无尘车间管理制度20131.docx

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1、无尘车间管管理制度度(某世界5500强强半导体体企业内内部规范范-仅供供参考) 目 录录1.0 无尘车间间管理的的目的2.0 无尘车间间管理的的原则3.0 适用范围围4.0 术语5.0 管理程序序51 无尘车车间施工工管理制制度52 无尘尘车间洁洁净度定定期检测测制度/测量标标准53 无尘尘车间人人员管理理制度54 无尘尘车间洁洁净服管管理制度度55 无尘车车间物流流/洁净室室内设备备及工器器具管理理制度56 无尘尘车间清清洁、清清扫和灭灭菌管理理57 无尘尘车间洁洁净室安安全管理理6.0 版本更改改记录10 无无尘车间间管理的的目的半导体产品品生产过过程对车车间有明明确的洁洁净要求求，为了了

2、满足生生产工艺艺需要、保保证产品品质量、安安全生产产，必须须对洁净净室的环环境、人人员、物物料、设设备、生生产过程程等进行行控制。20 无无尘车间间管理的的原则2.1 进入洁净室室的管理理，包括括对洁净净室工作作人员进进入、物物料进入入、各类类设备的的搬入以以及相关关的设备备、管线线的维护护管理，应应做到不不得将微微粒、微微生物带带入洁净净室。2.2 操作管理技技术，对对洁净室室内人员员用洁净净工作服服的制作作、穿着着和清洗洗；操作作人员的的移动和和动作；室内设设备及装装修材料料的选择择和清扫扫、灭茵茵等，尽尽可能地地减少、防防止洁净净室内尘尘粒、微微生物的的产生、滞滞留、繁繁殖等。2.3 严

3、格各类设设备、设设施的维维护管理理，制定定相应的的操作规规程，保保证各类类设备、设设施按要要求正常常运转，包包括净化化空调系系统、各各类水气气电系统统、生产产工艺设设备和工工器具(工装夹夹具)等。以以确保产产品生产产工艺要要求和空空气洁净净度等级级。2.4 清扫、灭菌菌管理，对对洁净室室内的各各类设备备、设施施的清扫扫、灭茵茵以及方方法、周周期和检检查作明明确的规规定，防防止、捎捎除洁净净室内尘尘粒、微微生物的的产生、滞滞留、繁繁殖。2.5 洁净室环境境控制的的内容包包括：空空气净化化、洁净净建筑、与与产品直直接接触触的水或或气体或或化学品品和生产产设备、工工器具等等的污染染物控制制以及微微振

4、动、噪噪声、静静电的控控制、防防止等。30 适适用范围围 半导体公司司所有洁洁净生产产区及洁洁净辅助助间(包括人人员净化化用室、物物料净化化用室和和相关生生活用室室等)、车间间内管理理区(包括部部分办公公、值班班、管理理和体息息室等)和将来来新建、改改建、扩扩建的洁洁净厂房房及其辅辅助用房房。40 术术语洁净生产区区 是洁洁净厂房房的主要要部分，对对洁净级级别有明明确规定定的区域域。洁净辅助间间 是洁洁净厂房房不可缺缺少的必必备房间间。洁净净辅助间间对洁净净厂房的的平面关关系密切切，对洁洁净厂房房的建造造带来影影响和投投产后能能否满足足产品生生产的需需要以及及能否可可靠地防防止生产产过程的的污

5、染或或交叉污污染至关关重要。管理区 是洁洁净厂房房内的产产品生产产过程的的生产管管理、技技术管理理用房和和必要的的操作人人员的休休息、福福利用房房。设备区 即净净化空调调系统、公公用动力力系统等等用房，是是洁净厂厂房的重重要组成成部分。50 管管理程序序51 无无尘车间间洁净室室施工管管理制度度5111 背景景51111 半导体体制造业业必须在在洁净的的环境中中进行，在在施工中中必须遵遵循行业业规则和和程序。本本文件列列出了这这些规则则和程序序的概要要。为了了保证项项目的成成功，现现场的每每一位人人员都必必须遵守守。51112 图纸上上对于施施工的洁洁净建设设草案将将被强制制执行。这这包括除除

6、了原料料和成品品仓库以以外的所所有主厂厂房内的的地方。51113 洁净室室施工管管理制度度目前主主要针对对一期主主厂房内内的局部部改造和和扩建，后后期所有有洁净室室施工项项目仍按按照本制制度规定定的原则则进行管管理。5122 责任任与义务务51221 所有承承包商有有责任确确保他们们的工人人都了解解这些规规则和程程序，并并且在他他们疏于于遵从或或违反时时给予培培训和训训练。被被分配到到洁净建建设区域域的每位位工人有有责任和和义务理理解并遵遵守洁净净建设规规则和程程序。51222 承包商商负责执执行洁净净室草案案。他将将每天对对洁净建建设区域域进行检检查，并并填写检检查清单单。承包包商负责责提供

