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1、无尘室的使用及管理无尘室的使用及管理新进人员职前训练新进人员职前训练迈入科技发达的21世纪，此时尖端产业的研究开发和生产过程遭遇重大的难题，为了清除空气中的浮游粒子；因而有了无尘室的诞生。无尘室不仅是抑制空气中的浮游粒子，并可控制温度、湿度、气压及亮度等的密闭空间，它主要是用在精密产业、电子产业、医药制品产业、食品制造业、光学机器、医院、实验室等，为了得到更精密、进步的结果，为了防止0.1微米以下的微粒子，造成产量下降，进而提高实验结果的可信度及保护机器设备，因此无尘室的设置是必要的。以下是使用及维护无尘室时一定要遵守的事项：1.1.何谓无尘室何谓无尘室何谓无尘室何谓无尘室?无尘室的六原则无尘
2、室的六原则洁净的空气洁净的空气保持对的温度、湿保持对的温度、湿度及室内气压度及室内气压防止微粒子的进入防止微粒子的进入消除微粒的产生消除微粒的产生防止微粒子堆积防止微粒子堆积防止微粒子的回收防止微粒子的回收 2.2.无尘室无尘室无尘室无尘室(Class)(Class)基准基准基准基准所谓Class是指一立方 ft(立方英尺)的空间会产生多少个0.5 m(1 m=1/1,000mm)以上大小的粒子，例如 1,000 Class是代表在 ft3 的空间里会有0.5 m以上大小之粒子。空气中漂浮的粒子大致可分为绵屑、沙子、金属分子、人的皮肤分子、香烟的烟雾，还有细菌、病毒、霉菌等非常小的微生物。这些
3、粒子包含了从 0.001 m至 100 m等各种大小不等的粒子。尤其是在空气污染严重的大都市里，1 m(35.3)的空气中存在着0.5 以上的粒子约三亿个之多。大气层中粒子的大小大气层中粒子的大小人的头发人的头发(100 m)及比较及比较时的大小时的大小 3.3.无尘室的动作方式无尘室的动作方式无尘室的动作方式无尘室的动作方式无尘室的动作方式有很多种，基本上分为垂直层流方式、水平层流方式及乱流方式，这几种方式归根究底，其目无尘室的动作方式有很多种，基本上分为垂直层流方式、水平层流方式及乱流方式，这几种方式归根究底，其目的都是要将空气中污染物质过滤掉。的都是要将空气中污染物质过滤掉。Hepa滤净
4、器是装置在天花板上，以垂直的方式将气流向吸入口送，洁净度要在 Class 100以下。无尘室的洁净度，并不会受人数多寡的影响。在无尘室内很少会有灰尘堆积及污染粒子漂浮在空气中的情形，因灰尘会随着气流而被消除，很快的恢复洁净标准。1.垂直垂直层层流方式流方式(Class 1100)2.水平水平层层流方式流方式(Class 10010000)使用Hepa 滤净器维持一定的速度及方向将气流均匀的向吸入口送，在微粒子未沈淀前把空气向排气口吹送，洁净度在class 10010,000适当。无尘室内污染粒子再次漂浮的清形很少，且没有使用到的空间也不会有灰尘堆积。在目前无尘室内工作人数的多寡不会影响洁净度。
5、因换气的次数很多，所以真正洁净的时间很短。3.3.乱乱流方式流方式 (Class 10000)(Class 10000)使用Hepa 滤净朝吸入口送风，再由无尘室内设置的排出口吸入循环的方式，洁净度要在 Class 10,000以上。换滤净器及空气处理很容易。与(Clean Bench)一起用的话可以得到较高的洁净度。架设费用低。.依据作依据作业业人人员员的工作所的工作所产产生的生的 0.5 m以上大小的粒子以上大小的粒子数数在站姿或坐姿下静止的状态站起来及坐下摆动手、脚、或头摆动手、脚、上半身及下半身每小时走 3.2Km每小时走5.6Km每小时走8.05Km100,000 个500,000
6、个1,000,000 个2,500,000 个5,000,000 个7,500,000 个10,000,000 个目前无尘室的使用方式，无尘室的内平均都控制在目前无尘室的使用方式，无尘室的内平均都控制在1000Class 1000Class。此无尘室内有此无尘室内有C/Bench C/Bench 设备，实际上作业人员的作业空间达到设备，实际上作业人员的作业空间达到 30100Class30100Class的高洁净度。的高洁净度。4.Clean Room 4.Clean Room的构成要素的构成要素的构成要素的构成要素AIR SHOWERAIR SHOWER 作作业人人员在在进出无出无尘室室时，
