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1、泓域咨询/濮阳关于成立刻蚀设备公司可行性报告濮阳关于成立刻蚀设备公司可行性报告xx有限责任公司目录第一章 筹建公司基本信息8一、 公司名称8二、 注册资本8三、 注册地址8四、 主要经营范围8五、 主要股东8公司合并资产负债表主要数据9公司合并利润表主要数据9公司合并资产负债表主要数据10公司合并利润表主要数据11六、 项目概况11第二章 公司组建方案15一、 公司经营宗旨15二、 公司的目标、主要职责15三、 公司组建方式16四、 公司管理体制16五、 部门职责及权限17六、 核心人员介绍21七、 财务会计制度22第三章 背景及必要性28一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术28二、 离子束刻蚀
2、29三、 等离子体刻蚀面临的问题30四、 打造高水平开放前沿30五、 项目实施的必要性34第四章 市场预测35一、 高密度等离子体刻蚀35二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向36三、 反应离子刻蚀39第五章 法人治理41一、 股东权利及义务41二、 董事43三、 高级管理人员48四、 监事50第六章 发展规划53一、 公司发展规划53二、 保障措施54第七章 选址分析57一、 项目选址原则57二、 建设区基本情况57三、 建设省际区域中心61四、 项目选址综合评价64第八章 项目环境影响分析65一、 编制依据65二、 环境影响合理性分析65三、 建设期大气环境影响分析66四、 建设期水环境影响分
3、析67五、 建设期固体废弃物环境影响分析67六、 建设期声环境影响分析68七、 建设期生态环境影响分析69八、 清洁生产69九、 环境管理分析70十、 环境影响结论72十一、 环境影响建议72第九章 风险评估74一、 项目风险分析74二、 项目风险对策76第十章 经济效益及财务分析79一、 经济评价财务测算79营业收入、税金及附加和增值税估算表79综合总成本费用估算表80固定资产折旧费估算表81无形资产和其他资产摊销估算表82利润及利润分配表83二、 项目盈利能力分析84项目投资现金流量表86三、 偿债能力分析87借款还本付息计划表88第十一章 投资方案分析90一、 投资估算的依据和说明90二
4、、 建设投资估算91建设投资估算表93三、 建设期利息93建设期利息估算表93四、 流动资金94流动资金估算表95五、 总投资96总投资及构成一览表96六、 资金筹措与投资计划97项目投资计划与资金筹措一览表97第十二章 进度计划方案99一、 项目进度安排99项目实施进度计划一览表99二、 项目实施保障措施100第十三章 项目综合评价101第十四章 补充表格103主要经济指标一览表103建设投资估算表104建设期利息估算表105固定资产投资估算表106流动资金估算表106总投资及构成一览表107项目投资计划与资金筹措一览表108营业收入、税金及附加和增值税估算表109综合总成本费用估算表110
5、固定资产折旧费估算表111无形资产和其他资产摊销估算表111利润及利润分配表112项目投资现金流量表113借款还本付息计划表114建筑工程投资一览表115项目实施进度计划一览表116主要设备购置一览表117能耗分析一览表117报告说明xx有限责任公司主要由xxx有限公司和xx（集团）有限公司共同出资成立。其中：xxx有限公司出资477.00万元，占xx有限责任公司45%股份；xx（集团）有限公司出资583万元，占xx有限责任公司55%股份。根据谨慎财务估算，项目总投资23289.79万元，其中：建设投资18877.08万元，占项目总投资的81.05%；建设期利息402.09万元，占项目总投资的
6、1.73%；流动资金4010.62万元，占项目总投资的17.22%。项目正常运营每年营业收入43200.00万元，综合总成本费用33737.41万元，净利润6926.75万元，财务内部收益率22.57%，财务净现值11526.74万元，全部投资回收期5.73年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。在先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同，等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀（CCP）、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡（ECR）和双等离子体源。本报告基于可信的公开资料，参考