7、洁洁净室所所需物品品，例如如：鞋套套，毛巾巾，垫子子和工装装。他也也负责提提供每日日执行洁洁净规则则和程序序的人员员和设备备。51223 承包商商建造区区域入口口并对其其进行管管理。他他提供清清洗晾晒晒每个入入口处鞋鞋、外套套和衣服服的清洗洗店。他他将对在在洁净区区域工作作的人员员进行培培训，并并维护被被允许在在此区域域工作的的人员身身份认定定和管理理。51224 开始阶阶段，承承包商应应在每个个入口处处安排人人员（除除非半导导体公司司在该入入口处安安排有人人员）以以确保本本规则和和程序的的执行。 51225重重复违反反规则和和程序的的人员将将被开除除。没有有贯彻执执行本规规则和程程序的供供应

8、商将将被除名名。5133 草案案细则洁净室草案案分为三三部分，每每一部分分对应施施工的一一个过程程。施工工接近完完工阶段段，不允允许从外外面或洁洁净区域域的施工工场地带带入脏物物。51331第第一部分分 第一部分主主要针对对直到主主要施工工完成后后。包括括屋顶，覆覆层，门门和窗户户。所有有工人必必须从图图纸上标标明的通通道进出出施工现现场。每每个入口口将会有有清洗店店。所有有工人进进入必须须保持鞋鞋子干净净。不允允许穿奇奇特的服服装，工工人的衣衣服应该该保持适适当的干干净。现现场安全全规则必必须时刻刻遵守。 所有设备和和材料必必须从一一个入口口进入施施工现场场，并且且保持干干净，不不允许有有碎

9、片掉掉下。 施工现场内内不允许许吃东西西，吸烟烟，喝酒酒。 每班结束时时，必须须清走所所有垃圾圾和废旧旧物品。总总之，整整个施工工现场每每天必须须保持干干净。51332第第二部分分 第二部分主主要针对对直到ggriddlinne BB西边洁洁净区域域的内墙墙完成。此此时，只只允许承承包商雇雇佣的工工人在洁洁净区域域。其他他供应商商如果要要进入洁洁净区域域，必须须提前向向承包商商提出申申请，得得到允许许后方可可进入。工工人、设设备和材材料的入入口是经经过威世世半导体体(西安)有限公公司管理理人员同同意的。 gridllinees 11和2之间的的通向成成品仓库库的外门门。 gridllinees

10、 115和16之间间的通向向原料仓仓库的外外门。 其它入口必必须经过过洁净工工程承包包商的书书面批准准。两个个入口旁旁边将会会为很可可能造成成污染的的材料准准备或拆拆包预留留区域。进进如洁净净区域之之前，材材料和设设备不允允许有脏脏物或由由掉下，并并且应该该用干净净的干布布擦拭干干净。 任何可能会会造成污污染的活活动必须须必须提提前经过过洁净工工程承包包商的批批准。这这包括砂砂纸打磨磨，碾，开开凿，演演练，焊焊接，切切割和任任何用水水或喷淋淋工作。承承包商要要用任何何可能的的方法预预防污染染。 装好的地板板必须用用PVCC板包装装保护。 第一部分提提到的必必要的衣衣服、鞋鞋套也是是必须的的。

11、第二部分草草案执行行期间，洁洁净区域域必须每每天吸尘尘。51333 第三部部分 第三部分主主要针对对直到生生产车间间全部建建成。气气体鼓风风机将持持续运行行以维护护房间的的压力要要求。 进入的工人人穿鞋套套和工作作服。 所有进入洁洁净区域域的材料料，工具具和设备备要用IIPA和和水的混混合物擦擦拭。 在第三部分分草案执执行期间间，洁净净区域每每天要用用有过滤滤装置的的洗尘设设备吸尘尘。5144 洁净净安装 必须采取洁洁净措施施保持安安装洁净净。 各类部件如如节气闸闸，扩散散体在进进入施工工现场时时应洁净净并且拆拆掉包装装。内部部表面应应该用IIPA和和水的混混合物擦擦拭。 洁净安装过过程中，必

12、必须密切切关注所所采取的的洁净措措施的可可靠程度度，对于于隔离围围护设施施一定要要作到及及时发现现、立即即纠正。5155 最后后洁净 洁净区域的的所有安安装完成成后，要要进行最最后洁净净。洁净净要用IIPA和和水的混混合物擦擦拭。先先洁净天天花板，然然后是墙墙壁，墙墙壁应从从上到下下，最后后是地面面。 最后洁净完完成后，gridline B东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。 最后洁净完完成后，任任何进入入的人都都必须通通过威世世半导体体(西安)有限公公司现场场经理的的批准。5.1.6 设备、物品品进入洁洁净室规规定52 无无尘车间间洁净度度定期检检测制度度

