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1、特殊气体管管路暨高高洁净度度管路施 工 规规 范目 录录1. 无尘室作业业安全规规范2. pipinng iinsttalllatiion 管路架架设3. 弯管作业规规范4. 熔接规范5. 测试规范6. 工安规范7. 监工人员工工地监工工准则作业标准程程序 1.无尘室室作业安安全规范范1-1.一一般清洁洁区工作作条件(厂务机机房)1) .进入工作作区前，鞋鞋子必须须清理干干净。2) .最好每天天擦拭有有类似金金属碎屑屑等东西西的地方方。3) .有规则的的存放材材料。4) .禁止于工工作区内内吸烟、吃吃东西、喝喝饮料。5) .所有工作作区必须须有垃圾圾筒，收收集废料料等东西西。6) .材料人员员
2、进出必必须清洁洁一次。7) .所有人员员及设备备每周必必须清洁洁一次。8) .产生污染染的工作作必须个个隔离。(喷漆、磨砂轮机等)1-2.非非常干净净区工作作条件(洁净室室地下回回风区)1) .必须换穿穿专用的的鞋子或或鞋套。2) .使用真空空吸尘器器清除脏脏东西。3) .有规则的的存放材材料。4) .禁止于工工作区内内吸烟、吃吃东西、喝喝饮料。5) .所有使用用过的材材料、残残余剩料料等必须须每日清清除。6) .所有工作作区内必必须有密密封式垃垃圾筒，收收集废料料等东西西。7) .材料人员员进出必必须管制制。8) .所有人员员及设备备每周必必须清洁洁一次。9) .产生污染染的工作作必须隔隔离
3、(如喷漆漆、磨砂砂轮机等等)。10) .进出工作作区内的的全部材材料必须须清理干干净，才才可进入入。11) .所有工作作区必须须换穿干干净工作作服。12) .工作区的的管线设设备禁止止勾攀、践践踏、吊吊挂东西西。1-3.绝绝对干净净区工作作条件(洁净室室生产区区)1) .必须换穿穿无尘专专用的鞋鞋子或鞋鞋套。2) .使用中央央系统真真空或特特别过滤滤装置的的手提真真空吸尘尘器清除除作业时时产生的的金属等等粉屑。3) .有规则的的存放使使用材料料。4) .禁止于工工作区内内吸烟、吃吃东西、喝喝饮料。5) .所有使用用过的材材料、残残余剩料料等必须须每日清清除。6) .所工作区区内须有有密封式式垃
4、圾筒筒，收集集废料东东西。7) .材料人员员进出必必须管制制。8) .所有工作作人员及及业主人人员每日日必须清清洁干净净。9) .产生污染染的工作作必须于于进入无无尘室前前完成。10) .进入工作作区内的的全部材材料和工工具必须须用水清清洗干净净，才可可进入。11) .除入无尘尘室应换换穿无尘尘依及尼尼龙手套套外，余余均应穿穿着干净净之工作作服。12) .禁止木质质或瓦愣愣纸材料料所做的的纸箱进进入无尘尘室。13) .禁止触碰碰任何液液体和你你不知道道的任何何器物。14) .含有油品品的工具具禁止携携入。1-4.清清净室施施工安全全规则1) .指定专人人办理安安全事宜宜。2) .勿雇用童童工。
5、3) .工作区域域内禁止止抽烟。4) .必须准备备安全眼眼镜。5) .在清洁室室须戴安安全帽，特特别是有有震动时时。6) .任何时间间内，均均不得堵堵塞通道道及出入入口。7) .在工作区区域工作作，必须须保持干干净；如如有产生生垃圾，必必须随时时准备垃垃圾袋，于每日收工工时携出出清净室室。8) .如有意外外发生，须须立刻告告知监工工。9) .特殊危险险工作区区，须有有安全围围篱及警警告标志志。10) .地板开口口处，须须有安全全围篱及及警告标标志，以以防止人人员掉入入。11) .须备有灭灭火器以以防火灾灾。12) .灭火器仅仅可使用用泡沫灭灭火器，不不可使用用干粉灭灭火器。13) .工作架在在
