邵阳关于成立刻蚀设备公司可行性报告【模板】.docx

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1、泓域咨询/邵阳关于成立刻蚀设备公司可行性报告邵阳关于成立刻蚀设备公司可行性报告xxx投资管理公司报告说明xxx投资管理公司主要由xx(集团)有限公司和xxx有限公司共同出资成立。其中:xx(集团)有限公司出资517.00万元,占xxx投资管理公司55%股份;xxx有限公司出资423万元,占xxx投资管理公司45%股份。根据谨慎财务估算,项目总投资13971.25万元,其中:建设投资11467.89万元,占项目总投资的82.08%;建设期利息292.29万元,占项目总投资的2.09%;流动资金2211.07万元,占项目总投资的15.83%。项目正常运营每年营业收入25700.00万元,综合总成本

2、费用20375.64万元,净利润3893.28万元,财务内部收益率21.51%,财务净现值6181.22万元,全部投资回收期5.81年。本期项目具有较强的财务盈利能力,其财务净现值良好,投资回收期合理。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀,其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法,湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂,相对于干法刻蚀,容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中,并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息,并依托行业分析模型而

3、进行的模板化设计,其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。目录第一章 拟组建公司基本信息9一、 公司名称9二、 注册资本9三、 注册地址9四、 主要经营范围9五、 主要股东9公司合并资产负债表主要数据11公司合并利润表主要数据11公司合并资产负债表主要数据12公司合并利润表主要数据12六、 项目概况13第二章 公司组建方案17一、 公司经营宗旨17二、 公司的目标、主要职责17三、 公司组建方式18四、 公司管理体制18五、 部门职责及权限19六、 核心人员介绍23七、 财务会计制度24第三章 背景、必要性分析31一、 等离子体刻蚀面临的问题31二、 高密度等离

4、子体刻蚀31三、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术33四、 打造具有核心竞争力的科技创新高地34五、 项目实施的必要性37第四章 市场分析38一、 反应离子刻蚀38二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向38第五章 法人治理42一、 股东权利及义务42二、 董事47三、 高级管理人员52四、 监事55第六章 发展规划分析57一、 公司发展规划57二、 保障措施58第七章 风险防范60一、 项目风险分析60二、 公司竞争劣势65第八章 选址分析66一、 项目选址原则66二、 建设区基本情况66三、 推进要素市场化改革69四、 积极拓宽对外经贸合作70五、 项目选址综合评价70第九章 环境保护方案72一、

5、编制依据72二、 环境影响合理性分析73三、 建设期大气环境影响分析73四、 建设期水环境影响分析74五、 建设期固体废弃物环境影响分析75六、 建设期声环境影响分析75七、 建设期生态环境影响分析76八、 清洁生产76九、 环境管理分析78十、 环境影响结论80十一、 环境影响建议80第十章 项目规划进度82一、 项目进度安排82项目实施进度计划一览表82二、 项目实施保障措施83第十一章 投资估算84一、 编制说明84二、 建设投资84建筑工程投资一览表85主要设备购置一览表86建设投资估算表87三、 建设期利息88建设期利息估算表88固定资产投资估算表89四、 流动资金90流动资金估算表

6、90五、 项目总投资91总投资及构成一览表92六、 资金筹措与投资计划92项目投资计划与资金筹措一览表93第十二章 经济效益94一、 基本假设及基础参数选取94二、 经济评价财务测算94营业收入、税金及附加和增值税估算表94综合总成本费用估算表96利润及利润分配表98三、 项目盈利能力分析98项目投资现金流量表100四、 财务生存能力分析101五、 偿债能力分析101借款还本付息计划表103六、 经济评价结论103第十三章 项目综合评价104第十四章 附表105主要经济指标一览表105建设投资估算表106建设期利息估算表107固定资产投资估算表108流动资金估算表108总投资及构成一览表109

7、项目投资计划与资金筹措一览表110营业收入、税金及附加和增值税估算表111综合总成本费用估算表112固定资产折旧费估算表113无形资产和其他资产摊销估算表113利润及利润分配表114项目投资现金流量表115借款还本付息计划表116建筑工程投资一览表117项目实施进度计划一览表118主要设备购置一览表119能耗分析一览表119第一章 拟组建公司基本信息一、 公司名称xxx投资管理公司(以工商登记信息为准)二、 注册资本940万元三、 注册地址邵阳xxx四、 主要经营范围经营范围:从事刻蚀设备相关业务(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营