13、/测量标标准5.2.1 为了保证洁洁净室的的洁净度度满足工工艺要求求，必须须定期对对洁净室室内的洁洁净度进进行检测测。5.2.2 检测测试设设备：激激光粒子子记数器器5.2.3 检测周期：每周一一上午、下下午对各各洁净区区域进行行一次检检测5.2.4 检测条件：静态洁洁净度测测试5.2.5 数据收集整整理：将将每次检检测的结结果输入入监控室室的电脑脑中储存存，并在在每个季季度末（或或下季度度初）给给各部门门发该季季度的洁洁净度记记录图表表电子档档通报给给各部门门。5.2.6 各洁净区域域洁净级级别标准准：按照照半导导体公司司能源管管理标准准要求求执行。区域、系统统名称洁净等级标标准相当于ISS

14、O级别别等效于GBB级别K-1系统统 划片区区域静态1万级级 K-1系统统改造前前为静态态10万级级 CLASSS 7CLASSS 8CLASSS 7CLASSS 8K-2系统统 包封区区域静态30万万级 CLASSS 83CLASSS 83K-3系统统 搪锡区区域静态30万万级 CLASSS 83CLASSS 83K-4系统统 测试区区域静态30万万级 CLASSS 83CLASSS 83K-8系统统 电镀区区域静态30万万级 CLASSS 83CLASSS 83现有其他空空调系统统 舒适性空调调系统，无无洁净要要求 Not AAppllicaableeNot AAppllicaablee5

15、.2.7 洁净室用净净化空调调系统及及设备的的维护管管理与相相应的操操作规程程、维修修制度等等（包括括净化空空调系统统和洁净净室相关关的公用用动力系系统的设设备、管管线等管管理维护护，如，空空气过滤滤器、空空调机、局局部净化化设备、冷冷冻机及及水泵、纯纯水设备备、配电电设备、安安全报警警设施等等）执行行威世半半导体(西安)有限公公司厂务务部相关关SOPP文件。5.2.8 参考文件 FSD-SSOP-01 供供电操作作指导书书及规范范制度 FSD-SSOP-4-11 AHUU系统操操作指导导书 FSD-SSOP-4-22 洗洗气塔操操作指导导书 FSD-SSOP-4-33 锅锅炉操作作指导书书

16、FSD-SSOP-4-44 制制冷机操操作指导导书 FSD-SSOP-06 厂厂务部安安全操作作规程 FSD-SSOP-07 设设备维护护保养流流程 FSD-SSOP-08 消消防系统统操作指指导书 FSD-SSOP-12 厂厂务部运运行管理理制度 FSD-SSOP-13 市市政动力力能源中中断紧急急应变计计划 FSD-SSOP-20 厂厂务核心心机组应应急切换换操作指指导书 ATD112100C 能能源管理理标准 JVP113011C 公公共设施施管理规规定53 洁洁净室人人员管理理制度5311 洁净净室的人人员管理理包括：制定专专职管理理人员的的职责、洁洁净室人人员的准准入制度度、人员员培

17、训教教育规定定、进入入洁净室室人员的的“人净程程序”管理和和退出管管理制度度等。5322 人员净净化与进进入5.3.2.1 在洁净厂房房内众多多的污染染源中，人人是主要要污染源源之一，尤尤其是工工作人员员在洁净净环境中中的活动动，会明明显地增增加洁净净环境的的污染程程度。5.3.2.2 对于高级别别洁净区区域，应应严格控控制进入入人员数数量，并并规范进进行二次次更衣。5.3.2.3 要获得生产产环境所所需要的的空气洁洁净度等等级或延延长空气气过滤器器的使用用寿命，对对进入洁洁净室的的人员、物物料进行行净化十十分必要要。5.3.2.4 为保持洁净净室空气气洁净度度，应尽尽量减少少进入洁洁净室人人

18、员带入入的污染染物。所所有进人人洁净室室的人员员必须严严格地按按规定程程序进行行人身净净化。5.3.2.5 个人衣服物物品全部部放到指指定的柜柜子里，去去掉化妆妆，换上上指定的的服装，按按空气洁洁净度等等级相应应的脱衣衣顺序脱脱衣，放放在规定定的衣柜柜内。5.3.2.6 进入脱衣室室，在更更衣凳前前将皮鞋鞋、拖鞋鞋、帆布布鞋等脱脱下放在在鞋柜内内，禁止止不脱鞋鞋直接跨跨越更衣衣凳而进进入更衣衣室。5.3.2.7 若公司后期期发展需需要更高高洁净级级别要求求的洁净净区域（指指高于IISO Claass77级别）进进入前，需需要设置置盟洗室室用洗手手器洗手手（先用用洁净洗洗涤剂洗洗涤，再再用洁净净

