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1、特殊气体管管路暨高洁洁净度管路路施 工 规规 范目 录1. 无尘室作业业安全规范范2. pipinng innstalllatiion 管管路架设3. 弯管作业规规范4. 熔接规范5. 测试规范6. 工安规范7. 监工人员工工地监工准准则作业标准程程序 1.无尘室室作业安全全规范1-1.一一般清洁区区工作条件件(厂务机房房)1) .进入工作作区前，鞋鞋子必须清清理干净。2) .最好每天天擦拭有类类似金属碎碎屑等东西西的地方。3) .有规则的的存放材料料。4) .禁止于工工作区内吸吸烟、吃东东西、喝饮饮料。5) .所有工作作区必须有有垃圾筒，收收集废料等等东西。6) .材料人员员进出必须须清洁一
2、次次。7) .所有人员员及设备每每周必须清清洁一次。8) .产生污染染的工作必必须个隔离离。(喷漆、磨磨砂轮机等等)1-2.非非常干净区区工作条件件(洁净室地地下回风区区)1) .必须换穿穿专用的鞋鞋子或鞋套套。2) .使用真空空吸尘器清清除脏东西西。3) .有规则的的存放材料料。4) .禁止于工工作区内吸吸烟、吃东东西、喝饮饮料。5) .所有使用用过的材料料、残余剩剩料等必须须每日清除除。6) .所有工作作区内必须须有密封式式垃圾筒，收收集废料等等东西。7) .材料人员员进出必须须管制。8) .所有人员员及设备每每周必须清清洁一次。9) .产生污染染的工作必必须隔离(如喷漆、磨磨砂轮机等等)
3、。10) .进出工作作区内的全全部材料必必须清理干干净，才可可进入。11) .所有工作作区必须换换穿干净工工作服。12) .工作区的的管线设备备禁止勾攀攀、践踏、吊吊挂东西。1-3.绝绝对干净区区工作条件件(洁净室生生产区)1) .必须换穿穿无尘专用用的鞋子或或鞋套。2) .使用中央央系统真空空或特别过过滤装置的的手提真空空吸尘器清清除作业时时产生的金金属等粉屑屑。3) .有规则的的存放使用用材料。4) .禁止于工工作区内吸吸烟、吃东东西、喝饮饮料。5) .所有使用用过的材料料、残余剩剩料等必须须每日清除除。6) .所工作区区内须有密密封式垃圾圾筒，收集集废料东西西。7) .材料人员员进出必须
4、须管制。8) .所有工作作人员及业业主人员每每日必须清清洁干净。9) .产生污染染的工作必必须于进入入无尘室前前完成。10) .进入工作作区内的全全部材料和和工具必须须用水清洗洗干净，才才可进入。11) .除入无尘尘室应换穿穿无尘依及及尼龙手套套外，余均均应穿着干干净之工作作服。12) .禁止木质质或瓦愣纸纸材料所做做的纸箱进进入无尘室室。13) .禁止触碰碰任何液体体和你不知知道的任何何器物。14) .含有油品品的工具禁禁止携入。1-4.清清净室施工工安全规则则1) .指定专人人办理安全全事宜。2) .勿雇用童童工。3) .工作区域域内禁止抽抽烟。4) .必须准备备安全眼镜镜。5) .在清洁
5、室室须戴安全全帽，特别别是有震动动时。6) .任何时间间内，均不不得堵塞通通道及出入入口。7) .在工作区区域工作，必必须保持干干净；如有有产生垃圾圾，必须随随时准备垃垃圾袋，于每日收工工时携出清清净室。8) .如有意外外发生，须须立刻告知知监工。9) .特殊危险险工作区，须须有安全围围篱及警告告标志。10) .地板开口口处，须有有安全围篱篱及警告标标志，以防防止人员掉掉入。11) .须备有灭灭火器以防防火灾。12) .灭火器仅仅可使用泡泡沫灭火器器，不可使使用干粉灭灭火器。13) .工作架在在超出地面面2M以上时时，须使用用鹰架，人人员须系安安全带(索)。14) .鹰架、楼楼梯及工具具，须保
