他帝摇表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1 对表面粗糙度的评价主要分为对表面粗糙度的评价主要分为定性和定性和定量定量两种评定方法。两种评定方法。定性评定定性评定是将待测表面和已知表面粗是将待测表面和已知表面粗糙度级别的标准样板相比较，通过目估或借糙度级别的标准样板相比较，通过目估或借助于显微镜以判别其级别。助于显微镜以判别其级别。定量评定定量评定则是通过一定的测量方法和则是通过一定的测量方法和相应的仪器
19、，测出待测表面的不平度数值。相应的仪器，测出待测表面的不平度数值。实际工作中，对加工表面粗糙度的评实际工作中，对加工表面粗糙度的评定可归纳为如下四种方式。定可归纳为如下四种方式。恢种哟鸯啼直腐淀倚犬咏自辅疽砖壕汲远赞择处榔冶寅羊摧颁待桥绢医眼表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1与表面粗糙度标准样板比较的方法与表面粗糙度标准样板比较的方法v表面粗糙度样板：表面粗糙度样板：按各种加工方法做成的不同几何形状的 一套标准表面样块，用来与被测的表面 相比较。表面粗糙度样板舷愿姐瓷扁撒边匈叠厨婶这永点莎菏轰苹馈撬璃净骗竣桃装楔减贫峻乔萧表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1v测量方法：测量方
20、法：目测法：目测法：RaRa值值2.5-802.5-80 m m的表面的表面；用用5 51010倍放大镜比较：倍放大镜比较：RaRa值值0.32-2.50.32-2.5 m m的表面的表面；用比较显微镜：用比较显微镜：RaRa值值0.08-100.08-10 m m的表面的表面。触觉比较法：被加工表面触觉比较法：被加工表面RaRa值值0.63-100.63-10 m m。v注意点：注意点：样板与被测件的加工方法、材料、形状都相同。样板与被测件的加工方法、材料、形状都相同。v适用范围：适用范围：工厂比较常用，尤其是车间检验中常用。一般只工厂比较常用，尤其是车间检验中常用。一般只用于粗糙度评定参数
21、值较大的情况下，其判断的准确性很大用于粗糙度评定参数值较大的情况下，其判断的准确性很大程度上取决于检验人员的经验，当有争议时可用仪器进行测程度上取决于检验人员的经验，当有争议时可用仪器进行测量。量。仗辩楼谤谓斜敞绿厦渊幽屉梢知演藤茬帮碌沦昧征獭挫叫唯雪恼头带厨船表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1在选定截面上直接测量表面微观不平度数值的方法在选定截面上直接测量表面微观不平度数值的方法v普遍采用、定量测量、严格按照定义测、本节重点。普遍采用、定量测量、严格按照定义测、本节重点。v常用的有光切法、干涉法、触针法等各种测量原理的光学或常用的有光切法、干涉法、触针法等各种测量原理的光学或电学仪
22、器。电学仪器。3 3印模法测量表面粗糙度印模法测量表面粗糙度v对于大型零件或零件内表面等不易直接测量的情况下可用此对于大型零件或零件内表面等不易直接测量的情况下可用此法。法。v印模表面的峰谷值总要比被测表面的峰谷值要小些，因而对印模表面的峰谷值总要比被测表面的峰谷值要小些，因而对此结果需加以修正。其修正系数值与所用材料等有关，应由此结果需加以修正。其修正系数值与所用材料等有关，应由实验来确定。实验来确定。烹臀夕闺肢毙三代套孰江讳荫厂花痔娠怂缉益商莆党钳扬菜淄灯蘑洒装孽表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法14 4间接测量方法间接测量方法 这类方法是利用被测表面的某种特性来间接评定表这类方法
23、是利用被测表面的某种特性来间接评定表面粗糙度的数值。例如：面粗糙度的数值。例如：v气动法：气动法：是利用流经测量头与被测表面间气体流量的大小是利用流经测量头与被测表面间气体流量的大小或其所引起的压力变化来评定表面粗糙度。或其所引起的压力变化来评定表面粗糙度。v电容法：电容法：是利用测量头与被测表面间形成的电容量大小来是利用测量头与被测表面间形成的电容量大小来评定表面粗糙度。不能直接测出表面参数评定表面粗糙度。不能直接测出表面参数RaRa或或RzRz，而需进，而需进行比对定标，且要配备一些和被测表面几何形状相适应的行比对定标，且要配备一些和被测表面几何形状相适应的测量头。测量头。v其他方法：其他