19、水冲洗洗。洗涤涤后用自自动烘手手器烘干干）。5.3.2.8 凡是交叉污污染的媒媒介，要要经常洗洗涤。不不要用手手触及高高净化产产品和高高净化包包装材料料等。要要按规定定戴手套套和指套套。5333 洁洁净室工工作人员员须知5.3.3.1 进入洁净室室的人员员应严格格执行人人身净化化制度、路路线和程程序，任任何人不不得随意意更改。在在洁净室室内必须须按规定定着衣、戴戴帽、换换鞋。5.3.3.2 进入洁净级级别1万级以以及高于于万级的的洁净区区域，必必须至少少经过二二次更衣衣。可先先从一次次更衣室室进入，进进行更鞋鞋、脱外外衣、换换洁净服服、戴口口罩、帽帽子（或或洁净头头套）后后，经过过走廊进进入二

20、次次更衣室室，进行行二次更更衣、更更鞋、戴戴防静电电腕带、戴戴口罩、戴戴帽子，确确认更换换完毕后后，进入入风淋室室进行风风淋后，才才能进入入万级以以及高于于万级的的洁净区区域。5.3.3.3 严禁不通过过风淋而而直接走走旁通门门进入洁洁净室。旁旁通门只只允许人人员出到到洁净间间外以及及发生紧紧急情况况时的进进出。5.3.33.3.1风淋淋室使用用须知A. 风淋室是工工作人员员进入净净化区域域前进行行人身净净化的专专用设备备，它能能将人体体表面吸吸附着的的尘埃用用高速气气流吹去去，使工工作人员员不带污污染源进进入净化化区域，并并能使净净化区域域与非净净化区域域起到气气闸作用用。B. 风淋室设定定

21、和状态态：风淋淋室在投投入使用用前必须须完成调调试和设设定，使使之保持持自动风风淋状态态。C. 风淋室使用用 使用者无需需按任何何键即可可开门进进入风淋淋室内，人人数每次次限定三三人,把把门关好好即可自自动风淋淋,风淋淋时旋转转身体3360度度, 等等待风机机停止工工作以后后蜂鸣响响，内门门开锁，用用户出风风淋室。 按“照明开开”键即可可打开室室内照明明灯。 风淋室的微微电脑对对所做设设定有记记忆功能能,关闭闭风淋室室电源再再次打开开电源时时风淋室室处于上上次操作作的最后后设定状状态。 禁止一线使使用者对对设备的的数值设设定进行行更改，数数据更改改必须由由专业的的管理人人员进行行。 禁止使用者

22、者野蛮对对风淋室室的门（红红外电控控锁）强强行推拉拉而损坏坏设备。 风淋设备若若因使用用不当而而损坏，使使用部门门应据实实反映损损坏原因因，并立立即报修修。 一线员工在在使用过过程中发发现状态态异常，应应立即通通知主管管部门进进行处理理；并停停止使用用风淋室室。D. 风淋室正常常/异常常状态的的界定：1. 风淋室正常常初始化化自检：打开电电源操作作面板LLED数数码显示示时间点点亮，同同时电脑脑控制器器做一次次检测，二二门是否否关闭，有有门开着着则等待待关门，如如果二门门都关闭闭则自动动进入正正常工作作状态。2. 正常工作状状态 如果系统处处于不工工作状态态：按电电源开关关键使系系统处于于工作

23、状状态，LLED被被点亮。 按照明开/关则风风淋室灯灯被点亮亮或熄灭灭，人员员可根据据需要循循环选择择。 系统处于正正常等待待工作状状态时，风风淋室的的两扇门门处于关关闭未锁锁状态。3. 异常状态：喷嘴出出现微弱弱风速、门门不能正正常关闭闭或开启启、电源源操作面面板无显显示。5.3.33.3 .2 进出风风淋室流流程机理理： 进入：当外外门(红红外电控控锁)被被打开时时，内门门（红外外电控锁锁）自动动闭锁。如如果用户户进入风风淋室，经经过红外外探头，风风机将自自动工作作一定时时间，此此时内外外门均闭闭锁，风风机停止止工作以以后蜂鸣鸣响，内内门开锁锁，用户户出风淋淋室。开开门、关关门整个个过程结

24、结束。 退出：当内内门被打打开时外外门自动动闭锁，用用户关门门后，则则内外门门均开锁锁，用户户可以从从任意门门出风淋淋室。开开门、关关门，整整个过程程结束。5.3.3.4 作业人员在在洁净室室内工作作时，动动作要轻轻。严格格执行操操作规程程，不允允许跑跳跳、打闹闹及喊叫叫，不作作不必要要的动作作，不作作易发尘尘和大幅幅度的动动作。5.3.3.5 作业人员在在洁净室室内工作作时，尽尽量避免免人员聚聚集现象象。若个个别工位位无特殊殊协作需需求，其其他工位位员工禁禁止聚集集、围观观与自己己工位工工作不相相干的其其他工位位正常工工作事件件。5.3.3.6 为不干扰气气流，在在作业区区上游侧侧不应放放物