6、持持良好状况况。15) .在超出地地面2M以上时时，工具须须放置工具具袋(箱)内。16) .同时有两两组人员在在不同高度度工作时，须须有良好之之连系。17) .工作区域域内须有良良好照明设设备。18) .所有使用用之电缆及及电线，须须有良好绝绝缘。19) .电缆及电电线须连结结良好，不不可以电线线直接插入入插座。20) .保险丝须须确时使用用，不可以以钢丝替代代。21) .电缆及电电线须正确确使用，不不可过载。22) .如已送电电之电力供供应盘，须须标示警告告标志高高压危险。23) .所有圆柱柱型物品须须直立，并并以链条或或绳索固定定。24) .切勿于地地板面滚动动圆柱型物物品。25) .如须
7、移动动圆柱型物物品，须使使用特殊格格架举。26) .易燃物品品如无人照照料，不可可置放于工工作区域内内。27) .化学物品品如有泄漏漏，必须马马上处理。28) .易燃物品品须放置于于有盖容器器内。29) .任何阀、开开关插座、电电源插座，不不可随意开开、关、拔拔除(机台管线线)。30) .任何配管管配线、材材料，非经经过监工人人员同意，不不可擅自任任意更改。2.Piping installation管路架设在无尘室或或简易洁净净室执行高高洁净度配配管工作时时，必须遵遵循下列的的规定。2-1.现现场工作规规定l 携入材料必须置置于特定的的贮藏间，在在工地现场场或在材料料间要提供供暂时性的的简易洁
8、净净室，所有有材料要存存放整齐。在在存放材料料时，有电电子抛光的的管件必须须和未经电电子抛光的的管件分开开。在尚未未使用管件件之前都不不要将塑料料封套打开开直到现埸埸要使用时时方可打开开，并且不不要将材料料直接放在在地上。l 切管切管时，使使用的自动动切割机或或手动切管管器必须是是专门为半半导体厂工工作所设计计的。切管管器的刀片片与管件成成垂直方向向，当使用用自动切割割机时，放放刀片的深深度要能使使管壁尚有有薄薄的一一层未切断断，藉以防防止切割时时的碎屑进进入管内。l 倒角原则上，在在使用倒角角机(TUUBE SSIZE用用)或锉刀(PPIPE SIZEE用)时，小心心地移开切切割面。如如果切
9、割面面歪斜未成成垂直，焊焊口松驰或或管子弯曲曲等状况发发生时，这这种管路是是不合规定定，必须重重新切割及及配置。当当倒角时，在在管的另一一端必须用用高洁净度度的氮气冲冲吹(氮气要经经0.022um的过过滤器过滤滤)。l N2冲吹将管内的微微粒冲吹出出来。l 工作后的清清洁检视切割机机的洁净度度，保持机机具不受油油污，如果果仍然看得得见有油污污或切割的的碎屑残余余，按照下下列的方法法清洁之。用GN2冲冲吹使用的N22必须经-880或更低的的露点，经经0.022um的过过滤器干燥燥。l 预制工作(在简易洁洁净室cllean bootth)在现场的焊焊接工作降降至最低量量是必需的的。配管区区必须在有
10、有洁净气的的地方，在在工作时维维持风扇正正常运转，于于早、中、晚晚用O2查看器器检查O22的浓度。u 点焊点焊使用TTIG焊接接，点焊的的点数按照照下列规定定。(CAJOON的焊机机必需保证证管子确实实牢固，从从完成的观观点来看，最最好不要使使用手动的的TIG焊接接，因此点点焊被省略略)。3/4” 到15A到80A：34点。u 冲吹气体(Backk seaal gaas)使用氩气，露露点-800或更低，氧氧含量在00.1pppm以下，微微粒(0.1um以以上)含量为零零。u 冲吹用管套套连接冲吹气气体管路与与架设管路路，使用(Backk seaal jiig)如图(一)所示 Baack sse