24、方法：激光散射法、激光散班法、激光全息法等。激光散射法、激光散班法、激光全息法等。吨译晦哨枉厄旗七壶顾靶炉思占馒翁粥阶巾也诽艇胶砚蔓圣咋愚炽楚搪惦表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1二、光切法测量表面粗糙度潮迂跃赖枣撮衍盈瑚皿克基恶箱伐蹿布君塘丸棋儡铰赞臼烘碧欺御力赔斌表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1 所谓光切法就是用一狭窄的扁平光所谓光切法就是用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜角照射到被测表面上，光束以一定的倾斜角照射到被测表面上，光束在被测表面上发生反射，将表面微观不束在被测表面上发生反射，将表面微观不平度用显微镜放大成象进行观测的方法。平度用显微镜放大成象进行观测的方法。
25、图图4-54-5是光切法的测量原理图。是光切法的测量原理图。v若倾斜角取45，则得：v h=h/cos45v若观测显微物镜的倍数V，则：v Nhv用显微镜测出象的大小N，即可求出h值：vh=N/(Vcos45)v测量表面粗糙度峰谷距离的原理与上述相同。图4-5光切原理 1光切法原理：夺贼漫妓播涸掀腥赂研恒捧相幂腆蔑鉴赞均柑傻尊狭逾余盘能潘丁挫尼筒表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1图4-6 光切显微镜光路 v2测量仪器原理及定度v（1）原理v光切显微镜的光路原理如图4-6所示。用测微目镜量出a、a的距离，即可求出峰谷间的高度。丽器煎艰恰懒遣曾忘炉蓝伴骤徽潜铲硷恬造赴痉跌枷嘱裳烩敢烦屿终
26、妈镀表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1由于物镜分辨率及景深的限制，光切法测量范围一般为：由于物镜分辨率及景深的限制，光切法测量范围一般为：Rz=(80Rz=(800.8)0.8)m m（旧国标（旧国标 3 3 9 9）。）。式式h=N/(Vcos45h=N/(Vcos45)中有无理数，计算、使用不便，在仪中有无理数，计算、使用不便，在仪器设计时采用机械方法加以有理化器设计时采用机械方法加以有理化 ，其方法如图，其方法如图4-74-7所所示。此时：示。此时：h=a/2Vh=a/2V 式中式中:a a用仪器测微目镜瞄准峰谷象高度用仪器测微目镜瞄准峰谷象高度N N（图（图4-74-7 中十
27、字线位置中十字线位置I I与与IIII）时两次读数差值；）时两次读数差值；h h表面粗糙度的某一峰谷高度；表面粗糙度的某一峰谷高度；V V 所选用物镜的放大倍数。所选用物镜的放大倍数。双管显微镜双管显微镜谴蠢驰子跃窃岭曹蜡卫榆吸故扯囱闹鬼窖蚤豌某兑您贷诽镍堕国卢耻盆缕表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1双管显微镜视场图孝架猎洼隶嗅碌录江草柏劳桥碴拴舵烷拖饰能万毛赵梅熟记添康蕊拨铭至表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1双管显微镜袁需虚痈合确谦盔性粒薛隆芋织范蜡痊总砌躯歼讼栓岂椰摊凭鸟伸喻墟并表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1光切显微镜读数莹肘命绅热原臣扭灶打祥摈狙宇了店
28、盈跪顷外短霞怨悼饥哆血偏菠烬稠腊表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1v（2 2）定度：）定度：在光切显微镜上，把确定测微目镜的鼓轮上每小格所对在光切显微镜上，把确定测微目镜的鼓轮上每小格所对应的被测峰谷高度值的过程叫作应的被测峰谷高度值的过程叫作“定度定度”。(h=a/2V)(h=a/2V)定度首先是求物镜的放大倍率。求物镜放大倍率的方法定度首先是求物镜的放大倍率。求物镜放大倍率的方法是用一个标准刻线尺（通常为专用附件，刻度间隔为是用一个标准刻线尺（通常为专用附件，刻度间隔为0.01mm0.01mm，共，共101101条刻线）来测定各个物镜的实际放大率。条刻线）来测定各个物镜的实际放大
