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1、。-可编辑修改-第三章、器件一、超深亚微米工艺条件下MOS 管主要二阶效应:1、速度饱和效应:主要出现在短沟道NMOS管,PMOS 速度饱和效应不显著。主要原因是THGSVV太大。在沟道电场强度不高时载流子速度正比于电场强度(),即载流子迁移率是常数。但在电场强度很高时载流子的速度将由于散射效应而趋于饱和,不再随电场强度的增加而线性增加。此时近似表达式为:(c),csat(c),出现饱和速度时的漏源电压DSATV是一个常数。线性区的电流公式不变,但一旦达到DSATV,电流即可饱和,此时DSI与GSV成线性关系(不再是低压时的平方关系)。2、Latch-up效应:由于单阱工艺的NPNP 结构,可
2、能会出现VDD 到 VSS 的短路大电流。正反馈机制:PNP 微正向导通,射集电流反馈入NPN 的基极,电流放大后又反馈到PNP的基极,再次放大加剧导通。克服的方法:1、减少阱/衬底的寄生电阻,从而减少馈入基极的电流,于是削弱了正反馈。2、保护环。3、短沟道效应:在沟道较长时,沟道耗尽区主要来自MOS 场效应,而当沟道较短时,漏衬结(反偏)、源衬结的耗尽区将不可忽略,即栅下的一部分区域已被耗尽,只需要一个较小的阈值电压就足以引起强反型。所以短沟时VT 随 L 的减小而减小。-可编辑修改-此外,提高漏源电压可以得到类似的效应,短沟时VT 随 VDS 增加而减小,因为这增加了反偏漏衬结耗尽区的宽度
3、。这一效应被称为漏端感应源端势垒降低。4、漏端感应源端势垒降低(DIBL):VDS 增加会使源端势垒下降,沟道长度缩短会使源端势垒下降。VDS 很大时反偏漏衬结击穿,漏源穿通,将不受栅压控制。5、亚阈值效应(弱反型导通):当电压低于阈值电压时MOS 管已部分导通。不存在导电沟道时源(n+)体(p)漏(n+)三端实际上形成了一个寄生的双极性晶体管。一般希望该效应越小越好,尤其在依靠电荷在电容上存储的动态电路,因为其工作会受亚阈值漏电的严重影响。绝缘体上硅(SOI)6、沟长调制:长沟器件:沟道夹断饱和;短沟器件:载流子速度饱和。7、热载流子效应:由于器件发展过程中,电压降低的幅度不及器件尺寸,导致
4、电场强度提高,使得电子速度增加。漏端强电场一方面引起高能热电子与晶格碰撞产生电子空穴对,从文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编
5、码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E
6、9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J
7、2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10
8、O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3
9、F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU1
10、0Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1文档编码:CA3E9Y2L5J2 HP10O1W4S3F6 ZU10Y5I2J1G1。-可编辑修改-而形成衬底电流,另一方面使电子隧穿到栅氧中,形成栅电流并改变阈
11、值电压。影响:1、使器件参数变差,引起长期的可靠性问题,可能导致器件失效。2、衬底电流会引入噪声、Latch-up、和动态节点漏电。解决:LDD(轻掺杂漏):在漏源区和沟道间加一段电阻率较高的轻掺杂n-区。缺点是使器件跨导和IDS 减小。8、体效应:衬底偏置体效应、衬底电流感应体效应(衬底电流在衬底电阻上的压降造成衬偏电压)。二、MOSFET 器件模型1、目的、意义:减少设计时间和制造成本。2、要求:精确;有物理基础;可扩展性,能预测不同尺寸器件性能;高效率性,减少迭代次数和模拟时间3、结构电阻:沟道等效电阻、寄生电阻4、结构电容:三、特征尺寸缩小目的:1、尺寸更小;2、速度更快;3、功耗更低
12、;4、成本更低、方式:1、恒场律(全比例缩小),理想模型,尺寸和电压按统一比例缩小。优点:提高了集成密度未改善:功率密度。文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7
13、ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H
14、6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X1
15、0文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:
16、CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P
17、5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4
18、HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10。-可编辑修改-问题:1、电流密度增加;2、V
19、TH 小使得抗干扰能力差;3、电源电压标准改变带来不便;4、漏源耗尽层宽度不按比例缩小。2、恒压律,目前最普遍,仅尺寸缩小,电压保持不变。优点:1、电源电压不变;2、提高了集成密度问题:1、电流密度、功率密度极大增加;2、功耗增加;3、沟道电场增加,将产生热载流子效应、速度饱和效应等负面效应;4、衬底浓度的增加使PN 结寄生电容增加,速度下降。3、一般化缩小,对今天最实用,尺寸和电压按不同比例缩小。限制因素:长期使用的可靠性、载流子的极限速度、功耗。第四章、导线及互连一、确定并量化互连参数1、互连寄生参数(寄生R、L、C)对电路特性的影响主要表现在三个方面:性能下降,传播延时增加;功耗增加,影
20、响能耗和功率的分布;引起额外的噪声来源,影响电路可靠性。2、寄生参数简化条件(寄生电阻、寄生电感、寄生电容(对地电容,线间电容):若导线电阻大,可以不考虑电感,只考虑电阻电容;若导线电阻小且短,可以只考虑电容;若导线电阻小且长,则需考虑电感电容;若导线平均间距很大,可以不考虑线间电容。3、互连电阻:wtlR:纵向参数 t、由工艺决定,横向参数l、w 由版图决定。互连电阻越小,允许通过互连线的电流越大,互连延迟越小。薄层电阻tRS与版图尺寸无关,则wlRRS=nRS(n 为薄层电阻方块数):文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P
21、5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4