11、a jjig (BBack seall gass) 图(一) (参考考用)u 架设程序(图二)将工作管路路两端套上上管套，连连接冲吹气气体及阀氩气冲吹(预先冲吹吹1分钟以上上) 点 焊 氩气冲吹 焊接(自动动焊接) 氩气冲吹风风(收尾冲吹吹1分钟以上上) GAr GAr 图(二)u 装封(在CCleann boooth内进进行)完成焊接之之后，在管管内充满AAr气，而而且用无尘尘的塑料纸纸在末端包包裹两层。如如果末端的的阀已经连连接好了，把把阀也用塑塑料纸裹起起来。2-2.现现场施工l 预制管件连连结连结在Cllean bootth 装装封好的管管件l 现场焊接现埸焊接的的人员必须须有受过高高
12、洁净度配配管技术检检定通过。焊接工作 (i) (ii) GArr GArr (iiii) GArr GGAr (iv) GGAr GGAr(i) 原封至现埸埸。(ii) 先拆卸一端端封套，并并连接Baack sseal gas。(iii) 拆卸要焊接接端封套，并并冲吹干净净。(iv) 连接后将一一端之Baack sseal gas拆拆掉使成出出气端，并并开始 焊接。 u 管路维持条条件即使焊接结结束，也要要维持小量量的N2或Ar在管内内冲吹以防防止空气流流入管内。无无论如何也也要想办法法把管内的的空气及微微粒弄出来来，如果无无法继续冲冲吹。l 焊机电源 供给电电源的电压压的变动，对对于管路焊焊
13、接的质量量影响甚巨巨。使用自自动焊接机机的电源必必需使用特特定的整流流器。容许许的电压波波动AC 100VV10%，AC 2200V10%，在在焊接进行行时电压警警报器一直直监视着电电压，如果果电压超过过可容许的的范围时，警警报器就会会发出声音音。2-3.其其他注意事事项下述的工作作是在架设设高洁净度度的管路时时必需要执执行的。l 控制氩气冲冲吹u 用压力计或或液位计察察看尚余有有多少氩气气。u 看流量计的的刻度检查查冲吹气体体的容量。u 使用采样品品阀从钢瓶瓶或气体来来源收集氩氩气，测量量氩气纯度度确定露点点是在-880以下，残残余氧气低低于0.11ppm，微微粒含量为为0 (00.1umm
14、以上的微微粒)。u 在工作处测测量架设管管路末端的的氩气纯度度，确定露露点在-770以下残余余氧气低于于2ppmm，测量地地点必须在在监工及焊焊接都同意意的地方。u 前4项规定定的工作前前在每天开开始工作由由监工或工工作人员执执行以控制制质量符合合要求。u 若气体容量量未达标准准，通知监监工，暂停停工作，但但是冲吹必必须持续进进行，或使使用预留的的LN2，当当要使用预预留LN22时，必定定要做分析析供给气体体纯度的工工作。l 简易洁净室室(Cleean bboothh)的洁净净度的控制制u 在Cleaan boooth内内测量焊接接处的微粒粒数量(00.1umm以上)不能超过过100个/c.f
15、f，classs 100000是是用作贮藏藏用，cllass 10000是组装用用。u 在正常使用用中测量微微粒的工作作一天至少少进行1次。l 洁净衣物的的管制u 在Cleaan boooth内内使用的洁洁净衣、洁洁净鞋、洁洁净手套及及其他设备备必需在使使用前检查查其洁净度度。u 使用的洁净净衣物等，必必需一个星星期清洗一一次，不论论有否弄脏脏。l 洁净室依据洁净室室人员管制制规定的管管制细则，所所有的工作作人员皆需需致力于工工作在一个个高洁净空空气环境中中。l 焊接状况的的检查(由个人或或监工)当自动焊接接机的工作作条件改变变时，必须须确定焊接接数据与工工作条件一一致。l 钨棒的保养养及管制