7、为了消除附着在人身上或衣服上的了消除附着在人身上或衣服上的污染物染物质，利用强力，利用强力气气压将将其其清清除的除的设备，无，无尘室的大小室的大小随随着着进出的作出的作业员的人的人数数而改而改变。在进出无尘室前使用具备 20m/sec以上风速的 JET AIR，将附着在衣服表面上的粒子吹起，再透过滤净器的过滤与清除，效果最好。-Air Shower 又可分成人体用Air Shower及器材用Air shower。Clean BoothClean BoothClean BoothClean Booth是用塑料或玻璃是用塑料或玻璃将将污污染的空染的空气气隔离在外所形成的一隔离在外所形成的一个个隔离
8、室，以隔离室，以维维持持boothbooth内内部的部的洁净洁净度，若室度，若室内内地板上可以直接地板上可以直接设设置的置的话话，便可，便可轻轻易的移易的移动动位置。位置。Clean Clean boothbooth一般可一般可称称做小型移做小型移动动式式Clean roomClean room，体，体积积大小多大小多样样化，因此不受化，因此不受设设置置场场所大小所大小的限制。的限制。Clean BenchClean BenchClean benchClean bench是一是一个个提供的作提供的作业空空间及及维持持洁净环境的境的设备，作，作业空空间可以可以维持持 CLASS 100CLASS
9、 100以下的以下的洁净度，可用多度，可用多种种方式方式来来保持保持洁净的的环境。境。Clean RoomClean Room构构构构成要素成要素成要素成要素Pass BoxPass Box为为了了将将Clean roomClean room的的污污染降到最低，必染降到最低，必须须减减少人少人员员的的进进出，因出，因为为人是最大的人是最大的污污染源，染源，所以所以Pass BoxPass Box是是没没有人有人员进员进出，所有的制品皆由此出，所有的制品皆由此运运送到外面去的装置。送到外面去的装置。-主要是用在制品要出货到仓库时。CleanClean空空调机机控制控制温温度、度、湿湿度，供度，供
10、给室室内内空空气气，维持室持室内清内清净度及度及压力的装置，主要是由力的装置，主要是由风扇、冷却扇、冷却线圈、加圈、加热线圈、加圈、加温温器及器及各各种种滤净器等所器等所组成的。成的。HepaHepa 滤净滤净器器此滤净器可以消除Cleanroom内的粒子高达 99.97%，同时压力损失在25mmAq(245Pa)以下，是个高性能的空气滤净器。-因为在滤净器内会附着许多的微粒子及粉尘,所以必须要定期的检查及更换。Relief DamperRelief Damper为为了了维维持持洁净洁净区区和其和其它区它区域域间间的的洁净洁净度及差度及差压压而而设设置的装置。置的装置。-装设在Clean ro
11、om及仓库之间风扇、扇、滤净器部器部份份FFU(FanFFU(Fan Filter Unit)Filter Unit)为了提高室了提高室内内的的洁净度，度，将将HepaHepa 滤净器及送器及送风机机设置在天花板上，置在天花板上，洁净度可度可达达 Class 100 Class 100 以上。以上。5.5.5.5.无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的使用及维护最好的方式无尘室的使用及维护最好的方式,就是最好的管理就是最好的管理,为了维持基本的效能为了维持基本的效能,其使用必须订定正确的管理标准。管理上其使用必须订定正确的管理标准。管理上的疏失及内部工作程序的