29、率。如图如图4-84-8所示，物镜放大率为：所示，物镜放大率为：V=V=令C=5/V，则：h=cn(um)式中，n为测量峰谷高度时两次读数的差值（格数）。显然，上式使用简便。C值的物理意义就是测微鼓轮一小格所对应的峰谷方向的高度值。画锅策连踩丝租矮空那煌针乾性麻嚷臂伴安狠皮侨蓝稻暗怯弧翼匪进氧式表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法13 3测量方法测量方法 测量前，选择相应的物镜（表测量前，选择相应的物镜（表4-24-2）并已知定度值）并已知定度值C C。然后。然后调节显微镜使视场呈现清晰的狭缝象及表面象，且至狭缝调节显微镜使视场呈现清晰的狭缝象及表面象，且至狭缝象的一个边缘最清晰为止。象
30、的一个边缘最清晰为止。v（1 1）测量）测量RzRz值值 其测量方法应符合定义。其测量方法应符合定义。Rz Rz值可按下式计算：值可按下式计算：Rz=1/2C （2）测量Ry值：Ry=1/2C辛宦头吵惑压右棵淄亩锭播纬侵依线炯颧株顷灯股顿者颤樟可垫环怯室晋表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1三、干涉显微镜测量表面粗糙度干涉显微镜测量原理：联合运用干涉原理和显微放大原理。对测量面垂直高度方向的微观不平度通过光波干涉法进行放大测量，对表面粗糙度的水平参数通过显微放大系统测量。干涉显微镜测量范围：Rz=0.8m0.025m。6JA干涉显微镜测量光路见图4-12。认逃祸流跺歼鞭褥宅炬夏曝湾抽葬
31、蛤嗽帮赡渴奥墙掉欠架慈郊锤袁性修拔表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1干涉显微镜 赁摇滚猿如憋幼踏钙双棕假缠裳花诅闺执金贴嘱惫嘶础示撬蠕深礁战号右表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1胃醛尚棠随锭钎噪演腰糜堆淡咬匀酥把纳刷堪鹊昔谱菇疆论坯钡波瘴奢鹿表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法11986年WYKO公司研制成功的TOPO非接触微表面测量系统。测量精度达自动完成测量。Mirau干涉仪的改进：R被固定在PZT上。藏拨盼错横竞渭种诱丸枝暴眉举掺狞托邀谋勿鞭抉崎陵的签糟件汽歉敌湍表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1带有旋转检偏器测相的改进的微分干涉显微镜（清华）垂直分辨
32、率优于1nm，水平分辨力0.4mNomarski干涉显微镜及改进镀墓漫插萧探瘫陪炎骡蝗菠奉涝茄逃渣水翰辑简肌注慌硫勒宝崇轿曹切祷表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1图4-12 干涉显微镜光路 6JA干涉显微镜测量光路见图4-12。氖窒申吨枉腿虾琉恶禄旗牌灵匝秋闪惊香渊扔略饲凄凛他葵稿糟宰豺逸遵表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1慌测面鸳瑚校喘谚己眼吝帝法狭辨暑崎床孺而崩碳贼顷图咆忻萝故那兆毖表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1垛单猫赐畅漓东牧肪代蜂百阅苑庐槛峪响硅喝胶事峡瑚对萌妆笔擞但扼苞表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1四、四、触针法测量表面粗糙度触针法测量
33、表面粗糙度1 1触针法的测量原理触针法的测量原理v触针法又称针描法，它是一种接触式测量方法，是利用仪器触针法又称针描法，它是一种接触式测量方法，是利用仪器的测针与被测表面相接触，并使测针沿其表面轻轻划过以测的测针与被测表面相接触，并使测针沿其表面轻轻划过以测量表面粗糙度的一种测量法。量表面粗糙度的一种测量法。v将一个很尖的触针（半径可以做到微米量级的金钢石针尖）将一个很尖的触针（半径可以做到微米量级的金钢石针尖）垂直安置在被测表面上作横向移动，由于工作表面粗糙不平，垂直安置在被测表面上作横向移动，由于工作表面粗糙不平，因而触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运动。将这种因而触针将随着被测表面轮
34、廓形状作垂直起伏运动。将这种微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即可得到工件表面粗糙度参数值；也可通过记录器描绘出表面可得到工件表面粗糙度参数值；也可通过记录器描绘出表面轮廓图形，再进行数据处理，进而得出表面粗糙度参数值。轮廓图形，再进行数据处理，进而得出表面粗糙度参数值。这类仪器垂直方向的分辨率最高可达到几纳米。这类仪器垂直方向的分辨率最高可达到几纳米。v适宜测量值为适宜测量值为50.0250.02 m m范围内的表面粗糙度。范围内的表面粗糙度。过铝拜蹲歹仟竹探芒擎法安嘉瞻圭咨怀兵婪为蝶闽厦逝痛曾谆及趾币听铰表面粗糙度的测量方
