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1、NeoScope JCM-5000 培训报告培训时间：2009.6.8地点： 苏州中翰培训人：NIS 刘志受训人：杨卫培训内容：SEM 整机安装，transportation lock的拆卸，操作软件的安装，SEM开机后操作与运用，SEM整机拆卸安装环境要求：主机系统安装：1. 部件：rotary pump，JCM5000 main unit，PC 2. 连接：主机与机械泵用两根抽真空橡胶管连接IEEE1394 主机与电脑连接键盘与鼠标连接电源线连接主机与机械泵操作流程：1.操作流程：3. 双击软件界面，进入操作界面，操作界面及其说明如下：操作：开机：1.按下主机上power按键 2.开PC与
2、显示器 3.翻开JCM5000应用软件 翻开桌面上的start JCM-5000图标4. SEM会依据标准的recipe显示出SEM扫描样品的图像样品打算工作，specimen holder 的安装：运用标准的样品holder（44mm）：1. 样品固定在垫块上，2.调整高适宜的高度2. 假设没有运用标准的holder，可依据如下的标准安装样品用导电胶带粘住样品测量holder至样品的顶端的高度聚焦，任何样品的高度测量P.S：留意最高不要超过52mm，以免遇到探头，造成损害更换样品与开场抽真空：1. 按VENT按键换气，拉开样品室门取下holder2. 将新的样品固定在holder上调整样品台
3、的X_Y周，将三角尖端对准C形圈中心3. 按下样品室门，等待VENT 开场的时候松开手，4. 开场抽真空，显示evacuation状态开场recipe操作形式：当真空抽好后，软件界面会显示recipe状态1.brightness调整，点击此按键SEM会自动调整至最佳亮度2.自动聚焦：软件会自动先调整focus在调整 stigmation 至最佳3.调整X轴，Y轴预览图像4.调整View按键，可获得更高质量的图像5.放大倍率调整，通过鼠标滚轮，调整放大倍率10-20000倍获得图片： 当按下photo按键时，图像会进展自动扫描一副高质量图像并保存 可选择高区分率与帧叠加两种形式短暂不运用SEM：
4、 可点击filament按键关闭灯丝关闭SEM1. 点击Power OFF按键2. 将主机上power按键按至O一边3. 关闭JCM-5000软件手动设置操作的参数：1. 点击Adjust按键，手动调整参数比照度&亮度： 自动亮度比照度 手动亮度比照度，用鼠标调整亮度比照度按钮聚焦调整： 依据Height的设置的不同会影像到自动聚焦的效果 Height设置如图图像平移功能：分样品台X轴，与Y轴平移获得挪动图像电子束平移功能获得平移图像 电子束旋转： 点击Rotation按钮，可进展图像旋转 可连续旋转，可0,90,180,270度旋转像散校正： 可自动消像散，与手动消象散 放大倍率调整： 用鼠标中键滚轮连续调整放大倍率也可在此栏里调整放大倍率样品长度测量：点击Measure按钮，可对样品进展长度测量获得图像：点击Photo按钮，自动扫描并保存查看保存的图像： 依据制定途径获得所拍图像设置不同操作参数的Recipe第 4 页