7、行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。第一章 筹建公司基本信息一、 公司名称xx有限责任公司（以工商登记信息为准）二、 注册资本1060万元三、 注册地址濮阳xxx四、 主要经营范围经营范围：从事刻蚀设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）五、 主要股东xx有限责任公司主要由xxx有限公司和xx（集团）有限公司发起成立。（一）xxx有限公司基本情况1、公司简介公司全面推行“政府、市场、投资、消费、经营、企业”六位一体
8、合作共赢的市场战略，以高度的社会责任积极响应政府城市发展号召，融入各级城市的建设与发展，在商业模式思路上领先业界，对服务区域经济与社会发展做出了突出贡献。 公司坚持提升企业素质，即“企业管理水平进一步提高，人力资源结构进一步优化，人员素质进一步提升，安全生产意识和社会责任意识进一步增强，诚信经营水平进一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素质企业员工，企业品牌影响力不断提升。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额10149.328119.467611.99负债总额4044.363235.493033.27股东权益合计6104.964
9、883.974578.72公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入25090.3620072.2918817.77营业利润5843.494674.794382.62利润总额5316.864253.493987.64净利润3987.643110.362871.10归属于母公司所有者的净利润3987.643110.362871.10（二）xx（集团）有限公司基本情况1、公司简介未来，在保持健康、稳定、快速、持续发展的同时，公司以“和谐发展”为目标，践行社会责任，秉承“责任、公平、开放、求实”的企业责任，服务全国。公司不断推动企业品牌建设，实施品牌战略，增强品牌意识，提
10、升品牌管理能力，实现从产品服务经营向品牌经营转变。公司积极申报注册国家及本区域著名商标等，加强品牌策划与设计，丰富品牌内涵，不断提高自主品牌产品和服务市场份额。推进区域品牌建设，提高区域内企业影响力。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额10149.328119.467611.99负债总额4044.363235.493033.27股东权益合计6104.964883.974578.72公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入25090.3620072.2918817.77营业利润5843.494674.
11、794382.62利润总额5316.864253.493987.64净利润3987.643110.362871.10归属于母公司所有者的净利润3987.643110.362871.10六、 项目概况（一）投资路径xx有限责任公司主要从事关于成立刻蚀设备公司的投资建设与运营管理。（二）项目提出的理由刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等
12、方面具有较大的优势。综合考虑国内外环境与濮阳发展基础，坚持目标导向和问题导向相结合、守正和创新相统一，今后五年要努力实现主要经济指标年均增速高于全省平均水平，城乡居民收入与生产总值同步增长、生态环境质量与经济效益质量同步改善、社会事业进步与经济发展水平同步提高。产业发展迈出新步伐。产业基础高级化和产业链现代化水平显著提升，以推动制造业高质量发展和新经济培育为主导，构建现代产业体系，培育形成1个千亿级产业集群、3个500亿级产业集群和一批百亿级产业集群。创新能力实现新突破。研发经费投入强度增幅超过全省平均水平，创新主体和人才活力持续激发，科研成果转化质量和效率明显提升，战略性新兴产业和高技术产业
13、规模倍增发展。（三）项目选址项目选址位于xx园区，占地面积约48.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）生产规模项目建成后，形成年产xx套刻蚀设备的生产能力。（五）建设规模项目建筑面积62835.20，其中：生产工程45711.36，仓储工程6832.13，行政办公及生活服务设施6769.15，公共工程3522.56。（六）项目投资根据谨慎财务估算，项目总投资23289.79万元，其中：建设投资18877.08万元，占项目总投资的81.05%；建设期利息402.09万元，占项目总投资的1.73%；流动资金4010.