6、超出地地面2MM以上时时，须使使用鹰架架，人员员须系安安全带(索)。14) .鹰架、楼楼梯及工工具，须须保持良良好状况况。15) .在超出地地面2MM以上时时，工具具须放置置工具袋袋(箱)内。16) .同时有两两组人员员在不同同高度工工作时，须须有良好好之连系系。17) .工作区域域内须有有良好照照明设备备。18) .所有使用用之电缆缆及电线线，须有有良好绝绝缘。19) .电缆及电电线须连连结良好好，不可可以电线线直接插插入插座座。20) .保险丝须须确时使使用，不不可以钢钢丝替代代。21) .电缆及电电线须正正确使用用，不可可过载。22) .如已送电电之电力力供应盘盘，须标标示警告告标志高压
7、危危险。23) .所有圆柱柱型物品品须直立立，并以以链条或或绳索固固定。24) .切勿于地地板面滚滚动圆柱柱型物品品。25) .如须移动动圆柱型型物品，须须使用特特殊格架架举。26) .易燃物品品如无人人照料，不不可置放放于工作作区域内内。27) .化学物品品如有泄泄漏，必必须马上上处理。28) .易燃物品品须放置置于有盖盖容器内内。29) .任何阀、开开关插座座、电源源插座，不不可随意意开、关关、拔除除(机台管管线)。30) .任何配管管配线、材材料，非非经过监监工人员员同意，不不可擅自自任意更更改。22.Piipinng iinsttalllatiion管管路架设设在无尘室或或简易洁洁净室
8、执执行高洁洁净度配配管工作作时，必必须遵循循下列的的规定。2-1.现现场工作作规定l 携入材料必须置置于特定定的贮藏藏间，在在工地现现场或在在材料间间要提供供暂时性性的简易易洁净室室，所有有材料要要存放整整齐。在在存放材材料时，有有电子抛抛光的管管件必须须和未经经电子抛抛光的管管件分开开。在尚尚未使用用管件之之前都不不要将塑塑料封套套打开直直到现埸埸要使用用时方可可打开，并并且不要要将材料料直接放放在地上上。l 切管切管时，使使用的自自动切割割机或手手动切管管器必须须是专门门为半导导体厂工工作所设设计的。切切管器的的刀片与与管件成成垂直方方向，当当使用自自动切割割机时，放放刀片的的深度要要能使
9、管管壁尚有有薄薄的的一层未未切断，藉藉以防止止切割时时的碎屑屑进入管管内。l 倒角原则上，在在使用倒倒角机(TUBBE SSIZEE用)或锉刀刀(PIIPE SIZZE用)时，小小心地移移开切割割面。如如果切割割面歪斜斜未成垂垂直，焊焊口松驰驰或管子子弯曲等等状况发发生时，这这种管路路是不合合规定，必必须重新新切割及及配置。当当倒角时时，在管管的另一一端必须须用高洁洁净度的的氮气冲冲吹(氮气要要经0.02uum的过过滤器过过滤)。l N2冲吹将管内的微微粒冲吹吹出来。l 工作后的清清洁检视切割机机的洁净净度，保保持机具具不受油油污，如如果仍然然看得见见有油污污或切割割的碎屑屑残余，按按照下列列
10、的方法法清洁之之。用GN2冲冲吹使用的N22必须经经-800或更低低的露点点，经00.022um的的过滤器器干燥。l 预制工作(在简易易洁净室室cleean boooth)在现场的焊焊接工作作降至最最低量是是必需的的。配管管区必须须在有洁洁净气的的地方，在在工作时时维持风风扇正常常运转，于于早、中中、晚用用O2查看看器检查查O2的浓浓度。u 点焊点焊使用TTIG焊焊接，点点焊的点点数按照照下列规规定。(CAJOON的焊焊机必需需保证管管子确实实牢固，从从完成的的观点来来看，最最好不要要使用手手动的TTIG焊焊接，因因此点焊焊被省略略)。3/4” 到15AA到80AA：344点。u 冲吹气体(B