16、u 要时时注意意钨棒是否否变形。u 磨钨棒的工工作必须是是由监工认认可之专业业人员使用用特定的设设备来执行行。l 样品制作及及焊接条件件的检查(焊接者或或监工)u 每日早上在在上工前要要制作数个个同样大小小的样品。u 监工切开样样品，检查查管内部焊焊接情况，用用目视确定定焊接的地地方没有不不规则的孔孔、裂缝、气气孔或没有有完全焊透透等缺点存存在。u 若有焊接缺缺陷发现时时，检查焊焊接条件、更更换钨棒、检检查冲吹气气体纯度、质质量及冲吹吹的方法，直直到结果令令人满意，方方可进行配配管工作。u 样品及焊接接数据必须须同时保存存。2-4.要要求l 机器携入及及架设u 从侧边带入入机器要在在事先申请请
17、同意路线线，并且使使用的拖车车放在特定定的地方。u 在水泥地板板上使用铁铁锚类之固固定机器。u 经纵、横的的方向确定定无误后，固固定机器。u 机器必须在在地板的防防尘油漆涂涂上之前装装上。l 管路标记u 至少每5MM要有标签签贴在管路路上，标明明气体名称流向l 开/关显示示除了球阀外外，所有的的阀都要有有开/关的标示示。 3.弯管作作业规范3-1.说说明本项说明GGas SSysteem作成时时，如何使使用手工具具PIPEE BENNDER来来进行弯曲曲作业。主要对象SUS 3316 BBA管，外外径1/44” (66.35)使用工具具R1 NNO.3994 LEEVER型型TUBEE BEN
18、NDER 。3-2.配配管图看法法与管长之之决定配管图尺寸寸是表示配配管中心之之尺寸或中中心配管末末端之长之之谓。 “a” “aa” 通常在配管管分岐点实实施熔接很很多，兹以以下图表示示之。至中心点之之长度约 +3 mmm (11/4” OD)(则3.155 mm -33mm)约约 +5 mm (3/8” OD)使用TUBBE BEENDERR 来加加以弯曲之之中心点大大约弯曲115R与直直角弯曲比比较，配管管全长变短短，亦即图图面上所配配尺寸相加加长度比实实际配管长长度长。 1880度弯曲曲(R弯曲),每一弯弯曲，其SSET BBACK为为14.66 mm 其计算算如下： 500 90 30
19、 1120管长=(550+300+90+120)-14.6-6.4=2669 mmm 11/4” OD又3/8”时时R弯曲Sett Bacck为23.66 mm 依上图原理理可得(50+330+900+1200)-233.6-110.5=255.9 mmm 3/88” ODD075度度范围角度度弯苗，其其Set Backk为0例如: 75度其管长=(50+553.944+40)-6.44=1377.5其长度差即即所谓Seet Baack ，在在1/4” OD配管管，每一弯弯曲可短小小6.4 mm (6.355mm)下下面有1/4” 、3/8” 各种埸合合之Sett Bacck之表。弯曲次数Se
20、t BBack1/4”3/8”1/8”16.4 mmm10.5mmm6.0mmm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.048例: 必要管长长=(500+70+80)-12.77=1877.33 mm 2次弯弯曲Sett Bacck 因此准准备1877.3 mmm长度配配管就可进进入作业。3-3.配配管切割配管切割使使用Tubbe Cuutterr (Piipe CCutteer)工具具RIDGGID NNO.1005，配管管开始切割割时，必须须前后旋转转34次半半周，使配配管轴部方方向