8、活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)五、 主要股东xxx投资管理公司主要由xx(集团)有限公司和xxx有限公司发起成立。(一)xx(集团)有限公司基本情况1、公司简介当前,国内外经济发展形势依然错综复杂。从国际看,世界经济深度调整、复苏乏力,外部环境的不稳定不确定因素增加,中小企业外贸形势依然严峻,出口增长放缓。从国内看,发展阶段的转变使经济发展进入新常态,经济增速从高速增长转向中高速增长,经济增长方式从规模速度型粗放增长转向质量效率型集约增长,经济增长动力从物质要素投入为主转向创新驱动为主。新常态对经济发展带来新挑战,企业遇到的困难和问题尤为突出。面对国际国内经济发展新环

9、境,公司依然面临着较大的经营压力,资本、土地等要素成本持续维持高位。公司发展面临挑战的同时,也面临着重大机遇。随着改革的深化,新型工业化、城镇化、信息化、农业现代化的推进,以及“大众创业、万众创新”、中国制造2025、“互联网+”、“一带一路”等重大战略举措的加速实施,企业发展基本面向好的势头更加巩固。公司将把握国内外发展形势,利用好国际国内两个市场、两种资源,抓住发展机遇,转变发展方式,提高发展质量,依靠创业创新开辟发展新路径,赢得发展主动权,实现发展新突破。未来,在保持健康、稳定、快速、持续发展的同时,公司以“和谐发展”为目标,践行社会责任,秉承“责任、公平、开放、求实”的企业责任,服务全

10、国。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额4457.883566.303343.41负债总额1642.671314.141232.00股东权益合计2815.212252.172111.41公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入16266.7613013.4112200.07营业利润3639.612911.692729.71利润总额2986.672389.342240.00净利润2240.001747.201612.80归属于母公司所有者的净利润2240.001747.201612.80(二)xxx有

11、限公司基本情况1、公司简介公司不断建设和完善企业信息化服务平台,实施“互联网+”企业专项行动,推广适合企业需求的信息化产品和服务,促进互联网和信息技术在企业经营管理各个环节中的应用,业通过信息化提高效率和效益。搭建信息化服务平台,培育产业链,打造创新链,提升价值链,促进带动产业链上下游企业协同发展。公司以负责任的方式为消费者提供符合法律规定与标准要求的产品。在提供产品的过程中,综合考虑其对消费者的影响,确保产品安全。积极与消费者沟通,向消费者公开产品安全风险评估结果,努力维护消费者合法权益。公司加大科技创新力度,持续推进产品升级,为行业提供先进适用的解决方案,为社会提供安全、可靠、优质的产品和

12、服务。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额4457.883566.303343.41负债总额1642.671314.141232.00股东权益合计2815.212252.172111.41公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入16266.7613013.4112200.07营业利润3639.612911.692729.71利润总额2986.672389.342240.00净利润2240.001747.201612.80归属于母公司所有者的净利润2240.001747.201612.80六、 项目概

13、况(一)投资路径xxx投资管理公司主要从事关于成立刻蚀设备公司的投资建设与运营管理。(二)项目提出的理由以硅片上的原子层刻蚀为例,首先,氯气被导入刻蚀腔,氯气分子吸附于硅材料的表面,形成一个氯化层。这一步改性步骤具有自限制性:表面一旦饱和,反应立即停止。紧接着清楚刻蚀腔中过量的氯气,并引入氩离子。使这些离子轰击硅片,物理性去除硅-氯反应后产生的氯化层,进而留下下层未经改性的硅表面。这种去除过程仍然依靠自限制性,在氯化层被全部去除后,过程中止。以上两个步骤完成后,一层极薄的材料就能被精准的从硅片上去除。半导体设备市场快速发展,刻蚀设备价值量可观到二三五年与全国全省同步基本实现社会主义现代化。到二