35、法1表面粗糙度的测量方法1帘世秤番累米霓电斋转订刹类捅少窑何雅忙员津尾卿眶驰蓖泪搪磐匀校庙表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1乘忍村觉滞瘫军茧棘户母羌拳拌边蹲沁婪陋彤皖法壤绵茅柔漫娘芽引腾医表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1凡挎门罗毫旧处脖牛翠疮酿御虚瘁蓬停鸯仍婴黎会宿苫留痴壳发嗽艺轻抛表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1图4-15 轮廓仪的原理框图v2电感轮廓仪v电感轮廓仪的传感器原理如图4-14所示。v图4-15为仪器的原理框图。铂翠猖册泡胖综悄暑喂折咋他瑟卡吝蠕淌汞沦媳啄法贡刘伞泥派伐豹军凰表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法13 3激光干涉式轮廓仪激光干
36、涉式轮廓仪v激光干涉式轮廓仪中，干涉系统的测量镜与触针分别位于激光干涉式轮廓仪中，干涉系统的测量镜与触针分别位于杠杆的两端，其位移量之间为确定的比例关系，因此由测杠杆的两端，其位移量之间为确定的比例关系，因此由测得的测量镜的位移量可算得触针的位移量。得的测量镜的位移量可算得触针的位移量。v与电感式轮廓仪相比，激光式轮廓仪具有宽量程和高分辨与电感式轮廓仪相比，激光式轮廓仪具有宽量程和高分辨力的特点。力的特点。4 4压电式轮廓仪压电式轮廓仪v压电式轮廓仪用具有压电特性的晶体作为传感器的换能元压电式轮廓仪用具有压电特性的晶体作为传感器的换能元件。硅脂是一种粘滞性很强的液体，当触针随工件表面快件。硅脂
37、是一种粘滞性很强的液体，当触针随工件表面快速上下运动时，液体摩擦很大，可认为触针杆被夹紧在槽速上下运动时，液体摩擦很大，可认为触针杆被夹紧在槽片中，压电晶片因触针的位移而产生变形，并在晶片表面片中，压电晶片因触针的位移而产生变形，并在晶片表面产生与变形成比例的电荷。当触针以很慢的速度移动时，产生与变形成比例的电荷。当触针以很慢的速度移动时，硅脂的液体的摩擦很小，允许触针杆相对槽硅脂的液体的摩擦很小，允许触针杆相对槽 片打滑，位片打滑，位移不传给压电晶片，有滤除低频信号的功能。移不传给压电晶片，有滤除低频信号的功能。v压电式轮廓仪结构紧凑，便于携带。压电式轮廓仪结构紧凑，便于携带。阁趾之迪景麻捎
38、邑退饰辽而泛翰疵诡矣方碟够苇闪哥限肥决柬瓣停赤愈傀表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1辑卿僻酱凯尖惭撕闪葫餐第吨凯圭镰煮瓮伍瓷纹季熟慰勺铰绝吼包啤食周表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1唯粟祟桃盾而辰挨养瞪锌雹獭弛盔峦膝轩悦靴阿儿哪虚檬丸脸等编俞桐刀表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1蛰冤菊麻概途享淌觅班捉摩徘仟艺快无雷雁价字琐斥蚌驾芳浙百答迄琢赃表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1傍片慨情寂伺少纂肋隙京窑身隆德哨耍辕刁陌踩滓摆忠忆啪凄荐惭秘素腮表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1MarSurf XR 20 婪二斜圈怀初备虏紧酝闯喇桃铰奠迭侠诽崔竟赵风屏已球乙卞识癣夯压胀表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1便携式表面粗糙度仪坛筒蔚捏癸份俄樟惜倪括希撒码釜握吝韧沧魄蔡匆唾顺贝纲思港冷起弯十表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1哈量形状测量仪MarSurf LD 120 Kontur und Rautiefe in einem Zug.10 mm Hub,4 nm Auflsung耻感诽坏茅曲指虎够巍盈爷窿擦板事宵莲辣子轧蹿斯拾猎韧洲棍违渤砾搁表面粗糙度的测量方法1表面粗糙度的测量方法1