12、错误对产业的影响非常大。的疏失及内部工作程序的错误对产业的影响非常大。在无尘室内,管理者必须对其他的作业人员完整的教育训练，卫生管理及确切遵守管理规章，且定期检查洁净度及检查外部空气导入的情况等，是否能维持洁净度的标准。1.1.防止灰尘进入室内防止灰尘进入室内-于供给系统装设滤净器-防止导管中的空气外泄-慎重的考虑无尘室的配置-进入无尘室内的东西要彻底的洗净-使用双重门2.2.将灰尘排出将灰尘排出-排出污染的空气-利用滤净器供给过滤后的洁净空气-使洁净空气的换气数增加-施行定期或不定期清洁3.3.抑制室内粒子的产生抑制室内粒子的产生-选用低粉尘的材料-考虑器材的等级再加以选用-穿着洁净室的无尘
13、衣4.4.隔绝灰尘以保护产品隔绝灰尘以保护产品-使用指定的(clean bench)作业区-封装后再使用箱子搬运-保持保管场所的洁净5.5.防止媒介物引入灰尘防止媒介物引入灰尘-空气浴(air shower)-(pass box)无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理(设备设备设备设备)1.1.无无尘尘室相室相关关设备设备的的检查检查事事项项-洁净度的检查(上半年、下半年、每年两次以上)-风量的检查-滤净器的检修-对于使用的滤净器定期清理管理(两周更换一次)-空调机运转操作检查(一天一次以上)-空调系统(送风机及导管)的检查(每周确认一次以上)-室内压力(维持两边压力
14、)检查(一天两次以上)-温度、湿度的检查(一天一次以上)-Clean Booth,Air Shower 差压器检查(一天一次以上)2.2.无无尘尘室物品搬入室物品搬入时时，遵守事，遵守事项项-搬入的器材体积愈小愈好，且一定要洗净再搬入-除去外部的二次包装(外包装纸、木框架、泡绵及缓冲物、盒子等.)后，再搬入-在器材搬入口(准整洁室)，前除去第一层包装(塑料包装)后，再搬入-经过Air Shower(20秒以上)之洗净及人员确认后再搬入-大型物品先在一般污染区域洗净后，再于准无尘室用真空清洗器及净毛器具洗净后再搬入3.3.无无尘尘室室员员工工-向无尘室管理者和无尘室作业员说明须遵守无尘室之规定并
15、保持其洁净度.在无在无尘室室内内，人的行，人的行动或人体或人体内内产生的生的污染物染物质，如口水、，如口水、污水、皮水、皮肤肤分子、口鼻分泌物、分子、口鼻分泌物、头发、衣、衣类等，是无等，是无尘室最大室最大的的污染源。染源。1.1.作作业员业员的的选选定定-作业员要了解无尘室的原理并遵守规定，保持无尘室的环境清洁2.2.防防尘尘服的使用服的使用-按照防尘服的使用规定，正确的使用-每人准备二至三件的备用防尘服3.3.进进出出规规定定-规定进出的程序并遵守之-检查头发是否有外露现象-禁烟、禁食及注意化妆的规定-限定携带的物品-遵守在Air Shower内至少清洗十五秒以上4.4.室室内内的的规规定
16、定-禁止在室内做职务以外的活动-室内禁食、禁烟-禁止在室内做不必要的交谈5.5.办办公用具的管理公用具的管理-禁止在室内使用容易产生粉尘的纸张及铅笔-工作前要确认工具是否已做好清洁的动作-确认机器及工作台表面已做好事前的清洁-工具用品使用完后，请放回指定的位置6.管理人员的规定-管理人员对以上的事项须加以遵守-对于作业相关人员在污染管理规定及作业程序等须时常教育及督导-对于各种作业规定，须做好彻底的监督的工作-须时常注意作业员的健康状况-发生紧急状况时须迅速采取必要的措施-须经常检讨无尘室的洁净度的问题-须随时检修及维持无尘室内部(墙壁、天花板、地板)的清洁在在无无尘尘室室内内，人人的的行行动
17、动是是引引发发灰灰尘尘等等污污染染的的最最大大因因素素，且且会会使使气气流流的的流流动动不不稳稳定定，而而对对产产品品产产生生不不良良的的影影响，所以动作要特别小心，尽量避免不必要的动作响，所以动作要特别小心，尽量避免不必要的动作绝对禁止跑步绝对禁止跑步。无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理.作业员禁止携带物品作业员禁止携带物品-依规定禁止携带器材、办公室用品、测量工具等依规定禁止携带器材、办公室用品、测量工具等-除了无尘纸以外的纸张(指定的物品使用)-小型收音机、CD随身听、食物、口香糖、饰品、皮夹、手表、面纸、手帕等，个人物品禁止携带(请放置于指定的置物箱)2.