14、三五年基本实现社会主义现代化是党的十九大作出的战略安排。到那时,我市经济、科技实力大幅跃升,经济总量和城乡居民人均收入将再迈上新的大台阶,“二中心一枢纽”地位更加凸显;打造国家重要先进制造业高地,基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化,建成现代化经济体系;打造具有核心竞争力的科技创新高地,关键核心技术实现重大突破,“邵阳智造”迈上全球价值链中高端;打造内陆地区改革开放高地,全面建成湘南湘西承接产业转移示范区,形成全面对外开放新格局;基本实现治理体系和治理能力现代化,人民平等参与、平等发展权利得到充分保障,法治政府、法治社会基本建成,平安邵阳建设达到更高水平;文化强市、教育强市、人才强市

15、、体育强市、健康邵阳质量更高,国民素质和社会文明程度达到新高度,文化软实力、影响力显著增强;生态环境根本好转,绿色生产生活方式广泛形成,人与自然和谐共生;大部分群体进入中等收入行列,基本公共服务实现均等化,城乡区域发展差距和居民生活水平差距显著缩小;人民生活更加美好,人的全面发展、全体人民共同富裕取得更为明显实质性进展。(三)项目选址项目选址位于xx(待定),占地面积约40.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越,交通便利,规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备,非常适宜本期项目建设。(四)生产规模项目建成后,形成年产xxx套刻蚀设备的生产能力。(五)建设规模项目建筑面积42094.63,其中

16、:生产工程27680.77,仓储工程6079.44,行政办公及生活服务设施3988.76,公共工程4345.66。(六)项目投资根据谨慎财务估算,项目总投资13971.25万元,其中:建设投资11467.89万元,占项目总投资的82.08%;建设期利息292.29万元,占项目总投资的2.09%;流动资金2211.07万元,占项目总投资的15.83%。(七)经济效益(正常经营年份)1、营业收入(SP):25700.00万元。2、综合总成本费用(TC):20375.64万元。3、净利润(NP):3893.28万元。4、全部投资回收期(Pt):5.81年。5、财务内部收益率:21.51%。6、财务净

17、现值:6181.22万元。(八)项目进度规划项目建设期限规划24个月。(九)项目综合评价综上所述,本项目能够充分利用现有设施,属于投资合理、见效快、回报高项目;拟建项目交通条件好;供电供水条件好,因而其建设条件有明显优势。项目符合国家产业发展的战略思想,有利于行业结构调整。第二章 公司组建方案一、 公司经营宗旨运用现代科学管理方法,保证公司在市场竞争中获得成功,使全体股东获得满意的投资回报并为国家和本地区的经济繁荣作出贡献。二、 公司的目标、主要职责(一)目标近期目标:深化企业改革,加快结构调整,优化资源配置,加强企业管理,建立现代企业制度;精干主业,分离辅业,增强企业市场竞争力,加快发展;提

18、高企业经济效益,完善管理制度及运营网络。远期目标:探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌,提升企业核心竞争力。此外,面向国际、国内两个市场,优化资源配置,实施多元化战略,向产业集团化发展,力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。(二)主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策,在国家宏观调控和行业监管下,以市场需求为导向,依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、刻蚀设备行业发展规划和市场需求,制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、深化企业改革,加快结构调整,转换企业经营机制,建立现代企业

19、制度,强化内部管理,促进企业可持续发展。4、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设,统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产,搞好公司企业文化建设。5、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下,公司可依照公司法等有关规定,集中资产收益,用于再投入和结构调整。三、 公司组建方式xxx投资管理公司主要由xx(集团)有限公司和xxx有限公司共同出资成立。其中:xx(集团)有限公司出资517.00万元,占xxx投资管理公司55%股份;xxx有限公司出资423万元,占xxx投资管理公司45%股份。四、 公司管理体制xxx投资管理公司实行董事会领导下的总经理负责制,各部门按其规定的职能范围,履行各自

20、的管理服务职能,而且直接对总经理负责;公司建立完善的营销、供应、生产和品质管理体系,确立各部门相应的经济责任目标,加强产品质量和定额目标管理,确保公司生产经营正常、有效、稳定、安全、持续运行,有力促进企业的高效、健康、快速发展。总经理的主要职责如下:1、全面领导企业的日常工作;对企业的产品质量负责;向本公司职工传达满足顾客和法律法规要求的重要性;2、制定并正式批准颁布本公司的质量方针和质量目标,采取有效措施,保证各级人员理解质量方针并坚持贯彻执行;3、负责策划、建立本公司的质量管理体系,批准发布本公司的质量手册;4、明确所有与质量有关的职能部门和人员的职责权限和相互关系;5、确保质量管理体系运