25、品，生生产操作作一般应应在洁净净工作台台或气流流的上游游进行。5.3.3.7 不允许将与与生产无无关和容容易产尘尘的物品品带入洁洁净室，严严禁在洁洁净室内内吸烟、饮饮食和进进行非生生产性活活动。5.3.3.8 患有以下几几种疾病病的员工工是不宜宜进入洁洁净室的的：呼吸吸系统疾疾病（如如严重的的感冒咳咳嗽等，患患者除了了会传播播病菌、病病毒外，还还会因咳咳嗽而产产生大量量的污浊浊颗粒混混入洁净净的空气气中）、皮皮肤疾病病（如明明显脱皮皮、掉皮皮屑的皮皮炎等）；针对上上述情形形若采取取了可靠靠的额外外人净措措施时是是可以进进入洁净净室的。5344 洁净净室人员员退出时时应注意意的事项项5.3.4.

26、1 为了防止再再次进入入和往返返作业对对洁净室室造成交交叉污染染按规定定的顺序序退出洁洁净室。5.3.4.2 洁净室人员员在作业业中途和和作业完完毕在退退出到更更衣区之之前不得得脱掉洁洁净工作作服，进进入更衣衣室先脱脱洁净室室用鞋，放在规规定的场场所。5.3.4.3 必要时脱鞋鞋前洗手手，脱鞋鞋后再摘摘掉帽子子，放在在规定处处。5.3.4.4 脱洁净工作作服时不不要触及及地板、桌桌子和其其他物品品，对于于洁净服服一般由由下至上上脱（由由下至上上是指先先脱鞋、再再脱衣、再再去除帽帽子和口口罩），用用衣架挂挂在规定定的处所所。5.3.4.5 脱去洁净工工作服以以后，若若需再进进洁净室室时，仍仍需按

27、进进入洁净净室的顺顺序进行行人净。5.3.4.6 退出10KK及其以以下级别别洁净室室时不需需要经过过空气吹吹淋。直直接走旁旁通门退退出100K洁净净室是允允许的。5.3.4.7 不能穿洁净净工作服服上厕所所及进入入动力设设备间、仓仓库等非非洁净区区域。54洁洁净服管管理制度度洁净服的管管理包括括：洁净净服采购购和制作作(含材料料选择)、洁净净服使用用管理、洁洁净服的的清洗规规定等。5411 洁净净服采购购和制作作5.4.1.1 洁净服必须须选用由由专业厂厂家制作作的合格格产品。5.4.1.2 洁净服必须须满足工艺艺对洁净净/防静电电等的全全部要求求。5422 洁净净工作服服使用管管理基本本原

28、则5.4.2.1 人员进入洁洁净室首首先由个个人洁净净工作服服专用柜柜或收纳纳处取出出洁净工工作服，若若洁净工工作服尚尚未开封封，需仔仔细切开开包装拿拿出服装装，不沾沾带包装装料碎屑屑。5.4.2.2 穿衣时，不不要使衣衣服触及及地板、桌桌子、椅椅子等物物品，不不要沾污污袖子和和裤腿下下摆，姿姿势要保保持直立立，按从从上至下下顺序穿穿衣戴戴帽穿衣（分分体洁净净服先上上衣后裤裤子）穿鞋，必要要时须设设置专用用的穿衣衣台。5.4.2.3 戴兜帽和帽帽子时要要把头发发全部遮遮住，头头部紧紧紧地包在在兜帽内内。5.4.2.4 若不穿洁净净鞋而采采取代用用鞋套的的临时措措施，穿穿鞋套时时要把裤裤腿下摆摆

29、紧紧地地裹在鞋鞋套内。5.4.2.5 在不违反洁洁服使用用管理基基本原则则前提下下，生产产线可细细化出实实用的和和可操作作性强的的具体规规定。5433 洁净净服的清清洗规定定5.4.3.1 洁净服的清清洗若采采取外协协形式，清洗公司应选取经考察合格的专业清洗公司。5.4.3.2 洁净服的清清洗液不不得对洁洁净服的的性能有有影响；洁净服服的面料料清洗后后不允许许有脱丝丝、掉渣渣。5.4.3.3 清洗后的衣衣物防静静电织物物性能不不应被破破坏，若若被破坏坏，应及及时报废废或降级级使用，降降级使用用应有明明显标记记且禁止止在有防防静电要要求的区区域内使使用。5.4.3.4 清洗完成的的洁净服服应进行

30、行可靠包包装后运运送及存存放，避避免与外外界的交交叉污染染。55 洁洁净室物物流/洁净室室内设备备及工器器具管理理制度5511 物流流管理包包括：进进入洁净净室的物物料准入入制度，物物料的清清理和清清扫规定定、废弃弃物管理理制度等等。5.5.1.1 为防止污染染物带入入洁净室室(区)，所有有送入洁洁净室(区)的各种种物料、原原辅料、设设备、工工器具包包装材料料等均需需按要求求进行外外包装清清理、吹吹净，有有效地清清除外表表面的微微粒。5.5.1.2 在洁净厂房房内根据据空气洁洁净度等等级、产产品生产产的要求求设置必必要的物物料净化化设施，包包括外包包装清理理室，气气闸室或或传递窗窗(柜)等。5

