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1、精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系1精密仪器系典型的双光束干涉系统及典型的双光束干涉系统及应用应用迈克尔逊迈克尔逊干涉仪干涉仪1、结构原理、结构原理G2补偿各色光的光程差补偿各色光的光程差精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系2精密仪器系麦克尔逊干涉仪麦克尔逊干涉仪精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系3精密仪器系CCD照相机拍摄的干涉图精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系42 2、迈克尔逊干涉仪产生的条纹、迈克尔逊干涉仪产生的条纹(1)虚平板两面)虚平板两面平行平行 平行平板的等倾干涉平行平板的等倾干涉精密仪器系=m=2nh cos2精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系5(1)虚平板两面平行)
2、虚平板两面平行2h=Nh111h增大,条纹外冒,变密增大,条纹外冒,变密h减小,条纹内缩,变疏减小,条纹内缩,变疏精密仪器系=m=2nh cos2精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系6(2)虚平板为楔板)虚平板为楔板楔角小、楔板薄时楔角小、楔板薄时/或或用平行光照明时,用平行光照明时,形成等厚条纹形成等厚条纹,条纹,条纹平行楔棱平行楔棱精密仪器系扩展光源下,厚度较大扩展光源下,厚度较大时时产生混合产生混合条纹条纹条纹条纹凸向厚凸向厚度小的方向度小的方向精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系7精密仪器系等厚干涉条纹精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系83、应用、应用(1)测波长、折射率、厚度,求其中之一参量)测波长、折射率、厚度,求其中之一参量2nh=N(2)白光干涉条纹的优点白光条纹可确定零程差位置)白光干涉条纹的优点白光条纹可确定零程差位置精密仪器系