21、行所必要的资源配备;6、任命管理者代表,并为其有效开展工作提供支持;7、定期组织并主持对质量管理体系的管理评审,以确保其持续的适宜性、充分性和有效性。五、 部门职责及权限(一)综合管理部1、协助管理者代表组织建立文件化质量体系,并使其有效运行和持续改进。2、协助管理者代表,组织内部质量管理体系审核。3、负责本公司文件(包括记录)的管理和控制。4、负责本公司员工培训的管理,制订并实施员工培训计划。5、参与识别并确定为实现产品符合性所需的工作环境,并对工作环境中与产品符合性有关的条件加以管理。(二)财务部1、参与制定本公司财务制度及相应的实施细则。2、参与本公司的工程项目可信性研究和项目评估中的财

22、务分析工作。3、负责董事会及总经理所需的财务数据资料的整理编报。4、负责对财务工作有关的外部及政府部门,如税务局、财政局、银行、会计事务所等联络、沟通工作。5、负责资金管理、调度。编制月、季、年度财务情况说明分析,向公司领导报告公司经营情况。6、负责销售统计、复核工作,每月负责编制销售应收款报表,并督促销售部及时催交楼款。负责销售楼款的收款工作,并及时送交银行。7、负责每月转账凭证的编制,汇总所有的记账凭证。8、负责公司总长及所有明细分类账的记账、结账、核对,每月5日前完成会计报表的编制,并及时清理应收、应付款项。9、协助出纳做好楼款的收款工作,并配合销售部门做好销售分析工作。10、负责公司全

23、年的会计报表、帐薄装订及会计资料保管工作。11、负责银行财务管理,负责支票等有关结算凭证的购买、领用及保管,办理银行收付业务。12、负责先进管理,审核收付原始凭证。13、负责编制银行收付凭证、现金收付凭证,登记银行存款及现金日记账,月末与银行对账单和对银行存款余额,并编制余额调节表。14、负责公司员工工资的发放工作,现金收付工作。(三)投资发展部1、调查、搜集、整理有关市场信息,并提出投资建议。2、拟定公司年度投资计划及中长期投资计划。3、负责投资项目的储备、筛选、投资项目的可行性研究工作。4、负责经董事会批准的投资项目的筹建工作。5、按照国家产业政策,负责公司产业结构、投资结构的调整。6、及

24、时完成领导交办的其他事项。(四)销售部1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标,并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标,明确营销策略,制定营销计划和拓展销售网络,并对任务进行分解,策划组织实施销售工作,确保实现预期目标。3、负责收集市场信息,分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等,并定期将信息报送商务发展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收,并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户,整理和归纳客户资料,掌握客户情况,进行有效的客户管理。6、制定并组织填写各类销售统计报表,并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测,建立起牢固

25、可靠的物资供应网络,不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息,并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估,根据公司需求计划,编制与之相配套的采购计划,并进行采购谈判和产品采购,保证产品供应及时,确保产品价格合理、质量符合要求。9、建立发运流程,设计最佳运输路线、运输工具,选择合格的运输商,严格按公司下达的发运成本预算进行有效管理,定期分析费用开支,查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作,不断培养、挖掘、引进销售人才,建设高素质的销售队伍。六、 核心人员介绍1、梁xx,1974年出生,研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于

26、xxx有限责任公司;2006年8月至2011年3月,任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长;2019年8月至今任公司监事会主席。2、姜xx,中国国籍,1978年出生,本科学历,中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。3、韩xx,中国国籍,无永久境外居留权,1971年出生,本科学历,中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监

27、。4、孟xx,中国国籍,1976年出生,本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理;2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理;2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。5、侯xx,中国国籍,无永久境外居留权,1959年出生,大专学历,高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问;2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。6、严xx,中国国籍,无永久境外居留权,197