11、acck sseall gaas)使用氩气，露露点-880或更低低，氧含含量在00.1pppm以以下，微微粒(00.1uum以上上)含量为为零。u 冲吹用管套套连接冲吹气气体管路路与架设设管路，使使用(BBackk seeal jigg)如图(一)所示 Baack seaa jiig (BBackk seeal gass) 图(一) (参参考用)u 架设程序(图二)将工作管路路两端套套上管套套，连接接冲吹气气体及阀阀氩气冲吹(预先冲冲吹1分钟以以上) 点 焊 氩气冲吹 焊接(自动动焊接) 氩气冲吹风风(收尾冲冲吹1分钟以以上) GAr GGAr 图(二)u 装封(在CCleaan bboott
12、h内进进行)完成焊接之之后，在在管内充充满Arr气，而而且用无无尘的塑塑料纸在在末端包包裹两层层。如果果末端的的阀已经经连接好好了，把把阀也用用塑料纸纸裹起来来。2-2.现现场施工工l 预制管件连连结连结在Clleann booothh 装装封好的的管件l 现场焊接现埸焊接的的人员必必须有受受过高洁洁净度配配管技术术检定通通过。焊焊接工作作 (i) (ii) GAAr GGAr (iiii) GGAr GAAr (iv) GAAr GGAr(i) 原封至现埸埸。(ii) 先拆卸一端端封套，并并连接BBackk seeal gass。(iii) 拆卸要焊接接端封套套，并冲冲吹干净净。(iv) 连
13、接后将一一端之BBackk seeal gass拆掉使使成出气气端，并并开始 焊接。 u 管路维持条条件即使焊接结结束，也也要维持持小量的的N2或Ar在管管内冲吹吹以防止止空气流流入管内内。无论论如何也也要想办办法把管管内的空空气及微微粒弄出出来，如如果无法法继续冲冲吹。l 焊机电源 供给电电源的电电压的变变动，对对于管路路焊接的的质量影影响甚巨巨。使用用自动焊焊接机的的电源必必需使用用特定的的整流器器。容许许的电压压波动AAC 1100VV10%，AC 2000V10%，在焊焊接进行行时电压压警报器器一直监监视着电电压，如如果电压压超过可可容许的的范围时时，警报报器就会会发出声声音。2-3.
14、其其他注意意事项下述的工作作是在架架设高洁洁净度的的管路时时必需要要执行的的。l 控制氩气冲冲吹u 用压力计或或液位计计察看尚尚余有多多少氩气气。u 看流量计的的刻度检检查冲吹吹气体的的容量。u 使用采样品品阀从钢钢瓶或气气体来源源收集氩氩气，测测量氩气气纯度确确定露点点是在-80以下，残残余氧气气低于00.1pppm，微微粒含量量为0 (0.1umm以上的的微粒)。u 在工作处测测量架设设管路末末端的氩氩气纯度度，确定定露点在在-700以下残残余氧气气低于22ppmm，测量量地点必必须在监监工及焊焊接都同同意的地地方。u 前4项规定定的工作作前在每每天开始始工作由由监工或或工作人人员执行行以
15、控制制质量符符合要求求。u 若气体容量量未达标标准，通通知监工工，暂停停工作，但但是冲吹吹必须持持续进行行，或使使用预留留的LNN2，当当要使用用预留LLN2时时，必定定要做分分析供给给气体纯纯度的工工作。l 简易洁净室室(Clleann booothh)的洁洁净度的的控制u 在Cleaan bbootth内测测量焊接接处的微微粒数量量(0.1umm以上)不能超超过1000个/c.f，claass 100000是是用作贮贮藏用，class 1000是组装用。u 在正常使用用中测量量微粒的的工作一一天至少少进行11次。l 洁净衣物的的管制u 在Cleaan bbootth内使使用的洁洁净衣、洁洁