31、.5.1.3 物料在外包包装清理理室拆除除外包装装、装入入洁净容容器内或或当外包包装不能能拆除时时，对其其擦拭清清除尘土土或采用用其他清清除污染染物的方方式对设设备、容容器工具具进行清清洁处理理，并使使清理前前后的物物料以一一定标志志予以区区别。5.5.1.4 洁净区域的的专用周周转小车车、周转转盒必须须有清晰晰的标志志，与非非洁净周周转小车车有明显显的区分分标识，禁禁止混用用。5.5.1.5 对清理外包包装后的的物料应应经过气气闸室或或传递窗窗(柜)才能进进入洁净净室(区)，气闸闸室或传传递窗(柜)的作用用与人员员净化用用气闸室室相似，用用于保持持洁净室室的空气气洁净度度和洁净净室内必必须的

32、压压力。5.5.1.6 传递窗(柜柜)应满足足如下要要求。两两侧门上上设窗，能能看见内内部和两两侧；确确保两侧侧门不能能同时开开启（可可通过两两侧门上上设连锁锁装置或或通过严严格管理理来实现现）；传传递窗内内尺寸可可适应搬搬运物料料的大小小及重量量，气密密性好并并有必要要的强度度；根据据用途的的不同可可设置室室内灯、杀杀菌设施施。5522 洁净净室内设设备及工工器具管管理包括括：设备备及工器器具的搬搬入管理理，清扫扫和清洁洁规定，设设备及工工器具的的退出管管理等。5.5.2.1 工艺设备进进入洁净净区域前前，应事事先明确确运输路路线，清清除设备备运输通通道上的的障碍物物，包括括对活动动洁净围围

33、护板的的拆卸，并并作好隔隔离防护护措施，尽尽可能避避免破坏坏洁净区区域的环环境；若若设备搬搬入可能能对生产产造成污污染，应应提前安安排局部部停产配配合设备备搬入。5.5.2.2 隔离防护的的设施必必须确保保严密可可靠，能能够有效效控制污污染物的的扩散，并并注意监监控其完完好状态态，若有有破损，及及时修补补使严密密完好。5.5.2.3 设备进入洁洁净区域域前，必必须先在在缓冲区区（或缓缓冲地带带）进行行彻底的的清洁和和擦拭。5.5.2.4 在进行设备备、材料料搬运的的过程中中，要严严格进行行洁净控控制，设设备进车车间前注注意在洁洁净缓冲冲区（或或临时缓缓冲走廊廊）的相相关清洁洁工作。尤尤其注意意

34、不得穿穿洁净服服经设备备、材料料通道门门到户外外，如此此经过交交叉污染染过的衣衣服、鞋鞋套、帽帽子再次次无任何何措施又又进入洁洁净室，会会造成洁洁净室交交叉污染染。5.5.2.5 在设备、材材料搬运运期间应应尽可能能避免让让步接受受可能出出现的环环境扰动动，对人人员、设设备、材材料净化化管制应应严格进进行控制制。一定定要严格格控制污污染物扩扩散，尤尤其是交交叉污染染的现象象，否则则会有高高效过滤滤器（HHEPAA）的污污染损失失，以及及额外的的洁净清清理费用用。5.5.2.6 如下图所示示，在洁洁净室批批准入口口处设置置洁净缓缓冲/管管制间，任任何进入入洁净室室内的物物品必须须经过缓缓冲间。5

35、.5.2.7 物品进入洁洁净室的的流程。室外预清洁洁传入缓缓冲区缓冲区区内最终终清洁传入洁洁净室内内 首先，室外外、缓冲冲间（或或临时缓缓冲走廊廊）、洁洁净室内内各有一一支搬运运组（共共三组）候候命，这这三组人人员根据据各自的的环境身身着不同同的服装装：室外外身着普普通工作作服，缓缓冲间内内身着清清洁的服服装并穿穿戴鞋套套，洁净净室内身身着完整整的洁净净服，带带有口罩罩和手套套等，这这三组人人互不能能进入其其它人的的工作区区域。 当有设备、物物品需要要运输时时，首先先室外组组人员对对物品进进行预清清洁，然然后打开开缓冲间间室外侧侧的门（或或设备预预留进出出外门），将将物品传传入缓冲冲区。必必须