28、0年出生,硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。7、韦xx,中国国籍,无永久境外居留权,1961年出生,本科学历,高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。8、廖xx,1957年出生,大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司;2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。七、 财务会计制度(一)财务会计制度1、公司依照法律、行政法规和国家有关部门的规定,制定公司的财务会计制度。上述财务会计报告按照有关法律、行政法规及部门规章的规定进行编制。2、

29、公司除法定的会计账簿外,将不另立会计账簿。公司的资产,不以任何个人名义开立账户存储。3、公司分配当年税后利润时,应当提取利润的10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的50%以上的,可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的,在依照前款规定提取法定公积金之前,应当先用当年利润弥补亏损。公司从税后利润中提取法定公积金后,经股东大会决议,还可以从税后利润中提取任意公积金。公司弥补亏损和提取公积金后所余税后利润,按照股东持有的股份比例分配,但本章程规定不按持股比例分配的除外。股东大会违反前款规定,在公司弥补亏损和提取法定公积金之前向股东分配利润的,股东必须将违反规定分

30、配的利润退还公司。公司持有的本公司股份不参与分配利润。4、公司的公积金用于弥补公司的亏损、扩大公司生产经营或者转为增加公司资本。但是,资本公积金将不用于弥补公司的亏损。法定公积金转为资本时,所留存的该项公积金将不少于转增前公司注册资本的25%。5、公司股东大会对利润分配方案作出决议后,公司董事会须在股东大会召开后2个月内完成股利(或股份)的派发事项。6、公司利润分配政策为:公司采取积极的现金方式分配利润,即公司当年度实现盈利,在依法提取法定公积金、盈余公积金后进行利润分配。(1)利润分配原则公司的利润分配应重视对投资者的合理回报并兼顾公司的可持续发展。利润分配政策应保持连续性和稳定性,并符合法

31、律、法规的相关规定。(2)具体利润分配政策利润分配形式及间隔期:公司可以采取现金方式分配股利,公司优先采用现金方式分配利润,现金分配的比例不低于当年实现的可分配利润的10%。公司当年如实现盈利并有可供分配利润时,应每年度进行利润分配。董事会可以根据公司盈利状况及资金需求状况提议公司进行中期现金分红。除非经董事会论证同意,且经独立董事发表独立意见、监事会决议通过,两次分红间隔时间原则上不少于六个月。现金分红的具体条件:公司在当年盈利且累计未分配利润为正,现金流满足公司正常生产经营和未来发展的前提下,最近三个会计年度内,公司以现金形式分配的利润不少于最近三年实现的年均可分配利润的30%。公司董事会

32、应当综合考虑所处行业特点、发展阶段、自身经营模式、盈利水平以及是否有重大资金支出安排等因素,区分下列情形,提出具体现金分红政策:公司发展阶段属成熟期且无重大资金支出安排的,进行利润分配时,现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到80%;公司发展阶段属成熟期且有重大资金支出安排的,进行利润分配时,现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到40%;公司发展阶段属成长期且无重大资金支出安排的,进行利润分配时,现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到20%。本章程中的“重大资金支出安排”是指公司未来十二个月内拟对外投资、收购资产或购买资产累计支出达到或超过公司最近一次经审计净资产的10%。出现以下

33、情形之一的,公司可不进行现金分红:合并报表或母公司报表当年度未实现盈利;合并报表或母公司报表当年度经营性现金流量净额或者现金流量净额为负数;合并报表或母公司报表期末资产负债率超过70%(包括70%);合并报表或母公司报表期末可供分配的利润余额为负数;公司财务报告被审计机构出具非标准无保留意见;公司在可预见的未来一定时期内存在重大资金支出安排,进行现金分红可能导致公司现金流无法满足公司经营或投资需要。(3)利润分配的决策程序和机制公司利润分配方案由董事会根据公司经营状况和有关规定拟定,并在征询监事会意见后提交股东大会审议批准,独立董事应当发表明确意见。独立董事可以征集中小股东的意见,提出分红提案