21、不致造造成直角，沟沟才开始进进行。配管管之切断处处，事先用用红笔做记记号。切割深度一一次切割过过深会使切切口未能成成立真圆，慢慢慢进行，而而把手旋转转角度保持持约30度就可可。切割完毕，管管内面产生生突屑会致致使内径缩缩小，须用用铣面Cuutterr清除。最后用铣面面Cuttter将突突屑、粉屑屑清除。3-4.配配管弯曲作作业应注意意之原则配管开始弯弯曲作业应应注意原则则l 比较图面上上两端、由由短方面先先开始弯曲曲，将较短短尺寸配管管上作记号号、此部份份应放在BBendeer左侧Sett之。l 时时检查BBendeer之状态态是否会造造成管子受受伤或变形形。l 两端一方弯弯曲1800度(R弯
22、曲)时，必须须从1800度弯曲方方向作业。这这个时候RR弯曲尺寸寸在配管上上做记号，而而将此处置置在Bennder左左侧予以SSet之。3-5.尺尺寸固定(划线器划划线方法)l 从配管量尺尺寸用普通通量尺就可可，再用红红铅笔作记记号。l 已施于弯曲曲一次的配配管，则使使用T型特别量量尺，由配配管中心划划线。l 实施90度度以内弯曲曲后再做第第二次弯曲曲划尺寸，依依下列方法法实行。3-6.熔熔接部份注注意事项l 使用Arggon AArc分岐岐部份，使使用专用冶冶具，并使使用Borrd板开孔孔。l 开孔后配管管内部产生生突起屑，粉粉屑用Reeamerr工具清除除。l 施行多数弯弯曲作业其其中有熔
23、接接分岐时，弯弯曲作业中中途须要有有开孔或清清除粉屑的的作业，因因为等到弯弯曲作业完完成后已经经没有方法法通进开孔孔或清除粉粉屑作业之之工具。44.熔接规规范4-1.电电源a.使用TTesteer确认电电压b.使用2220V的的场合要确确认结线。c.使用1110V电电源时，为为保护配线线，要使用用附有漏电电Breaaker之之插座。d.接地线线要用熔接接机单独使使用者。4-2.氩氩气a、 Argonn gass纯度达999.9999以上才予予使用。b、 原则上使用用液化Arrgon Gas 。c、 熔接时氧化化膜无法去去除时要检检查Gass及输气管管路。4-3.钨钨Tunggstenna、 研
24、磨时不能能偏颇。b、 产生熔接联联珠或蛇行行是钨研偏偏所致，要要重磨。研研磨时使用用研磨专用用机。c、 Taperr角度请参参考下记图图面。 22.5。 1mm 0.22 1.6mmm 0.3 熔接产生GGap时，用Gap Gaugge来修正正。4-4.同同心圆之确确认a. 确认pippe规格及及材料，然然后参考DData表表设定之。b. Set直管管接住熔接接机头用VVis调整整。c. Set短管管用同心圆圆打圆圈确确认之。d. 不是同心圆圆时，先考考虑是否熔熔接机头之之焊接头有有歪曲就要要更换Heead。4-5.熔熔接条件确确认a. 使用Bacck Seealedd Gass ，Purgg
25、e 300分程度，清清除之流量量为5 ll/minn。b. 使用Datte表确认认Arc Gas Sealled GGas流量量，并记入入Dataa表。4-6.TTest熔熔接a. 使用对焊熔熔接物做样样品熔接，制制作Cutt Sammple。b. 熔接面联结结、熔接程程度、氧化化膜产生程程度都须确确认。c. 确认后，无无问题才正正式进行熔熔接。d. 为防止表面面氧化用喷喷枪Ar Gass。l 熔接作业重重要事项a.防止中中心点偏移移：钨与熔熔接面位置置。 钨之研研磨角度未未出来。b.熔接联联珠不均：切割面990度未出出来。 切切割面有突突起物。 钨钨的消秏。c.防止熔熔化不足：尽可能观观察熔
26、接时时之熔接内内面。d.防止过过熔低陷：利用控制制内压之专专用治具。e.防止膨膨胀熔接作作业前，再再确认熔接接条件。f.熔接技技术者，熔熔接完了后后，确认熔熔接部份。氧化膜除去去作业基准准a、 氧化膜除去去，使用SStainnlesss Bruush SScotcch Brrush。b、 使用Staain BBrighht除去作作业后，充充分用纯水水洗净。c、 水洗后，用用氮气清除除再用IPPA洗净。d、 进行除去作作业时，配配管末端用用盲Capp套住。e、 除去作业完完成后，其其外部用氮氮气清除尘尘埃。f、 收尾工程，配配管内部用用氮气清除除。清除用氮气气，通过00.05uum以上，具具有除
