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1、精选学习资料 - - - - - - - - - 办公精品 欢迎下载广东德洛斯照明工业有限公司无尘车间治理制度10 无尘车间治理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的干净要求,为了满意生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必需对干净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行掌握；20 无尘车间治理的原就2.1 进入干净室的治理,包括对干净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的保护治理,应做到不得将微粒、微生物带入干净室；2.2 操作治理技术,对干净室内人员用干净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的挑选和清扫、灭茵等,尽可能地减少、防止干净
2、室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁衍等；2.3 严格各类设备、设施的保护治理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具 工装夹具 等；以确保产品生产工艺要求和空气干净度等级；2.4 清扫、灭菌治理,对干净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、捎除干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁衍；2.5 干净室环境掌握的内容包括：空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物掌握以及微振动、噪声、静电的掌握、防止等；30 适用范畴半导体公司全部干净生产区及干净帮助间包括人员
3、净化用室、 物料净化用室和相关生活用室等 、车间内治理区 包括部分办公、值班、治理和体息室等 和将来新建、改建、扩建的干净厂房及其帮助用房；40 术语：无名师归纳总结 - - - - - - -第 1 页,共 4 页精选学习资料 - - - - - - - - - 办公精品 欢迎下载50 治理程序 51 无尘车间干净室施工治理制度511 背景 5111 半导体制造业必需在干净的环境中进行,在施工中必需遵循行业规章和 程序；本文件列出了这些规章和程序的概要；为了保证项目的胜利,现场 的每一位人员都必需遵守；5112 图纸上对于施工的干净建设草案将被强制执行；这包括除了原料和成品 仓库以外的全部主
4、厂房内的地方；5113 干净室施工 治理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后 期全部干净室施工项目仍根据本制度规定的原就进行治理；512 责任与义务 5121 全部承包商有责任确保他们的工人都明白这些规章和程序,并且在他们 疏于遵从或违反时赐予培训和训练；被安排到干净建设区域的每位工人有责任和义务懂得并遵守干净建设规章和程序；5122 承包商负责执行干净室草案；他将每天对干净建设区域进行检查,并填 写检查清单；承包商负责供应干净室所需物品,例如：鞋套,毛巾,垫子和工装；他也负责供应每日执行干净规章和程序的人员和设备；5123 承包商建造区域入口并对其进行治理；他供应清洗晾晒每个入口
5、处鞋、外套和衣服的清洗店；他将对在干净区域工作的人员进行培训,并保护被 答应在此区域工作的人员身份认定和治理；5124 开头阶段,承包商应在每个入口处支配人员（除非半导体公司在该入口 处支配有人员）以确保本规章和程序的执行；5125 重复违反规章和程序的人员将被开除；没有贯彻执行本规章和程序的供 应商将被除名；52 无尘车间干净度定期检测制度 /测量标准5.2.1 为了保证干净室的干净度满意工艺要求,必需定期对干净室内的干净度进行检测；名师归纳总结 5.2.2检测测试设备：激光粒子记数器第 2 页,共 4 页5.2.3检测周期：每周一上午、下午对各干净区域进行一次检测- - - - - - -
6、精选学习资料 - - - - - - - - - 办公精品 欢迎下载5.2.4 检测条件：静态干净度测试5.2.5 数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的干净度记录图表电子档通报给各部门；5.2.6 各干净区域干净级别标准：根据半导体公司能源治理标准要求执行；区域、系统名称 干净等级标准 相当于 ISO级别 等效于 GB级别K-1 系统 划片区域 静态 1 万级 CLASS 7 CLASS 7 K-1系统改造前为静态 10万级 CLASS 8 CLASS 8 K-2 系统 包封区域 静态 30 万级 CLASS 8 3 CLASS
7、8 3 K-3 系统 搪锡区域 静态 30 万级 CLASS 8 3 CLASS 8 3 K-4 系统 测试区域 静态 30 万级 CLASS 8 3 CLASS 8 3 K-8 系统 电镀区域 静态 30 万级 CLASS 8 3 CLASS 8 3 现有其他空调系统 舒服性空调系统,无干净要求Not Applicable Not Applicable 5.2.7 干净室用净化空调系统及设备的保护治理与相应的操作规程、修理制度等（包括净化空调系统和干净室相关的公用动力系统的设备、管线等治理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行威世半
8、导体 SOP 文件；53 干净室人员治理制度西安 有限公司厂务部相关531 干净室的人员治理包括：制定专职治理人员的职责、干净室人员的准入制度、人员培训训练规定、进入干净室人员的 532 人员净化与进入“人净程序 ”治理和退出治理制度等；5.3.2.1 在干净厂房内众多的污染源中,人是主要污染源之一,特别是工作人员在干净环境中的活动,会明显地增加干净环境的污染程度；5.3.2.2 对于高级别干净区域,应严格掌握进入人员数量,并规范进行二次更衣；5.3.2.3 要获得生产环境所需要的空气干净度等级或延长空气过滤器的使用寿命,对进入干净室的人员、物料进行净化非常必要；名师归纳总结 - - - -
9、- - -第 3 页,共 4 页精选学习资料 - - - - - - - - - 办公精品 欢迎下载5.3.2.4 为保持干净室空气干净度,应尽量削减进入干净室人员带入的污染物；全部进人干净室的人员必需严格地按规定程序进行人身净化；5.3.2.5 个人衣服物品全部放到指定的柜子里,去掉化妆,换上指定的服装,按空气干净度等级相应的脱衣次序脱衣,放在规定的衣柜内；5.3.2.6 进入脱衣室,在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内,禁止不脱鞋直接跨过更衣凳而进入更衣室；5.3.2.7如公司后期进展需要更高干净级别要求的干净区域（指高于ISO Class7级别）进入前,需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用干净洗涤剂洗涤,再用干净水冲洗；洗涤后用自动烘手器烘干）；5.3.2.8 凡是交叉污染的媒介,要常常洗涤；不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等；要按规定戴手套和指套；名师归纳总结 - - - - - - -第 4 页,共 4 页