34、,并直接提交董事会审议。股东大会对现金分红具体方案进行审议时,应当通过多种渠道主动与股东特别是中小股东进行沟通和交流(包括但不限于提供网络投票表决、邀请中小股东参会等方式),充分听取中小股东的意见和诉求,并及时答复中小股东关心的问题。公司在年度报告中详细披露现金分红政策的制定及执行情况。公司董事会应在年度报告中披露利润分配方案及留存的未分配利润的使用计划安排或原则,公司当年利润分配完成后留存的未分配利润应用于发展公司经营业务。公司当年盈利但董事会未做出现金分红预案的,应在年度报告中披露未做出现金分红预案的原因及未用于分红的资金留存公司的用途,独立董事发表的独立意见。公司如遇借壳上市、重大资产重

35、组、合并分立或者因收购导致公司控制权发生变更的,应在重大资产重组报告书、权益变动报告书或者收购报告书中详细披露重组或者控制权发生变更后上市公司的现金分红政策及相应的规划安排、董事会的情况说明等信息。(4)利润分配政策调整的条件、决策程序和机制(5)利润分配方案的实施公司股东大会对利润分配方案作出决议后,董事会须在股东大会召开后两个月内完成现金分红或股利的派发事项。如存在股东违规占用公司资金情况的,公司应当扣减该股东所分配的现金红利,以偿还其占用的资金。(二)内部审计1、公司实行内部审计制度,配备专职审计人员,对公司财务收支和经济活动进行内部审计监督。2、公司内部审计制度和审计人员的职责,应当经

36、董事会批准后实施。审计负责人向董事会负责并报告工作。(三)会计师事务所的聘任1、公司聘用会计师事务所必须由股东大会决定,董事会不得在股东大会决定前委任会计师事务所。2、公司保证向聘用的会计师事务所提供真实、完整的会计凭证、会计账簿、财务会计报告及其他会计资料,不得拒绝、隐匿、谎报。3、会计师事务所的审计费用由股东大会决定。4、公司解聘或者不再续聘会计师事务所时,提前30天事先通知会计师事务所,公司股东大会就解聘会计师事务所进行表决时,允许会计师事务所陈述意见。会计师事务所提出辞聘的,应当向股东大会说明公司有无不当情形。第三章 背景、必要性分析一、 等离子体刻蚀面临的问题随着当前先进芯片关键尺寸

37、的不断减小以及FinFET与3DD等三维结构的出现,不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率,对于高深宽比的图形窗口来说,化学刻蚀剂难以进入,反应生成物难以排出。另外,薄膜堆栈一般由多层材料组成,不同材料的刻蚀速率不同,很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后,等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。在这种情况下,一个等离子体刻蚀机应装上一个终点检测系统,使得在造成最小的过刻蚀时停止刻蚀过程。当下一层材料正好露出来时,重点检测器会触发刻蚀机控制器而停止刻蚀。二、 高密度等离子体刻蚀在先进的集

38、成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同,等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀(CCP)、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡(ECR)和双等离子体源。电子回旋加速震荡(ECR)反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一,它是1984年前后日本日立公司最早研究的,第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向,这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性,从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各

39、向异性刻蚀图形,缺点是设备复杂度较高。耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合(CCP)与电感耦合(ICP),相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机(CCP)通过电容产生等离子体,而电感耦合等离子体刻蚀机(ICP)通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极,用来控制轰击硅片表面离子的能量,从而使得整个装置能够分离控制离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀(CCP)主要是以高能离子在较硬的介质材料上,刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构;而电感性等离子体刻蚀(ICP)主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。双

40、等离子体源刻蚀机主要由源功率单元、上腔体、下腔体和可移动电极四部分组成。这一系统中用到了两个RF功率源。位于上部的射频功率源通过电感线圈将能量传递给等离子体从而增加离子密度,但是离子浓度增加的同时离子能量也随之增加。下部加装的偏置射频电源通过电容结构能够降低轰击在硅表面离子的能量而不影响离子浓度,从而能够更好地控制刻蚀速率与选择比。三、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术刻蚀设备处于半导体产业链上游环节。半导体产业链的上游由为设计、制造和封测环节提供软件及知识产权、硬件设备、原材料等生产资料的核心产业组成。半导体产业链的中游可以分为半导体芯片设计环节、制造环节和封装测试环节。半导体产业链的下游为半导