27、去性性能之Ceeramiic或Staiinlesss Fiilterr，并在8kkg/cmm2的氮气压压力下将管管内清除。5.测试规规范今依据各项项执行顺序序可分为七七大部份:* 第一部份外外观之检验验。* 第二部份为为管路的气气密试验。* 第三部份为为管路流程程的检查。* 第四部份为为HE测试。* 第五部份为为微粒子测测试、PAARTICCLE。* 第六部份为为露点测试试。* 第七部份含含氧量测试试。5-1.外外观检验: 半导体于于管线组装装成后,须做管路路之外观检检验,其检验项项目为:l 所有管线是是否依设计计排列施工工,并予标示示气体种类类。l 所有使用之之材料是否否符合规定定之材料。l
28、 管线之焊接接是否有角角度不正、倾倾斜、歪曲曲。l 管线是否有有污物残留留。l 管线是否有有凹陷、龟龟裂等不良良缺陷。5-2.管管路气密试试验:在气密试验验中,所采用测测试方法均均是采用通通入高于各各管路正常常使用压力力的1.11倍气体或或1.5倍水水的压力于于管路中,再观察已已安装好之之压力计,判断其是是否有漏气气现象。但但有些的管管路受限于于二段式的的压力调节节计,需另安装装压力计,并由管路路末端处灌灌压方式。当气密试验验中,任一管路路有了漏气气现象。就就必须进行行查漏步骤骤。一般而言,在管路的的查漏均均均是采用ssnoopp对漏气管管路所有接接点作泡沬沬测试(ffoamiing ttes
29、tiing),其可侦测测漏气率约约为1*110-4 attm ccc/secc。但是有一点点必须注意意是当压力力计上有明明显变化时时其漏气已已达1*110-4 atm cc/ssec的标标准以上,故使用snnoop查查漏是相当当可靠。当当然能有更更精密仪器器测是最好好的方式；但是精密密测漏仪器器使用较为为不便,若对宽广广空间当然然没有问题题，但对狭狭窄及较高高地点便不不能安装,所以目前前为止查漏漏必须有系系统规划执执行,否再有精精密仪器也也找不出漏漏气处,就以GN22管路查漏漏为例,就可证明明确实是如如此。5-3.压力力及气密之之检验方法法1). 使用0.001u mm过滤器过过滤的氮气气或厂
30、内PPN2系统统做压力测测试。2). 压力测试时时所需压力力大小及加加压时间,设计值如如附表所示示。测试项目规定气体测试压力测试时间气体测试N210kg/cm2(或依业主主规定)30分钟3). .管路充入入规定的压压力气体后后,检查所有有被联接和和焊接的部部份,并用试漏漏液做探漏漏,维持管内内充有压力力并做记录录。4). 记录任何被被发现的异异常点。5). 记录使用中中的压力表表读得有关关数据。6). 从完成压力力测试开始始做气密测测试,设计值、时时间如附表表测试项目规定气体测试压力测试时间气体测试N28kg/ccm2(或依业主主规定)24小时7). 做次测试时时,首先计值值充入管线线中以10
31、0分钟或更更久些,然后才开开始做记录录,以避免产产生误差。8). 做气密记录录测试时,必须使用用读出型压压力计做数数据记录。在在规定的压压力和规定定的保持时时间后,管在线的的压力没有有显示下降降,亦即从试试压开始测测试的压力力和完成测测试时的室室温亦不同同时,无论如,必须使下下列式子做做温度系数数的校正,来决定测测试完成时时,压力表所所获得之数数值能保持持在开始时时所记录的的98%以上上,则此测试试值被认可可为通过测测试。 最最后压力值值= 测测完压力/测完温度度 *100098% 始测压力力/始测温度度9).未接接受试压部部份,如安全阀阀、控制阀阀、压力计计等,均应接受受气密试验验。 气密密