14、62万元，占项目总投资的17.22%。（七）经济效益（正常经营年份）1、营业收入（SP）：43200.00万元。2、综合总成本费用（TC）：33737.41万元。3、净利润（NP）：6926.75万元。4、全部投资回收期（Pt）：5.73年。5、财务内部收益率：22.57%。6、财务净现值：11526.74万元。（八）项目进度规划项目建设期限规划24个月。（九）项目综合评价综上所述，该项目属于国家鼓励支持的项目，项目的经济和社会效益客观，项目的投产将改善优化当地产业结构，实现高质量发展的目标。第二章 公司组建方案一、 公司经营宗旨依据有关法律、法规，自主开展各项业务，务实创新，开拓进取，不断提
15、高产品质量和服务质量，改善经营管理，促进企业持续、稳定、健康发展，努力实现股东利益的最大化，促进行业的快速发展。二、 公司的目标、主要职责（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。（二）主要职责1
16、、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、刻蚀设备行业发展规划和市场需求，制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、深化企业改革，加快结构调整，转换企业经营机制，建立现代企业制度，强化内部管理，促进企业可持续发展。4、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设，统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产，搞好公司企业文化建设。5、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下，公司可依照公司法等有关规定，集中资产收益，用于再投入和结构调整。三、 公司组建方式xx有限责任公司主要由xxx有限公
17、司和xx（集团）有限公司共同出资成立。其中：xxx有限公司出资477.00万元，占xx有限责任公司45%股份；xx（集团）有限公司出资583万元，占xx有限责任公司55%股份。四、 公司管理体制xx有限责任公司实行董事会领导下的总经理负责制，各部门按其规定的职能范围，履行各自的管理服务职能，而且直接对总经理负责；公司建立完善的营销、供应、生产和品质管理体系，确立各部门相应的经济责任目标，加强产品质量和定额目标管理，确保公司生产经营正常、有效、稳定、安全、持续运行，有力促进企业的高效、健康、快速发展。总经理的主要职责如下：1、全面领导企业的日常工作；对企业的产品质量负责；向本公司职工传达满足顾客
18、和法律法规要求的重要性；2、制定并正式批准颁布本公司的质量方针和质量目标，采取有效措施，保证各级人员理解质量方针并坚持贯彻执行；3、负责策划、建立本公司的质量管理体系，批准发布本公司的质量手册；4、明确所有与质量有关的职能部门和人员的职责权限和相互关系；5、确保质量管理体系运行所必要的资源配备；6、任命管理者代表，并为其有效开展工作提供支持；7、定期组织并主持对质量管理体系的管理评审，以确保其持续的适宜性、充分性和有效性。五、 部门职责及权限（一）综合管理部1、协助管理者代表组织建立文件化质量体系，并使其有效运行和持续改进。2、协助管理者代表，组织内部质量管理体系审核。3、负责本公司文件（包括
19、记录）的管理和控制。4、负责本公司员工培训的管理，制订并实施员工培训计划。5、参与识别并确定为实现产品符合性所需的工作环境，并对工作环境中与产品符合性有关的条件加以管理。（二）财务部1、参与制定本公司财务制度及相应的实施细则。2、参与本公司的工程项目可信性研究和项目评估中的财务分析工作。3、负责董事会及总经理所需的财务数据资料的整理编报。4、负责对财务工作有关的外部及政府部门，如税务局、财政局、银行、会计事务所等联络、沟通工作。5、负责资金管理、调度。编制月、季、年度财务情况说明分析，向公司领导报告公司经营情况。6、负责销售统计、复核工作，每月负责编制销售应收款报表，并督促销售部及时催交楼款。
20、负责销售楼款的收款工作，并及时送交银行。7、负责每月转账凭证的编制，汇总所有的记账凭证。8、负责公司总长及所有明细分类账的记账、结账、核对，每月5日前完成会计报表的编制，并及时清理应收、应付款项。9、协助出纳做好楼款的收款工作，并配合销售部门做好销售分析工作。10、负责公司全年的会计报表、帐薄装订及会计资料保管工作。11、负责银行财务管理，负责支票等有关结算凭证的购买、领用及保管，办理银行收付业务。12、负责先进管理，审核收付原始凭证。13、负责编制银行收付凭证、现金收付凭证，登记银行存款及现金日记账，月末与银行对账单和对银行存款余额，并编制余额调节表。14、负责公司员工工资的发放工作，现金收