41、体终端产品以及其衍生的应用、系统等。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程,并保证有图形的光刻胶在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。常用来代表刻蚀效率的参数主要有:刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度;刻蚀剖面指的是刻蚀图形的侧壁形状,通常分为各向同性和各向异性剖面;刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化,通常由横向钻蚀引起;选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比,高选择比意味着不需要的材料会被刻除。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀,其中干法刻蚀是最主要的用来

42、去除表面材料的刻蚀方法,湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂,相对于干法刻蚀,容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中,并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体,通常用氟刻蚀二氧化硅,氯和氟刻蚀铝,氯、氟和溴刻蚀硅,氧去除光刻胶。四、 打造具有核心竞争力的科技创新高地

43、坚持把创新摆在现代化建设全局中的核心地位,全面落实科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略,建立多渠道投入机制,完善科技奖励制度,加快科技创新体系建设,全面塑造发展新优势。(一)加强关键核心技术攻关聚焦优势产业、新兴产业、未来产业,滚动编制重大技术攻关清单,部署实施一批具有前瞻性、战略性的重大科技项目。聚焦新型显示器件、先进装备制造、智能家居家电、新材料、新能源、节能环保、生物医药等领域,全面梳理关键核心技术研发需求,坚持安全可靠、引进消化、协同开发,攻克一批关键核心技术,重点突破新型显示器件领域国外“卡脖子”技术。聚焦原始创新能力提升,支持邵阳学院、邵阳职业技术学院与国内外高等院校合作,

44、加强基础和应用研究,推进一批特色应用学科建设。(二)实施高新技术企业倍增计划强化企业创新主体地位,用好用足国家强弱项、补短板扶持政策,推动企业加大研发投入,提升创新能力,支持中小企业通过智能化改造进入高新技术企业行列。完善创新创业生态,推动项目、基地、人才、资金一体化配置,打造一流创新环境,引进一批高科技企业落户邵阳。每年培育和引进高新技术企业各90家以上,实现高新技术企业、科技型中小企业增量提质。(三)大力培育和引进各类创新人才制定科教兴市行动纲要,建设人才大市。实施“宝庆人才”行动计划,建立靶向引才、专家荐才机制,实施柔性引才、用才模式,培养引进一批科技领军人才、创新团队、青年科技人才和基

45、础研究人才。落实国家知识更新工程、技能提升工程,壮大高水平工程师和高技能人才队伍。加强职业厂长、经理等管理人才引进和培训。完善高层次人才管理、服务和激励机制,探索年薪制度和竞争性人才使用机制,探索“研发飞地”“人才飞地”建设,探索以股权或债权投资引才模式,吸引一批科技人才团队来邵创新创业。全面接轨国际人才评价标准,对取得有关国际职业资格证书的人才,比照认定或享受相应等级待遇。完善科技评价机制,优化科技奖励项目,建立健全人才配偶就业、子女就学、医疗、住房、社会保障、职称评聘、科研立项、成果奖励等配套措施。大力弘扬科学家精神和工匠精神、劳模精神,做好科普工作,提升公民科学素养和创新意识,营造尊重劳

46、动、尊重知识、尊重人才、尊重创造的浓厚氛围。(四)加强创新平台建设落实国家创新驱动发展战略纲要,推动创新资源进一步聚焦、创新生态不断优化,建设产业技术协同创新研究院、特种玻璃新材料应用示范平台等一批研发创新平台,建设一批国家级和省级、市级工程研究中心、工程实验室和企业技术中心,建设一批成果转化、科技信息、知识产权交易公共服务平台。建立与科研院所、高校结对合作机制,鼓励知名高校、科研院所来邵合作建设科研创新平台、科技成果转化中心,鼓励国际化人才和团队发起设立专业性、开放性新型研发机构,鼓励民营企业建立高等级技术创新平台、申报或新引进国家级和省级工程技术研究中心(重点实验室),构建产业技术创新战略联盟。改进科技项目组织管理方式,实行“揭榜挂帅”等制度。推进创新型城市、创新型县市区建设,形成全域创新体系。五、 项目实施的必要性(一)提升公司核心竞争力项目的投资,引入资金的到位将改善公司的资产负债结构,补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力,降低公司财务费用水平,提升公司盈利能力,促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持,提高公司核心竞争力。第四章 市场分析一、

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