16、净鞋、洁洁净手套套及其他他设备必必需在使使用前检检查其洁洁净度。u 使用的洁净净衣物等等，必需需一个星星期清洗洗一次，不不论有否否弄脏。l 洁净室依据洁净室室人员管管制规定定的管制制细则，所所有的工工作人员员皆需致致力于工工作在一一个高洁洁净空气气环境中中。l 焊接状况的的检查(由个人人或监工工)当自动焊接接机的工工作条件件改变时时，必须须确定焊焊接数据据与工作作条件一一致。l 钨棒的保养养及管制制u 要时时注意意钨棒是是否变形形。u 磨钨棒的工工作必须须是由监监工认可可之专业业人员使使用特定定的设备备来执行行。l 样品制作及及焊接条条件的检检查(焊接者者或监工工)u 每日早上在在上工前前要制
17、作作数个同同样大小小的样品品。u 监工切开样样品，检检查管内内部焊接接情况，用用目视确确定焊接接的地方方没有不不规则的的孔、裂裂缝、气气孔或没没有完全全焊透等等缺点存存在。u 若有焊接缺缺陷发现现时，检检查焊接接条件、更更换钨棒棒、检查查冲吹气气体纯度度、质量量及冲吹吹的方法法，直到到结果令令人满意意，方可可进行配配管工作作。u 样品及焊接接数据必必须同时时保存。2-4.要要求l 机器携入及及架设u 从侧边带入入机器要要在事先先申请同同意路线线，并且且使用的的拖车放放在特定定的地方方。u 在水泥地板板上使用用铁锚类类之固定定机器。u 经纵、横的的方向确确定无误误后，固固定机器器。u 机器必须在
18、在地板的的防尘油油漆涂上上之前装装上。l 管路标记u 至少每5MM要有标标签贴在在管路上上，标明明气体名称流向l 开/关显示示除了球阀外外，所有有的阀都都要有开开/关的标标示。 3.弯管作作业规范范3-1.说说明本项说明GGas Sysstemm作成时时，如何何使用手手工具PPIPEE BEENDEER来进进行弯曲曲作业。主要对象SUS 3316 BA管管，外径径1/44” (6.335)使用工工具R11 NOO.3994 LLEVEER型TUBBE BBENDDER 。3-2.配配管图看看法与管管长之决决定配管图尺寸寸是表示示配管中中心之尺尺寸或中中心配管管末端之之长之谓谓。 “aa” “a
19、a” 通常在配管管分岐点点实施熔熔接很多多，兹以以下图表表示之。至中心点之之长度约约 +33 mmm (11/4” OD)(则3.115 mmm -3mmm)约 +55 mmm (33/8” OD)使用TUBBE BBENDDER 来加加以弯曲曲之中心心点大约约弯曲115R与与直角弯弯曲比较较，配管管全长变变短，亦亦即图面面上所配配尺寸相相加长度度比实际际配管长长度长。 1180度度弯曲(R弯曲曲),每一一弯曲，其其SETT BAACK为为14.6 mmm 其计算算如下： 550 900 300 1120管长=(550+330+990+1120)-144.6-6.44=2669 mmm 1/4
20、” OD又3/8”时R弯曲Set Back为23.6 mm 依上图原理理可得(50+330+990+1120)-233.6-10.5=2255.9 mmm 3/88” OOD075度度范围角角度弯苗苗，其SSet Bacck为0例如: 75度度其管长=(50+53.94+40)-6.4=1137.5其长度差即即所谓SSet Bacck ，在在1/44” OOD配管管，每一一弯曲可可短小66.4 mm (6.35mmm)下下面有11/4” 、3/88” 各各种埸合合之Seet BBackk之表。弯曲次数Set BBackk1/4”3/8”1/8”16.4 mmm10.5mmm6.0mmm212.