21、付工作。（三）投资发展部1、调查、搜集、整理有关市场信息，并提出投资建议。2、拟定公司年度投资计划及中长期投资计划。3、负责投资项目的储备、筛选、投资项目的可行性研究工作。4、负责经董事会批准的投资项目的筹建工作。5、按照国家产业政策，负责公司产业结构、投资结构的调整。6、及时完成领导交办的其他事项。（四）销售部1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标，并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标，明确营销策略，制定营销计划和拓展销售网络，并对任务进行分解，策划组织实施销售工作，确保实现预期目标。3、负责收集市场信息，分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等，并定期将信息报送商务发
22、展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收，并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户，整理和归纳客户资料，掌握客户情况，进行有效的客户管理。6、制定并组织填写各类销售统计报表，并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测，建立起牢固可靠的物资供应网络，不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息，并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估，根据公司需求计划，编制与之相配套的采购计划，并进行采购谈判和产品采购，保证产品供应及时，确保产品价格合理、质量符合要求。9、建立发运流程，设计最佳运输路线、运输工具，选择合格的运输商，严格按公司下达的发运
23、成本预算进行有效管理，定期分析费用开支，查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作，不断培养、挖掘、引进销售人才，建设高素质的销售队伍。六、 核心人员介绍1、胡xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971年出生，本科学历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。2、袁xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。20
24、18年3月至今任公司董事。3、龙xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。4、段xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。5、莫xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限
25、责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。6、黎xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。7、王xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。8、江xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。七、 财务会计制度（一）财务会计制度1、公司依照法律、行政法规和
26、国家有关部门的规定，制定公司的财务会计制度。上述财务会计报告按照有关法律、行政法规及部门规章的规定进行编制。2、公司除法定的会计账簿外，将不另立会计账簿。公司的资产，不以任何个人名义开立账户存储。3、公司分配当年税后利润时，应当提取利润的10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的，在依照前款规定提取法定公积金之前，应当先用当年利润弥补亏损。公司从税后利润中提取法定公积金后，经股东大会决议，还可以从税后利润中提取任意公积金。公司弥补亏损和提取公积金后所余税后利润，按照股东持有的股份比例分配，但本章程规定不按持
27、股比例分配的除外。股东大会违反前款规定，在公司弥补亏损和提取法定公积金之前向股东分配利润的，股东必须将违反规定分配的利润退还公司。公司持有的本公司股份不参与分配利润。4、公司的公积金用于弥补公司的亏损、扩大公司生产经营或者转为增加公司资本。但是，资本公积金将不用于弥补公司的亏损。法定公积金转为资本时，所留存的该项公积金将不少于转增前公司注册资本的25%。5、公司股东大会对利润分配方案作出决议后，公司董事会须在股东大会召开后2个月内完成股利（或股份）的派发事项。6、公司利润分配政策为：（1）公司应重视对投资者的合理投资回报，利润分配政策应保持连续性和稳定性，公司经营所得利润将首先满足公司经营需要
