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先进制造技术及工程应用概论6微细加工技术6微细加工技术36.1微机械及其特征6.2微细加工工艺方法6.3微细加工技术的发展与趋势6.1微机械及其特征6.1微机械及其特征5 110mm；微机械1m1mm；纳米机械1nm1m。微小机械 如直径如发丝的齿轮、开动3mm大小的汽车、花生米大的飞机、在5mm2内放置1000台的微型发动机。体积小、精度高、重量轻 微机械体积小，热膨胀、噪声、挠曲等影响小，具有抗干扰性，可在较差环境下稳定的工作。性能稳定、可靠性高 不存在信号延迟问题，可进行高速工作。能耗低、灵敏度、工作效率高6.1微机械及其特征6 如5*5*0.7mm3微型泵流速是比其体积大得多的小型泵流量的1000倍。消耗的能量远小于传统机械 集传感器、执行器、信号处理和电子控制电路为一体，易于实现多功能化和智能化。多功能和智能化 类似半导体制造工艺。制造成本低谢谢聆听