21、721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.048例: 必要管管长=(50+70+80)-122.7=1877.333 mmm 2次次弯曲SSet Bacck 因此此准备1187.3 mmm长度度配管就就可进入入作业。3-3.配配管切割割配管切割使使用Tuube Cuttterr (PPipee Cuutteer)工工具RIIDGIID NNO.1105，配配管开始始切割时时，必须须前后旋旋转34次半半周，使使配管轴轴部方向向不致造造成直角角，沟才才开始进进行。配配管之切切断处，事事先用红红笔做记记
22、号。切割深度一一次切割割过深会会使切口口未能成成立真圆圆，慢慢慢进行，而而把手旋旋转角度度保持约约30度就就可。切割完毕，管管内面产产生突屑屑会致使使内径缩缩小，须须用铣面面Cuttterr清除。最后用铣面面Cuttterr将突屑屑、粉屑屑清除。3-4.配配管弯曲曲作业应应注意之之原则配管开始弯弯曲作业业应注意意原则l 比较图面上上两端、由由短方面面先开始始弯曲，将将较短尺尺寸配管管上作记记号、此此部份应应放在BBendder左左侧Seet之。l 时时检查BBendder之之状态是是否会造造成管子子受伤或或变形。l 两端一方弯弯曲1880度(R弯曲曲)时，必必须从1180度度弯曲方方向作业业。
23、这个个时候RR弯曲尺尺寸在配配管上做做记号，而而将此处处置在BBendder左左侧予以以Sett之。3-5.尺尺寸固定定(划线器器划线方方法)l 从配管量尺尺寸用普普通量尺尺就可，再再用红铅铅笔作记记号。l 已施于弯曲曲一次的的配管，则则使用TT型特别别量尺，由由配管中中心划线线。l 实施90度度以内弯弯曲后再再做第二二次弯曲曲划尺寸寸，依下下列方法法实行。3-6.熔熔接部份份注意事事项l 使用Arggon Arcc分岐部部份，使使用专用用冶具，并并使用BBordd板开孔孔。l 开孔后配管管内部产产生突起起屑，粉粉屑用RReammer工工具清除除。l 施行多数弯弯曲作业业其中有有熔接分分岐时，
24、弯弯曲作业业中途须须要有开开孔或清清除粉屑屑的作业业，因为为等到弯弯曲作业业完成后后已经没没有方法法通进开开孔或清清除粉屑屑作业之之工具。4.熔接规范4-1.电电源a.使用TTestter确确认电压压b.使用2220VV的场合合要确认认结线。c.使用1110VV电源时时，为保保护配线线，要使使用附有有漏电BBreaakerr之插座座。d.接地线线要用熔熔接机单单独使用用者。4-2.氩氩气a、 Argonn gaas纯度度达999.9999以上上才予使使用。b、 原则上使用用液化AArgoon GGas 。c、 熔接时氧化化膜无法法去除时时要检查查Gass及输气气管路。4-3.钨钨Tunngst
25、tena、 研磨时不能能偏颇。b、 产生熔接联联珠或蛇蛇行是钨钨研偏所所致，要要重磨。研研磨时使使用研磨磨专用机机。c、 Taperr角度请请参考下下记图面面。 2.55。 1mmm 00.2 1.6mmm 0.33 熔接产生GGap时时，用Gapp Gaaugee来修正正。4-4.同同心圆之之确认a. 确认pippe规格格及材料料，然后后参考DDataa表设定定之。b. Set直管管接住熔熔接机头头用Viis调整整。c. Set短管管用同心心圆打圆圆圈确认认之。d. 不是同心圆圆时，先先考虑是是否熔接接机头之之焊接头头有歪曲曲就要更更换Heead。4-5.熔熔接条件件确认a. 使用Bacck
26、 SSealled Gass ，Purrge 30分分程度，清清除之流流量为55 l/minn。b. 使用Datte表确确认Arrc GGas Seaaledd Gaas流量量，并记记入Daata表表。4-6.TTestt熔接a. 使用对焊熔熔接物做做样品熔熔接，制制作Cuut SSampple。b. 熔接面联结结、熔接接程度、氧氧化膜产产生程度度都须确确认。c. 确认后，无无问题才才正式进进行熔接接。d. 为防止表面面氧化用用喷枪AAr Gass。l 熔接作业重重要事项项a.防止中中心点偏偏移：钨钨与熔接接面位置置。 钨之之研磨角角度未出出来。b.熔接联联珠不均均：切割割面900度未出出来。
