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1、微波放电微波放电zzpUSTC ABCD LabUSTC ABCD Lab在交流放电中，频率对击穿电压的影响很大，一般情况下高频比低频的击穿电压低。高频放电中正离子在阴极引起的次级电子发射过程对气体击穿和维持放电没有重要作用，这是其与直流放电的明显区别。USTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC
2、 ABCD Lab微波等离子体的发生方法采用微波放电时，由微波电源发生的微波通过传输线传输到储能元件，再以某种方式与放电管耦合，通过电磁场将能量赋予当作负载的放电气体，无需在放电空间设置电极而功率却可以局部集中，因此可获得高密度等离子体。下一张图是微波放电装置。USTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD Lab下图则是一种微波等离子体辅助CVD反应器，利用此反应器成功地在非常低的基片温度（约100度）下沉积出质量很好的氧化硅膜。稍加修改后，也可用于其他合成化学反应。USTC ABCD LabUSTC ABCD Lab微波等离子体的应用1.微
3、波等离子体快速制备光导纤维2.微波等离子体做强功率激光的高效激发泵源3.MPCVD制造太阳能电池薄膜4.MPCVD制造Tc超导薄膜5.微波等离子体刻蚀技术6.MPCVD合成金刚石薄膜7.低功率微波等离子体合成氨8.低功率微波等离子体合成氮氧化物9.微波等离子体合成与制备聚合物膜和无机膜USTC ABCD LabUSTC ABCD LabE型放电在交变电场中要使放电不受频率影响，间隙中的正离子必须在T/4内完全进入电极，不形成间隙中的空间电荷。如果交变电场 正离子的迁移率为，则正离子的移动距离为为了计算最大频率，必须确定间隙距离d，使间隙距离等于x，则有USTC ABCD LabUSTC ABCD Lab由于外加电压反向之前最大的有效时间是T/4，则则电场的最大频率为当电场频率超过fmax时，正离子会在空间集聚。如果放电频率一定，则放电最大间隙为f和d通常有下列关系USTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD LabUSTC ABCD Lab