28、。公司每年根据经营情况和市场环境，充分考虑股东的利益，实行合理的股利分配方案。（2）董事会应当综合考虑所处行业特点、发展阶段、自身经营模式、盈利水平以及是否有重大资金支出安排等因素，区分下列情形，并按照公司章程规定的程序，提出差异化的现金分红政策：公司发展阶段属成熟期且无重大资金支出安排的，进行利润分配时，现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到80%；公司发展阶段属成熟期且有重大资金支出安排的，进行利润分配时，现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到40%；公司发展阶段属成长期且有重大资金支出安排的，进行利润分配时，现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到20%；公司发展阶段不易区分但
29、有重大资金支出安排的，可以按照前项规定处理。（3）在符合现金分红的条件下，公司优先采取现金分红的股利分配政策，即：公司当年度实现盈利，在弥补上一年度的亏损，依法提取法定公积金、任意公积金后进行现金分红，单一以现金方式分配的利润不少于当年度实现的可分配利润的10%。在公司当年未实现盈利情况下，公司不进行现金利润分配，同时需经公司董事会、股东大会审议通过。若公司业绩增长快速，并且董事会认为公司公司在制定现金分红具体方案时，董事会应当认真研究和论证公司现金分红的时机、条件和最低比例、调整的条件及其决策程序要求等事宜，独立董事应当发表明确意见。独立董事可以征集中小股东的意见，提出分红提案，并直接提交董
30、事会审议。股东大会对现金分红具体方案进行审议前，公司应当通过多种渠道主动与股东特别是中小股东进行沟通和交流，充分听取中小股东的意见和诉求，并及时答复中小股东关心的问题。董事会在决策和形成利润分配预案时，要详细记录管理层建议、参会董事的发言要点、独立董事意见、董事会投票表决情况等内容，并形成书面记录作为公司档案妥善保存。公司应当严格执行本章程确定的现金分红政策以及股东大会审议批准的现金分红具体方案。确有必要对本章程确定的现金分红政策进行调整或者变更的，应当满足本章程规定的条件，经过详细论证后，履行相应的决策程序，并经出席股东大会的股东（包括股东代理人）所持表决权的2/3以上通过。（4）股东违规占
31、用公司资金的，公司应当扣减该股东所分配的现金红利，以偿还其占用的资金。（二）内部审计1、公司实行内部审计制度，配备专职审计人员，对公司财务收支和经济活动进行内部审计监督。2、公司内部审计制度和审计人员的职责，应当经董事会批准后实施。审计负责人向董事会负责并报告工作。（三）会计师事务所的聘任1、公司聘用会计师事务所必须由股东大会决定，董事会不得在股东大会决定前委任会计师事务所。2、公司保证向聘用的会计师事务所提供真实、完整的会计凭证、会计账簿、财务会计报告及其他会计资料，不得拒绝、隐匿、谎报。3、会计师事务所的审计费用由股东大会决定。4、公司解聘或者不再续聘会计师事务所时，提前20天事先通知会计
32、师事务所，公司股东大会就解聘会计师事务所进行表决时，允许会计师事务所陈述意见。会计师事务所提出辞聘的，应当向股东大会说明公司有无不当情形。第三章 背景及必要性一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术刻蚀设备处于半导体产业链上游环节。半导体产业链的上游由为设计、制造和封测环节提供软件及知识产权、硬件设备、原材料等生产资料的核心产业组成。半导体产业链的中游可以分为半导体芯片设计环节、制造环节和封装测试环节。半导体产业链的下游为半导体终端产品以及其衍生的应用、系统等。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，并保证有图形的光刻胶在
33、刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。常用来代表刻蚀效率的参数主要有：刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度；刻蚀剖面指的是刻蚀图形的侧壁形状，通常分为各向同性和各向异性剖面；刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化，通常由横向钻蚀引起；选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比，高选择比意味着不需要的材料会被刻除。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用