27、 切切割面有有突起物物。 钨钨的消秏秏。c.防止熔熔化不足足：尽可可能观察察熔接时时之熔接接内面。d.防止过过熔低陷陷：利用用控制内内压之专专用治具具。e.防止膨膨胀熔接接作业前前，再确确认熔接接条件。f.熔接技技术者，熔熔接完了了后，确确认熔接接部份。氧化膜除去去作业基基准a、 氧化膜除去去，使用用Staainllesss Brrushh Sccotcch BBrussh。b、 使用Staain Briightt除去作作业后，充充分用纯纯水洗净净。c、 水洗后，用用氮气清清除再用用IPAA洗净。d、 进行除去作作业时，配配管末端端用盲CCap套套住。e、 除去作业完完成后，其其外部用用氮气清
28、清除尘埃埃。f、 收尾工程，配配管内部部用氮气气清除。清除用氮气气，通过过0.005umm以上，具具有除去去性能之之Cerramiic或Staainllesss Fiilteer，并并在8kkg/ccm2的氮气气压力下下将管内内清除。5.测试规规范今依据各项项执行顺顺序可分分为七大大部份:* 第一部份外外观之检检验。* 第二部份为为管路的的气密试试验。* 第三部份为为管路流流程的检检查。* 第四部份为为HE测试试。* 第五部份为为微粒子子测试、PARTICLE。* 第六部份为为露点测测试。* 第七部份含含氧量测测试。5-1.外外观检验验: 半导体体于管线线组装成成后,须做管管路之外外观检验验,
29、其检验验项目为为:l 所有管线是是否依设设计排列列施工,并予标标示气体体种类。l 所有使用之之材料是是否符合合规定之之材料。l 管线之焊接接是否有有角度不不正、倾倾斜、歪歪曲。l 管线是否有有污物残残留。l 管线是否有有凹陷、龟龟裂等不不良缺陷陷。5-2.管管路气密密试验:在气密试验验中,所采用用测试方方法均是是采用通通入高于于各管路路正常使使用压力力的1.1倍气气体或11.5倍倍水的压压力于管管路中,再观察察已安装装好之压压力计,判断其其是否有有漏气现现象。但但有些的的管路受受限于二二段式的的压力调调节计,需另安安装压力力计,并由管管路末端端处灌压压方式。当气密试验验中,任一管管路有了了漏气
30、现现象。就就必须进进行查漏漏步骤。一般而言,在管路路的查漏漏均均是是采用ssnooop对漏漏气管路路所有接接点作泡泡沬测试试(fooamiing tesstinng),其可侦侦测漏气气率约为为1*110-44 attm ccc/ssec。但是有一点点必须注注意是当当压力计计上有明明显变化化时其漏漏气已达达1*110-44 attm ccc/ssec的的标准以以上,故使用用snooop查查漏是相相当可靠靠。当然然能有更更精密仪仪器测是是最好的的方式；但是精精密测漏漏仪器使使用较为为不便,若对宽宽广空间间当然没没有问题题，但对对狭窄及及较高地地点便不不能安装装,所以目目前为止止查漏必必须有系系统规
31、划划执行,否再有有精密仪仪器也找找不出漏漏气处,就以GNN2管路路查漏为为例,就可证证明确实实是如此此。5-3.压压力及气气密之检检验方法法1). 使用0.001u m过滤滤器过滤滤的氮气气或厂内内PN22系统做做压力测测试。2). 压力测试时时所需压压力大小小及加压压时间,设计值值如附表表所示。测试项目规定气体测试压力测试时间气体测试N210kg/cm22(或依业业主规定定)30分钟3). .管路充入入规定的的压力气气体后,检查所所有被联联接和焊焊接的部部份,并用试试漏液做做探漏,维持管管内充有有压力并并做记录录。4). 记录任何被被发现的的异常点点。5). 记录使用中中的压力力表读得得有关