32、试验的压压力以不超超过该组件件的最大许许可操作压压为限。55-4.气气体管路流流程检查此项目之测测试依下列列步骤为之之:a、 将所有气体体管路的末末端阀打开开。b、 列出(各种种特殊气体体管路应到到远的末端端阀的归纳纳表)关闭所试试特殊气体体管路的末末端阀。c、 由所欲测特特殊气体以以N2充压该该管路至一一定压力,并观察五五分钟,视压力计计是否有下下降现象。d、 若压力计无无下降,即代表管管路无错接接现象。若若无下降现现象打开欲欲测特气体体管路末端端阀,判断压力力计是否会会下降至零零,若降至零零代表压力力计无问题题。5-5.测测漏检验a、 特殊气体配配管,管做完上上述测试后后将管路抽抽真空,以
33、HE气做测测漏率的测测试。b、 本公司使用用为BALLZER HLT 160 HELIIUM LLEAKDDETECCTOR设设备。c、 本公司设备备测漏率可可达到-11*10-11 aatm.ccc/seec。d、 测试标准11*10-8 MAABR LL/S22*10-9 attm.ccc/secc In boarrd或业主主规定。e、 本公司有支支持设备相相同机型的的提供厂商商汉疆股份份有限公司司。l 操作说明及及注意事项项a、 在开机前,应先平稳稳放置不得得倾斜。b、 开机后,不不得随意移移动。c、 关机后,必必须听到VVENT气气声或3-5分钟后后,方可移动动或重新启启动。d、 在开
34、机前,须确定电电压是否正正确(1110V/2220V)e、 电压频率选选择于600HZ。f、 本机系属于于精密电子子仪器,故必须使使用有接地地的插头。5-6.微微氧分析 测测试程序 注 意 事 项 选选用气体 a.使用用气体氧分分纯度必须须50PPPB以下或或经过 纯化器器滤过氮气气或同等纯纯度之气体体。 测试试设备热机机 a.微微氧分析仪仪开机后,必须热机机20分钟才才可衔 接管路路测试。 清净管路路 aa.将测试试管路或盘盘面进气孔孔接上气源源。 bb.将测试试管路盘面面上,所有阀件件全部打开开。 cc.使用设设计压力之之气源来PPurgee所要测试试之管 路。 dd.此Purgge程序需
35、需维持300分钟以上上。 aa.气体于于接上设备备前必须将将衔接测试试管路Puurge 5分钟钟。 NOO bb.经过Purrge的衔衔接测试管管路,衔接上微微氧分析 测测试 仪仪后,打开微氧氧分析仪后后,打开微氧氧分析仪电电 源进行行测试。 cc.测试时时依微氧分分析仪测试试数值的状状况,同时进 行测试试与Purrge直到到测试值达达到标准数数值(500 PPBB)以下,才合格。 YES 结结束 a.需需测试姞果果记录于微微氧分析测测试记录表表,以作 日后追追溯与识别别用的。5-7.水水份分析 测 试 程 序 注注 意 事 项 选用用气体 aa.使用气气体氧分纯纯度必须550PPBB以下或经经 过纯化器器滤过氮气气或同等纯纯度之气体体。 清净净管路 a.将测试管管路或盘面面进气孔接接上气源,将测 试管路或或盘面所有有,所有阀件件全部打开开。 b.使用设计计压力气源源来Purrge测试试之盘面管管 路。 c.此Purgge程序需需维持300分钟以上上。 a.气气体管路于于衔接水份份分析仪SSENSOOR前,必 NOO 须须将衔接测测试管路PPurgee5分钟,让衔接测测 试试管路内之之水份随PPurgee气体流出出。 测测 试 b.并联联气体管路路之出气口口至水份分分析仪 SSENSOOR样品取取