34、于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅，氯和氟刻蚀铝，氯、氟和溴刻蚀硅，氧去除光刻胶。二、 离子束刻蚀离子束刻蚀（IBE）是具有较强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。他能对小尺寸图型产生各向异性刻蚀，等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子体
35、腔内。电磁场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动是的电子与氩原子产生多次碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从带格栅电极的等离子体源中引出并用一套校准的电极来形成高密度束流。离子束刻蚀主要用于金、铂、铜等较难刻蚀的材料。优势在于硅片可以倾斜以获取不同的侧壁形状。但也面临低选择比和低刻蚀速率的问题。三、 等离子体刻蚀面临的问题随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DD等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，
36、很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。在这种情况下，一个等离子体刻蚀机应装上一个终点检测系统，使得在造成最小的过刻蚀时停止刻蚀过程。当下一层材料正好露出来时，重点检测器会触发刻蚀机控制器而停止刻蚀。四、 打造高水平开放前沿深入实施开放活市战略，积极参与共建“一带一路”，持续强化区域合作，增强开放内外联动性，发展壮大开放型经济，推动濮阳由区划边缘变区域枢纽、开放前沿。（一）完善对外开放载体积极融入省“四条丝绸之路”，加强与天津、青岛、日照等港口联系，联动参
37、与郑州航空港经济综合实验区产业分工，对接中欧班列（郑州），加快建设中原国际陆港等项目，大力发展公铁海联运，畅通出海通道。推动跨境电商多点集聚发展，探索创新贸易方式和海关商检监管模式，打造重要的省际交会进出口商品集散地。加强口岸建设，积极对接省自由贸易试验区，争取建设自贸区联动发展区。加快发展“保税+”新型贸易，建成濮阳濮昇保税物流中心（B型），支持有条件的企业申建保税仓库。加快日照港台前“无水港”建设，打造现代石化仓储物流中转基地和区域石化产品现货交易中心。（二）提升开放型经济发展水平充分发挥国家级外贸转型升级示范基地、省级出口基地的示范和辐射带动作用，大力发展对外贸易，打造具有濮阳特色的出口
38、产业基地和品牌。支持企业开展重大国际项目合作和工程承包，推动优势企业“走出去”开拓国际市场。落实外商投资准入前国民待遇加负面清单管理制度，保护外商合法权益，完善外商投资服务和监管体系，推动贸易和投资自由化、便利化。深化国际友好城市建设，积极申办全国性会议、展会、体育赛事等重大活动。（三）加大招商引资力度创新招商引资思路，抢抓产业转移机遇，完善支持政策，健全工作机制，引进一批基地型、龙头型、引领型企业。创新招商引资机制，与全国性行业协会加强合作，聘请商协会相关人士为“经济发展顾问”或“招商大使”，建立驻外办事机构与异地濮阳商会合力招商机制。围绕生物基材料、高端装备制造等领域，设立新兴产业发展基金
39、，推广股权融资、股权融智等新模式，吸引龙头企业和高端人才，促进产业能级提升。大力发展“飞地经济”，建立招商项目跨区域流转和利益共享机制，支持有条件的产业集聚区与国内先进开发区“结对子”。实施产业链精准招商，围绕主导产业和产业链缺失环节，完善招商图谱和路线图，紧盯“头部企业”和细分行业领军企业、隐形冠军企业，吸引其在濮设立区域总部和研发、物流等重要功能性机构，延伸产业链条，构建完整的产业生态体系。（四）推动油地共融发展牢固树立油地“同心同德、和合共生”理念，进一步深化合作内涵，拓展合作领域。坚持油地高层领导联席会议制度，完善定期会商机制，在共商发展规划、共谋产业发展、共议人才联用、共建美好家园、
40、共筑平安和谐等领域开展新一轮战略合作。支持中原油田采用新技术实现可持续发展，强化非常规油气资源勘探开发，提高中原油田增储上产能力；油地双方共同建设储气设施和交易平台，合作开发利用氢能、风电、地热、太阳能等新能源，发展接续替代产业；支持中原油田更多采用本地装备制造企业生产的产品，帮助企业开拓国内外市场。积极盘活油田土地、厂房、设备、铁路专用线和公共基础设施等闲置资产，努力把“沉睡资源”转化为发展资本。创新政策机制，搭建共享平台，推进中原油田科研院所与濮阳市高等院校开展产学研合作，加快油气勘探开发实验室、工程技术实验室建设，把油田科技优势转换为区域创新优势。规划建设中原油田博物馆，留住油田记忆，展
