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1、Four short words sum up what has lifted most successful individuals above the crowd: a little bit more.-author-dateNeoScope-培训报告NeoScope JCM-5000 培训报告NeoScope JCM-5000 培训报告培训时间:2009.6.8地点: 苏州中翰培训人:NIS 刘志受训人:杨卫培训内容:SEM 整机安装,transportation lock的拆卸,操作软件的安装,SEM开机后操作和使用,SEM整机拆卸安装环境要求:主机系统安装:1. 部件:rotary
2、pump,JCM5000 main unit,PC 2. 连接:主机和机械泵用两根抽真空橡胶管连接IEEE1394 主机和电脑连接键盘和鼠标连接电源线连接主机和机械泵操作流程:1.操作流程:3. 双击软件界面,进入操作界面,操作界面及其说明如下:操作:开机:1.按下主机上power按键 2.开PC和显示器 3.打开JCM5000应用软件 打开桌面上的start JCM-5000图标4. SEM会根据标准的recipe显示出SEM扫描样品的图像样品准备工作,specimen holder 的安装:使用标准的样品holder(44mm):1. 样品固定在垫块上,2.调整高合适的高度2. 如果没有使
3、用标准的holder,可按照如下的标准安装样品用导电胶带粘住样品测量holder至样品的顶端的高度聚焦,任何样品的高度测量P.S:注意最高不要超过52mm,以免碰到探头,造成损害更换样品和开始抽真空:1. 按VENT按键换气,拉开样品室门取下holder2. 将新的样品固定在holder上调整样品台的X_Y周,将三角尖端对准C形圈中心3. 按下样品室门,等待VENT 开始的时候松开手,4. 开始抽真空,显示evacuation状态开始recipe操作模式:当真空抽好后,软件界面会显示recipe状态1.brightness调节,点击此按键SEM会自动调节至最佳亮度2.自动聚焦:软件会自动先调节
4、focus在调节 stigmation 至最佳3.调节X轴,Y轴预览图像4.调节View按键,可获得更高质量的图像5.放大倍率调整,通过鼠标滚轮,调整放大倍率10-20000倍获取图片: 当按下photo按键时,图像会进行自动扫描一副高质量图像并保存 可选择高分辨率和帧叠加两种模式暂时不使用SEM: 可点击filament按键关闭灯丝关闭SEM1. 点击Power OFF按键2. 将主机上power按键按至O一边3. 关闭JCM-5000软件手动设置操作的参数:1. 点击Adjust按键,手动调节参数对比度&亮度: 自动亮度对比度 手动亮度对比度,用鼠标调整亮度对比度按钮聚焦调节: 根据Height的设置的不同会影像到自动聚焦的效果 Height设置如图 图像平移功能:分样品台X轴,和Y轴平移获得移动图像电子束平移功能获得平移图像 电子束旋转: 点击Rotation按钮,可进行图像旋转 可连续旋转,可0,90,180,270度旋转 像散校正: 可自动消像散,和手动消象散 放大倍率调整: 用鼠标中键滚轮连续调节放大倍率也可在此栏里调整放大倍率样品长度测量:点击Measure按钮,可对样品进行长度测量获取图像:点击Photo按钮,自动扫描并保存查看保存的图像: 按照制定路径获得所拍图像设置不同操作参数的Recipe-