22、HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T
23、1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7
24、ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H
25、6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X1
26、0文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:
27、CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10。-可编辑修改-接触电阻:互连与硅及多晶之间的接触(有源接触孔)、不同互连层之间的接触(通孔)减低接触电阻的途径:增大接触孔(效果不明显);增多接触孔;信号线尽量保持在同一层。0.25umCMOS工艺接触电阻典型值:有源接触孔520,通孔 15。趋肤效应:在非常高频率下,电
28、流主要在导体表面流动,其电流密度随进入导体深度而指数下降。趋肤深度:电流下降到额定值的1/e时所处的深度。临界频率:趋肤深度达到导体最大尺寸(w 或 t)的 1/2 时的频率。4、互连电容:导线对衬底的电容:是电路负载电容的一部分。不考虑边缘效应时C=OXOXtwl(若 wt),文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6
29、H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X
30、10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码
31、:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5
32、P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4
33、 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6
34、T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7
35、 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10。-可编辑修改-OX是绝缘介质(氧化层)的介电常数,OXt是氧化层厚度。导线间的电容:5、互连电感:何时考虑:很长的互连线;极高的频率1GHz;低电阻率互连材料如Cu。对电路性能影响:振荡和过冲效应;导线间电感耦合;V=Ldi/dt引起的开关噪声;阻抗失配引起的信号反射。电感值估算:一条导线(每单位长度)的电容c 和电感 l 存在cl关系式(成立的条件是该导线必须完全被均匀的绝缘介质所包围,但不满足时也可使用来求近似值)。二、互连线延时模型1、分布模型:电阻和电容沿线长连续分布,是实
36、际情形,但需要解偏微分方程。2、集总模型:以总电阻和总对地电容等效。适用于导线较短且频率不十分高的情况,只需解常微分方程。对长互连线是一个保守和不精确的模型。为解决集总模型对于长互连线不精确,采取分段集总(分段数越多越精确,但模型越复杂,模拟所需时间越长)。引入:3、RC 树、Elmore延时公式:RC 树:该电路只有一个输入节点,所有电容都在某个节点和地之间,不包含任何电阻回路(使其成为树结构)。Elmore延时公式:节点 i 处延时为NkikkDiRC1,iiR表示路径电阻,ikR表示共享路径电阻,代表从输入节点s 到节点 i 和节点 k 这两条路径共享的电阻,iC代表这个节点的电容。4、
37、N 级 RC 链:RC 树的无分支的特殊情形。可以使用N 级等分 RC 链 来近似一条 均匀分文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文
38、档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU
39、3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X
40、4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM
41、6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W
42、1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ
43、6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10。-可编辑修改-布电阻-电容线:NNRCDN21,导线长L,单位长度电阻、
44、电容为r、c。R(=rL)是导线集总电阻,C(=cL)是集总电容。当 N 很大时模型趋于分布式rc 线:222rcLRCDN,从而有:一条导线的延时与其长度的平方成正比,分布rc 线的延时是集总RC 模型预测的延时的一半,即集总模型代表保守估计。5、互连延时的优化:采用低电阻率互连导体,降低R:采用 Cu 替换 Al。采用低介电常数的互连介质,降低C:将减少延时、功耗和串扰。采用过渡金属硅化物,降低多晶接触电阻。增加互连层数量,有助于减少导线长度。分层优化。地址线对策。优化走线方式,45 布线。插入中继器。降低电压摆幅,既缩小了延时又减小了动态功耗。三、传输线模型当开关速度足够快,互连线的电阻
45、足够小时,导线的电感将不可忽略,因而必须考虑传输线效应。一条导线的分布rlc 模型称为 传输线模型。1、有损传输线:考虑 r、l、c,适用于Al 基芯片。2、无损传输线:考虑 l、c,适用于 Cu 基芯片。单位长度的传输延时lctp。信号反射与终端阻抗:终端阻抗决定了当波到达导线末端时有多少比例被反射。文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6
46、T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7
47、 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6
48、H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X
49、10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码:CU3G5P5X4T4 HM6V6T1W1R7 ZZ6A6H6X10X10文档编码
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