32、数数据。6). 从完成压力力测试开开始做气气密测试试,设计值值、时间间如附表表测试项目规定气体测试压力测试时间气体测试N28kg/ccm2(或依业业主规定定)24小时7). 做次测试时时,首先计计值充入入管线中中以100分钟或或更久些些,然后才才开始做做记录,以避免免产生误误差。8). 做气密记录录测试时时,必须使使用读出出型压力力计做数数据记录录。在规规定的压压力和规规定的保保持时间间后,管在线线的压力力没有显显示下降降,亦即从从试压开开始测试试的压力力和完成成测试时时的室温温亦不同同时,无论如如,必须使使下列式式子做温温度系数数的校正正,来决定定测试完完成时,压力表表所获得得之数值值能保持
33、持在开始始时所记记录的998%以以上,则此测测试值被被认可为为通过测测试。 最后压压力值= 测完压压力/测完温温度 *110098% 始始测压力力/始测温温度9).未接接受试压压部份,如安全全阀、控控制阀、压压力计等等,均应接接受气密密试验。 气密密试验的的压力以以不超过过该组件件的最大大许可操操作压为为限。55-4.气体管管路流程程检查此项目之测测试依下下列步骤骤为之:a、 将所有气体体管路的的末端阀阀打开。b、 列出(各种种特殊气气体管路路应到远远的末端端阀的归归纳表)关闭所所试特殊殊气体管管路的末末端阀。c、 由所欲测特特殊气体体以N22充压该该管路至至一定压压力,并观察察五分钟钟,视压
34、力力计是否否有下降降现象。d、 若压力计无无下降,即代表表管路无无错接现现象。若若无下降降现象打打开欲测测特气体体管路末末端阀,判断压压力计是是否会下下降至零零,若降至至零代表表压力计计无问题题。5-5.测测漏检验验a、 特殊气体配配管,管做完完上述测测试后将将管路抽抽真空,以HE气做做测漏率率的测试试。b、 本公司使用用为BAALZEER HHLT 1600 HEELIUUM LLEAKKDETTECTTOR设设备。c、 本公司设备备测漏率率可达到到-1*10-11 atmm.ccc/seec。d、 测试标准11*100-8 MABBR LL/S2*110-99 attm.ccc/ssec
35、In boaard或或业主规规定。e、 本公司有支支持设备备相同机机型的提提供厂商商汉疆股股份有限限公司。l 操作说明及及注意事事项a、 在开机前,应先平平稳放置置不得倾倾斜。b、 开机后,不不得随意意移动。c、 关机后,必必须听到到VENNT气声声或3-5分钟钟后,方可移移动或重重新启动动。d、 在开机前,须确定定电压是是否正确确(1110V/2200V)e、 电压频率选选择于660HZZ。f、 本机系属于于精密电电子仪器器,故必须须使用有有接地的的插头。5-6.微微氧分析析 测测试程序序 注 意 事 项 选选用气体体 a.使用气气体氧分分纯度必必须500PPBB以下或或经过 纯化化器滤过过
36、氮气或或同等纯纯度之气气体。 测试试设备热热机 aa.微氧氧分析仪仪开机后后,必须热热机200分钟才才可衔 接管管路测试试。 清净管管路 a.将测试试管路或或盘面进进气孔接接上气源源。 bb.将测测试管路路盘面上上,所有阀阀件全部部打开。 cc.使用用设计压压力之气气源来PPurgge所要要测试之之管 路。 dd.此Purrge程程序需维维持300分钟以以上。 aa.气体体于接上上设备前前必须将将衔接测测试管路路Purrge 5分分钟。 NNO bb.经过过Purrge的的衔接测测试管路路,衔接上上微氧分分析 测试 仪后后,打开微微氧分析析仪后,打开微微氧分析析仪电 源进进行测试试。 cc.测试试时依微微氧分析析仪测试试数值的的状况,同时进进 行测测试与PPurgge直到到测试值值达到标标准数值值(500 PPPB)以以下,才合格格。 YYES 结束 aa.需测测试姞果果记录于于微氧分分析测试试记录表表,以作 日后后追溯与与识别用用的。5-7.水水份分析析 测 试 程 序 注 意 事 项 选用气气体 aa.使用用气体氧氧分纯度度必须550PPPB以下下或经 过纯纯化器滤滤过氮气