18、2.衣服管理衣服管理应应注意事注意事项项-发给合适的防尘服及防尘鞋以供使用-防尘服及防尘鞋依规定更换及清洗，以防止污染源产生(两周一次)-发给作业员每人三套的防尘服及防尘鞋-工作服挂钩除了防尘服外，禁止挂一般衣物(一般衣物请放置个人置物箱)-禁止在防尘服及防尘鞋上任意涂写-防尘服及防尘鞋禁止放置于个人置物箱，且不可私自清洗 无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理禁止携入物品禁止携入物品物品搬入的程序及洗净方法物品搬入的程序及洗净方法无尘纸等以外的纸无尘纸等以外的纸張張书写用具书写用具,如铅笔、橡皮擦、弹簧结构的笔及钢笔等如铅笔、橡皮擦、弹簧结构的笔及钢笔等.香烟、火柴
19、、打火机香烟、火柴、打火机食品、口香糖食品、口香糖浓妆及上胶的头发浓妆及上胶的头发小型收音机、小型收音机、CDCD随身听手机等随身听手机等.，防碍工作的物品或会产，防碍工作的物品或会产生灰尘的私人物品生灰尘的私人物品 设备搬入与清洗设备搬入与清洗工具、器具、消耗品搬入与清潔工具、器具、消耗品搬入与清潔工程用药品搬入与清洗工程用药品搬入与清洗工程用各种器材搬入与清洗工程用各种器材搬入与清洗C/Room C/Room 携入物品管理携入物品管理工作工作时须注意注意动作不要太大作不要太大并并细心地心地规定完成定完成禁止跳禁止跳跃、跑跑步及脚步及脚扦地而走，地而走，挥动手臂或不必要的手臂或不必要的动作等
20、作等禁止携禁止携带香烟或香烟或饮料料进入食用入食用工作服及手套依工作服及手套依规定更定更换穿戴工作服及手套穿戴工作服及手套时，不可有皮，不可有皮肤肤外露的情形外露的情形头发不可外露且一定要使用面不可外露且一定要使用面罩罩手套使用后，由于不能确定是否手套使用后，由于不能确定是否洁净，因此，因此请勿任意勿任意触碰触碰物品、衣服及身体等物品、衣服及身体等在在洁净室室内内要要将将防防尘衣的拉衣的拉链拉起拉起所有的工作都必须在洁净的工作室中进行所有的工作都必须在洁净的工作室中进行所有工具、机具、文具用品使用完后，所有工具、机具、文具用品使用完后，请放回原位放回原位所有工具、机具、文具用品若会产生污染物质
21、的话，请勿使用所有工具、机具、文具用品若会产生污染物质的话，请勿使用经经常洗手常洗手请勿上勿上浓妆及擦指甲油及擦指甲油(只容只容许淡淡妆)不可配戴戒指、手不可配戴戒指、手镯、手表等、手表等作作业前工作台及工具前工作台及工具须用乙醇用乙醇清清洁工作工作结束后要束后要将将所有的所有的垃垃圾圾清清出出并并整理工作台及整理工作台及个个人用品人用品工作区内灰尘的产生，会造成产品不良的情况，所维持无尘室的洁净非常重要工作区内灰尘的产生，会造成产品不良的情况，所维持无尘室的洁净非常重要(Clean Room 1000Class)(Clean Room 1000Class)6.6.无尘室内行动准则无尘室内行动
22、准则无尘室内行动准则无尘室内行动准则5S 5S 固定固定动动作作无尘室内注意事项无尘室内注意事项整理整理整顿整顿清扫清扫整洁整洁纪律纪律(习惯性习惯性)1.1.进进入无入无尘尘室室时时进入前先脱鞋并置于指定的鞋柜内在更衣室将工作服及个人携带物品置于置物箱保管依照使用说明穿着防尘服通过Air Shower清洗后，再进入无尘室(此时在擦鞋垫上将防尘鞋底部的灰尘除去)2.2.防防尘尘服使用服使用顺顺序序防尘服不可接触地面，以站姿由下而上的方式穿着，此时不要将拉链拉上戴上防尘帽后，将脖子包裹住，并把头发塞进防尘帽内将防尘服的拉链拉到脖子的部份穿上防尘鞋为了防止手腕部份的皮肤外露，穿着胶质手套时，将手套