41、现石油精神。建立常态化、多层次油地人才交流机制，引导地方企业与中原油田各单位开展合作，实现油地双赢、协同共进。（五）加强区域合作畅通开放合作通道，建立高层会商、多层交流、协同推进合作机制，提升濮阳在区域经济发展中的位势。推动豫北区域协同发展，在交通体系构建、资源型城市转型、产业互补发展、文旅品牌塑造等领域深化合作，共建中原城市群北部跨区域协同发展示范区。积极融入郑州国家中心城市建设，全面承接郑州产业、要素外溢，对接国家超级计算郑州中心、国家技术转移郑州中心等信息技术平台，助力濮阳大数据和信息产业发展。深化豫鲁合作，重点推进基础设施互联互通、资源要素自由流动、产业跨区域协同布局，共同打造豫鲁交界
42、区域承接产业转移示范区。推进黄河上下游、左右岸区域合作，在生态廊道建设、水源涵养、湿地保护、污染防治、供水调水等方面共谋发展。加强与京津冀协同发展区合作，助力新型化工基地、大数据智慧生态园、中原国际陆港建设。聚焦长三角、珠三角、京津冀、环渤海、成渝等重点区域，积极承接化工产业转移，推动在新能源汽车、健康养老、电子信息、生物基材料等领域开展合作。积极融入“一带一路”，大力发展“跨境电商+多式联运+邮政”运营模式，打通至中亚地区货运物流通道，努力与北欧地区开展外贸往来，实现东联西进、陆海相通。五、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动
43、资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第四章 市场预测一、 高密度等离子体刻蚀在先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同，等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀（CCP）、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡（ECR）和双等离子体源。电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一
44、次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合（CCP）与电感耦合（ICP），相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机（CCP）通过电容产生等离子体，而电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极，用来控制轰击硅片表面离子的能量，从而使得整个装置能够分离控制
45、离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀（CCP）主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构；而电感性等离子体刻蚀（ICP）主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。双等离子体源刻蚀机主要由源功率单元、上腔体、下腔体和可移动电极四部分组成。这一系统中用到了两个RF功率源。位于上部的射频功率源通过电感线圈将能量传递给等离子体从而增加离子密度，但是离子浓度增加的同时离子能量也随之增加。下部加装的偏置射频电源通过电容结构能够降低轰击在硅表面离子的能量而不影响离子浓度，从而能够更好地控制刻蚀速率与选择比。二、 原子层刻蚀
46、为未来技术发展方向随着国际上高端量产芯片从14nm-10nm阶段向7nm、5nm甚至更小的方向发展，当前市场普遍使用的沉浸式光刻机受光波长的限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。制程升级背景下，刻蚀次数显著增加。随着半导体制程的不断缩小，受光波长限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，重复多次薄膜沉积和刻蚀工序以实现更小的线宽，使得薄膜沉积和刻蚀次数显著增加以及刻蚀设备在晶圆产线中价值比率不断上升，其中20纳米工艺需要的刻蚀步骤约为50次，而10纳米工艺和7纳米工艺所需刻蚀步骤则超过100次。以硅片上的原子层刻蚀为例，首先，氯气被导入刻蚀腔，氯气分子吸附于硅材料的表面，形成一个氯化层。这一步改性步骤具有自限制性：表面一旦饱和，反应立即停止。紧接着清楚刻蚀腔中过量的氯气，并引入氩离子。使这些离子轰击硅片，物理性去除硅-氯反应后产生的氯化层，进而留下下层未经改性的硅表面。这种去除过程仍然依靠自限制性，在氯化层被全部去除后，过程中止。以上两个步骤完成后，一层极薄的材料就能被精准的从硅片上去除。半导体设备市场快速发展，刻蚀设备价值量可观半导体设备市场快速发展，2022有望再创新高。随着2013年