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1、自动化清洗设备解决方案Date: 2008.9.12系统介绍 : 根据 Intel 摩尔定律，每18 个月晶圆制程将提升一倍，伴随晶圆片的面积不断扩大，其生产工艺与系统稳定性需要同步提升数十倍甚至上百倍，因此，半导体厂商必须提升设备制程来满足客户的需求，12 晶圆清洗设备便应运而生。半导体 12 晶圆清洗设备适用于加工工艺精密度高、造价较为昂贵的晶圆生产制程，对加工条件和精密度的要求很高。近年来，大多数厂商将这些机器融入智能化的特征，并且整合了节能等功能。系统需求 : 传统的半导体设备开发习惯采用“PLC 触摸屏 ” 为主的系统集成， 当设备庞大到一定程度时，其运动控制工艺与配置将面临严峻的挑
2、战，所以若仅采用一般的“PLC+ 触摸屏 ” 方式将遇到许多问题，如：庞大的设备体积增加了配线的复杂度与系统运送的难度、100 通道以上的高速数据采集与精确模拟量输出的实时性、超过 60 轴的多轴联动控制的整合开发难度、维持运作系统的长期性与稳定性、海量参数配方存取的难度、通过 GPIB 接口与仪表的结合、知识产权保护的难度等。解决方案 : 名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 1 页，共 3 页 - - - - - - - - - IPPC-4000D5.7 VGA TF
3、T LCD 4U 19上架安装工业自动化机箱，带7 个扩展槽FPM-3150G15 LCD （Direct-VGA端口）工业平板显示器PCI-1758UDIO128 通道隔离数字量I/O 通用 PCI 卡PCI-1724U14 位， 32 通道隔离模拟量输出卡PCI-1747U250kS/s ，16 位， 64 通道通用 PCI 卡PCI-1202U2 端口 AMONet RS-485 PCI主站卡AMAX-2241/PMA 4 轴带 AMONet 接口的运动控制从站模块AMAX-2756SY32 通道隔离数字量输入/输出从站模块PCI-1671用于 PCI 总线计算机的高性能IEEE-488
4、.2 系统架构图 : 系统描述 : 本系统采用 IPPC-4000D双核高效能控制器，结合数据采集卡（PCI-1724U, PCI-1747U, PCI-1785UDIO）与分布式运动控制方案(PCI-1202U, AMAX-2241, AMAX-2756SY)，搭建起当今半导体行业最稳定、最先进的自动化系统，控制所有晶圆生产过程中的化学材料调配、清洗及载送等制程。AMAX 系列从站模块与名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 2 页，共 3 页 - - - - - - -
5、- - 高精度的驱动电机之间完美整合，实现了复杂的晶圆运送。通过结合高速数字量的输入和输出控制，确保了晶圆的生产位置准确定，确保监控所有化学剂量操作的精确性，达到一体化控制的集成与优化。该晶圆清洗设备内部控制60 组电机、 300 点数字量与100 点模拟量输入输出，通过 GPIB 接口与仪表， 完成药剂配制与监控。系统提供了丰富的通讯端口，支持多样的系统设备，如按钮、指示灯号、生产数据存储、驱动电机等。凭借微软嵌入式系统与开发系统的集成优势，可以轻易实现人机接口与数据库的转换与存储，经由以太网端口将生产数据上传到后台的数据库中。结论：本系统通过集成的双核控制器、多样的数据采集卡、分布式运动控
6、制方案及各种功能模块，大幅缩短了系统的响应时间，有效提升了生产的精密度与稳定性。基于AMONet 分散式架构具备的高稳定高效能的运动通讯机制，结合模块化与前出线设计特点，可轻易搭建出各种大型测试设备与长距离生产流水线。同时，AMONet 的弹性架构满足了设备拆装方便的需求，大大降低了运送与维护的风险。本系统增加了电子测量数据、电算机、网络通信、实时自动控制、自动装置调整和系统自我诊断等功能，确保了生产的可靠性与控制的精密程度，提高了生产的质量与效率。名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 3 页，共 3 页 - - - - - - - - -