23、塞入防尘衣内照镜子确认穿着无误通过Air Shower后慢慢地进入尘室无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理无尘室的维持管理请遵守以下的出入规定请遵守以下的出入规定3.Air Shower 3.Air Shower 使用方法使用方法慢慢地入Shower室，进行清洗不可任意更改Air Shower内的风向所有装置设定好后，禁止非保管人任意调整Air Shower 动作停止后三秒内再进入无尘室(因为浮游中的分子可能侵入无尘室内)Air Shower 前后在地板上都有擦鞋垫，将防尘鞋底部的灰尘清除后再进入4.4.离离开开除除尘尘室室时时离离开开无无尘室的要室的要领顺序和序和进入无入无尘室室
24、时相反相反从无尘室到出来更衣室前禁止脱去身上的衣服脱去胶质手套后，置于指定的位置将防尘鞋收好，放入鞋柜内保管将防尘服依同一方向吊挂在挂钩上，并拉上拉链，严禁掉到地板上整理完后，即可离开顺序顺序脱鞋脱鞋衣物衣物/个人物品保管个人物品保管换上防尘服及防尘鞋换上防尘服及防尘鞋洗手洗手Air showerAir shower进入无尘室进入无尘室场所场所玄关玄关Rock RoomRock Room更衣室更衣室无尘室无尘室洁净度洁净度一般管理区域一般管理区域低洁净区域低洁净区域中洁净区域中洁净区域高洁净区域高洁净区域进入无尘室的顺序进入无尘室的顺序进入无尘室的顺序进入无尘室的顺序 7.7.7.7.无尘室用
25、品及作业用具管理无尘室用品及作业用具管理无尘室用品及作业用具管理无尘室用品及作业用具管理1.1.无无尘尘室衣服管理室衣服管理无尘室的专用衣物会产生灰尘的主要原因之一，是平常使用时的毁损或污染，应特别注意。防尘服材质的条件防尘服材质的条件防尘服防尘服:使用较少产生灰尘的化学纤维材质，但必须要经过使用较少产生灰尘的化学纤维材质，但必须要经过防静电的处理防静电的处理防尘帽防尘帽:须将头发和额头、耳朵等部份完全覆盖须将头发和额头、耳朵等部份完全覆盖:防尘鞋防尘鞋:穿入防尘鞋时，橡胶皮带不可滑落穿入防尘鞋时，橡胶皮带不可滑落面罩面罩:将口、鼻、下巴完全遮住，使灰尘不易通过将口、鼻、下巴完全遮住，使灰尘不
26、易通过手套手套:一般是用橡胶手套材质软且触感较好，为了遮住手腕一般是用橡胶手套材质软且触感较好，为了遮住手腕部份，所以手套一定要长部份，所以手套一定要长衣服的管理衣服的管理新品新品/清洗后的检查清洗后的检查 :检查制作是否符合标准及清洗状况检查制作是否符合标准及清洗状况更换更换/分发分发 :依使用时间来决定依使用时间来决定进进/出无尘室出无尘室:观察是否遵守规定，并予以指导观察是否遵守规定，并予以指导丢弃丢弃/修补修补 :依毁损或污染的情况加以处理依毁损或污染的情况加以处理清洗清洗 :定期清洗定期清洗(两周一回两周一回)保管保管:放入指定的密闭处保管放入指定的密闭处保管2.2.无尘室用作业器具