36、保证证，在打打开缓冲冲间室外外侧门（或或设备预预留进出出外门）时时，洁净净室侧的的门处于于关闭状状态。 缓冲区（或或临时缓缓冲走廊廊）的那那组人员员对物品品进行最最终的清清洁，并并用干净净的洁净净布检测测合格后后，打开开洁净室室侧的门门，将物物品传入入洁净室室内。如如此才规规范的完完成了物物品传送送和清洁洁的过程程。5.5.2.8 设备搬入完完成并就就位后，立立即清理理设备区区域的杂杂物、拆拆除隔离离防护措措施、恢恢复活动动洁净围围护板，并并对设备备搬入区区域及附附近区域域进行彻彻底的清清扫和清清洁，使使满足洁洁净。5.5.2.9 拆除隔离防防护措施施应注意意控制避避免交叉叉污染，恢恢复活动动

37、洁净围围护板应应保证围围护结构构的密闭闭性，密密封压条条要保证证有效密密封，胶胶密缝应应恢复严严密平整整。5.5.2.10 小型工器具具搬入管管理需要要满足物物流管理理要求。5.5.2.11 大型工器具具搬入管管理可参参照工艺艺设备搬搬入管理理要求执执行。5.5.2.12 设备本身的的清扫和和清洁由由生产部部门及保保养部门门进行规规定的编编制及执执行，但但其可靠靠性必须须满足洁洁净要求求。5.5.2.13 设备和大型型工器具具的退出出与搬入入管理类类似，也也应事先先明确运运输路线线，清除除设备运运输通道道上的障障碍物，包包括对活活动洁净净围护板板的拆卸卸，并作作好隔离离防护措措施，尽尽可能避避

38、免破坏坏洁净区区域的环环境；若若设备退退出可能能对生产产造成污污染，应应提前安安排局部部停产配配合设备备退出。5.5.2.14 设备和大型型工器具具退出后后，立即即清理设设备区域域的杂物物、拆除除临时隔隔离防护护措施、恢恢复活动动洁净围围护板，并并对设备备退出区区域及附附近区域域进行彻彻底的清清扫和清清洁，使使满足洁洁净。56 洁净室室清洁、清清扫和灭灭菌管理理制度5611洁净车车间及洁洁净车间间走廊清清洁操作作程序见见下表：5611-（AA）洁净净车间清清洁操作作程序工具吸尘器、防防静电尘尘推、长长软管、小小毛刷、簸簸箕、防静电尘推推布头、伸伸缩杆、梯梯子、防防静电去去尘布耗材防静电去尘尘剂

39、、防防静电清清洁剂。清洁部位1、 车间墙；2、 门窗、文件件柜、地地面具体操作方法1、 用用伸缩杆杆配合去去尘布，自自上而下下，进行行墙体清清洁，对对污染较较重的局局部用去去尘布沾沾取少量量纯防静静电清洁洁剂擦 ，用去去尘布揩揩拭干净净。2、 用用伸缩杆杆不方便便的局部部，应用用梯子按按同上的的操作方方法清洁洁墙面（如如柜子的的上方）。3、 墙墙面清洁洁完毕后后，用吸吸尘器加加软管吸吸取车间间地面的的粉尘，吸吸尘器应应置车间间的走廊廊上，软软管进车车间，吸吸尘扒头头应从左左到右，先先远后近近的区域域进行吸吸尘，吸吸尘的区区域不能能有间隔隔，以免免漏吸（换换鞋套）。4、 吸吸尘完毕毕后，用用尘推

40、按按照吸尘尘的操作作方法进进行，局局部污染染较重的的地方应应用去尘尘布沾取取少量纯纯防静电电去尘剂剂，用湿湿去尘布布清洁，然然后用干干防静电电去尘布布揩干。5、 门门窗内侧侧、柜子子等附件件的清洁洁用去尘尘布配合合防静电电清洁剂剂先上后后下进行行清理。6、 整整理工具具，定期期将吸尘尘器尘袋袋更换（地地点：车间外外）。7、 车车间内须须回收的的废料放放置在防防静电车车上，从从车间西西门运至至成品库库门口（通通知外围围保洁员员接应），并并分类集集中至成成品库内内。8、 车车间垃圾圾具体清清理程序序见后附附文件。备注以上所用工工具及耗耗材均应应符合威威世公司司要求规规定。5611-（BB）洁净净车

41、间走走廊操作作程序工具防静电尘推推、擦地地机、吸吸水器、长长软管、扫扫帚、梯梯子、防防静电去去尘布、防防静电尘尘推布头头耗材防静电蜡、防防静电清清洁剂、防防静电去去尘剂清洁部位1、墙面；2、门窗窗；3、消防防设施；4、地面面具体操作方法1、A)用用伸缩杆杆配合去去尘布，自自上而下下，由左左向右，进进行墙体体清洁，对对污染较较重的局局部用纯纯防静电电清洁剂剂，用去去尘布揩揩拭干净净。 B)用伸缩缩杆不方方便的局局部，应应用梯子子按同上上的操作作方法清清洁墙面面；对于于石膏墙墙墙体用用吸尘器器自上而而下吸取取浮尘。2、用去潮潮尘布配配合防静静电清洁洁剂先上上后下，由由左至右右进行清清理。3、用无尘