27、管理无尘室用作业器具管理在无尘室内的作业器具和一般工作场所使用的器具，在材质价格构造及用途等有很大的差异，因此禁止使用会影响洁净度材质的器具作业器具的种类，主要使用不锈钢材质作业器具的种类，主要使用不锈钢材质(Stainless)(Stainless)工作台工作台 :低静电材质，多孔及无抽屉构造低静电材质，多孔及无抽屉构造.椅子椅子:无靠手、可回转及调整高度无靠手、可回转及调整高度推车推车:耐磨损材质、密闭式滚珠耐磨损材质、密闭式滚珠文具用品文具用品 :使用无尘纸、影印过的无尘纸原则上禁止带入使用无尘纸、影印过的无尘纸原则上禁止带入垃圾桶垃圾桶 :洁净度高的区域，尽量不要设置垃圾桶洁净度高的区
28、域，尽量不要设置垃圾桶真空吸尘器真空吸尘器:使用无尘室专用的真空吸尘器使用无尘室专用的真空吸尘器.8.8.无尘室的清洁无尘室的清洁无尘室的清洁无尘室的清洁为了保持清洁度，虽然对员工的训练及宣导出入守则及注意事项，但污染源仍旧会附着在人或物品上侵入到室内，为了保持清洁度，虽然对员工的训练及宣导出入守则及注意事项，但污染源仍旧会附着在人或物品上侵入到室内，滤净器持续地过滤污染源，在经济效益和时间上都受到极大的损失，因此只有不断的清洁来消除这些污染源滤净器持续地过滤污染源，在经济效益和时间上都受到极大的损失，因此只有不断的清洁来消除这些污染源 。清洁时注意事项由于空气在下面活动，因此墙板、设备、屏风
29、等，上面的清洁很重要清洁剂主要有 D.I Water、乙醇、酒精等.清洁用具只有无尘室专用的工具才能有效防治污染.(专用吸尘器、净毛工具、拖把等)作业开始前及结束后，清理工作台、工具、地板等，大约五分钟的时间一周一次实施大扫除，从墙板、地板到隔离室上面做全面的清扫，管理员要做好监督的工作大扫除除了要手无法触及的地方外，要彻底清扫及维持清洁更衣室、Pass Box、器材仓库等，一周要清扫一次以上工作时要经常清洁工具，如(铗子、滚筒等)，净毛工具每次使用前要更换以防止污染空调设备一定要定期的检查及委托厂商清洗定期检查无尘室内的洁净度无尘室的洁净度非常重要，尤其是作业员在这方面的知识训练要特别要求无
30、尘室内要常保恒温、湿度，因背光产品的特性会随温、湿度的不同而产生不同的问题如下：随着温、湿度的差异而受静电的影响会导致薄片、导光板及产品的弯折变形可能导致无尘室内污染物资的沉积静电是两个物体相互磨擦或诱导现象所产生的静电会导致两物体的接触、分离物体变形、电离子的附着、产生放射线、引起化学变化等。静电的障碍吸入力:两物体是异极性时由于吸力的作用会把异物、灰尘等吸附在制品上(B/L的问题点)反作用力:两物体是同极性时由于反作用力的作用在导体物的表面产生静电诱导现象产生电荷静电(带电)电荷外泄减压测定阻力电荷电位测定解决方法接地接地:工作台及设备接地工作台及设备接地中和电荷中和电荷 :ION GUN/Blower:ION GUN/Blower增加湿度增加湿度 :利用加湿机利用加湿机防导电材质防导电材质 :包装袋外层使用包装袋外层使用 9.9.无尘室的温、湿度管理无尘室的温、湿度管理无尘室的温、湿度管理无尘室的温、湿度管理管理管理规定：定：温温度度 =222(2024)=222(2024)湿湿度度 =55%5%(50%60%)=55%5%(50%60%)B/LB/L与静与静电电的的关关系系