42、尘布由上上侧、外外侧及内内面全部部擦拭干干净，整整理好消消防设备备并检查查有无损损坏，完完好后把把门关闭闭；4、用防静静电尘推推由一侧侧，依次次推尘清清洁。打蜡程序用起蜡水先先行起蜡蜡，用吸吸水机吸吸净残蜡蜡，用清清洁拖布布脱水后后拖净地地面，等等地面彻彻底风干干，再打打防静电电地板蜡蜡（具体体方法和和步骤详详见5622条）。备注以上所用工工具及耗耗材均应应符合公公司要求求规定。正正在清洁洁的区域域应设置置标志牌牌，且清清洁工作作不得与与威世员员工的正正常工作作冲突。5622 地地面打蜡蜡的方法法和程序序56221 需要准准备的机机器和工工具、清清洁剂： 洗地机；吸吸尘吸水水机；抛抛光机；大面

43、积积作业需需配备自自动洗地地机 拖把、蜡拖拖、拖把把扭干器器、水推推 除蜡剂、中中性多功功能清洁洁剂 除蜡垫（黑黑色）、清清洁垫（红红色、白白色）、抛抛光垫（白白色）56222 如果地地面已经经打过蜡蜡，且蜡蜡面已失失去光泽泽或者已已经磨损损出现斑斑驳和脱脱落，在在打蜡前前就需要要对洁净净室地面面先进行行除蜡。除蜡的方法法及流程程如下：用拖把将除除蜡剂均均匀涂在在蜡的表表面，作作用5分分钟后看看到乳白白色泡沫沫越来越越多，就就可以用用装有除除蜡垫的的洗地机机清洗地地面用洗地机清清洗地面面直至看看不到蜡蜡层，如如果蜡层层较厚，一一次可能能除不干干净，需需要再用用除蜡剂剂除第二二次，用用吸水机机将

44、水吸吸干用拖把和清清水将地地面拖试试干净，一一定要多多拖拭几几遍，确确保地面面不再含含有除蜡蜡剂的残残液，以以免影响响重新打打蜡的效效果56223 如果地地面没有有打过蜡蜡，可直直接用兑兑有多功功能清洁洁剂的溶溶液（按按1：440的比比例添加加），用用装有洗洗地垫的的洗地机机清洗地地面，然然后将地地面拖拭拭干净，待待地面完完全干燥燥后开始始打蜡。56224 打蜡的的程序准备：将适量的封封地蜡倒倒入拖把把扭干器器中，将将蜡拖用用水湿润润并扭干干。按照由边向向内由里里而外的的原则，让让蜡拖按按形运运行，注注意蜡拖拖每次沾沾蜡不可可太多也也不可太太少，均均匀涂抹抹，不要要漏抹。30分钟后后确认安安全

45、干燥燥后再按按同样的的做法打打面蜡22遍。干干燥的标标准：不不沾手，不不粘脚。完全干燥后后可进入入抛光的的程序：应选择择转速115000转以上上的抛光光机和220#白白色抛光光垫进行行抛光，抛抛光时要要慢慢运运行，抛抛光后此此时的亮亮度没有有达到最最亮，224小时时后再做做一次抛抛光其亮亮度可达达到900。5633 洁洁净车间间垃圾清清理程序序5631 保洁人员在在外运洁洁净区内内的垃圾圾前，通通知保安安人员，在在保安人人员的监监督下实实施将洁洁净区内内的垃圾圾外运的的操作。5632 车间内的保保洁员从从车间内内把装有有废料的的垃圾桶桶放置专专用防静静电车，从从车间西西门运至至原材料料库门口口

46、。5633 将废料倾倒倒至原材材料库门门口的临临时垃圾圾站的垃垃圾桶内内。5634 通知外围保保洁员接接应。（注注：每天天早上88点清倒倒一次，下下午4点点清倒一一次）5635 外围保洁员员将车间间内的垃垃圾桶拉拉出原材材料库内内侧门，将将垃圾清清倒入已已准备好好的周转转垃圾桶桶内。5636 车间内的垃垃圾桶重重新进入入车间内内，必须须清洁干干净后（包包括垃圾圾桶底部部车轮），再再放回指指定位置置。5637 外围保洁员员把周转转垃圾桶桶运至车车间外的的垃圾站站进行清清理。5638 洁净车间垃垃圾清理理注意事事项& 需倾倒垃圾圾时，原原材料库库内门与与外门不不能同时时打开。& 外围人员不不能进入入车间，车车间人员员不能走走出室外外。& 车子不能里里外穿行行，只能能倒运车车箱。5644 洁洁净室清清洁、清清扫和灭灭菌管理理制度参参考文件件：负责清洁服服务的部部门，应应根据公公司实际际情况制制定清洁洁服务计计划，明明确具体体的清洁洁内容、周周期、频频次以及及对应