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1、采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物IMIM消影玻璃镀消影玻璃镀膜技术工艺膜技术工艺采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物内内 容容 提提 要要v什么是消影ITOv消影ITO的膜层结构v消影ITO的特性v消影ITO技术指标v消影ITO的工艺控制参数vIM膜层调试方法采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物什么是
2、消影什么是消影ITOv 消影ITO玻璃: 是通过在ITO膜和玻璃之间镀上一层IM膜(INDEX MARGIN层),使ITO玻璃在刻蚀制作电容屏线路之后,可见光波长500nm650nm区间,ITO层蚀刻前后反射率R%0.5%,减少ITO区域和非ITO区域的视觉反差,使得电容屏ITO刻蚀线条变淡,线路的图案在常光下看不见图案线条,起到消除图案的效果的IM+ITO玻璃。v消影消影ITOITO与普通与普通ITOITO比较,具备同样导电性的同时还以下优点比较,具备同样导电性的同时还以下优点: : 1. 1. 玻璃透过率增加,反射率减小具有玻璃透过率增加,反射率减小具有ARAR膜功能,在同等膜功能,在同等
3、 背光源的前提下,能通过背光源的前提下,能通过减少环境光影响获得更好的视觉亮度;减少环境光影响获得更好的视觉亮度; 2. 2. 减少减少ITOITO区域和刻蚀后非区域和刻蚀后非ITOITO区域的视觉反差,使得电容屏区域的视觉反差,使得电容屏ITOITO刻蚀线条变淡,提刻蚀线条变淡,提高视觉效果。高视觉效果。采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO的膜层结构的膜层结构v膜层组合GLASSITO层IM层膜系组成:IM(NB2O5/SiO2)+ITO根据ITO阻值不同,IM层厚度也需要做不同的
4、调整。目前常用的消影ITO阻值为80120/ITO膜厚范围20-27nm采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO的特性的特性v透过曲线比较普通 ITO消影 ITO采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO的特性的特性v反射曲线比较采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO的特性的
5、特性1.ITO消影玻璃在=500650nm范围,ITO刻蚀前反射R%与刻蚀后反射r%的差小于0.5是最佳的消影效果即符合公式2.CIE L*a*b*反射颜色值符合公式:(UV-2401PC)5.0%rRR5 . 1*5 . 0*后前后前bbbaaa采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO工艺指标(内控)工艺指标(内控)透过与反射透过与反射 IM层550nm透过率最佳控制在90.5%0.2%,反射率控制在8.8%0.2%。类别类别400nm450nm550nm650nmT% 刻蚀前刻蚀前8
6、9%89%90%90%R% 刻蚀前刻蚀前11.%9.8%9%9%t% 刻蚀后刻蚀后89.591%89.591%90.391%9091.5%r% 刻蚀后刻蚀后89.1%8.39.5%8.59%8.39.0%采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO工艺指标工艺指标颜色指标颜色指标vCIE L*a*b*范围(反射颜色)反射550nm颜色值控制:标准值: -1.0a*0 -3.0b*1.0内控值: -1.0a*-0.5 -2.0b*0.5注意:CIE L*a*b*颜色坐标值,a*与b*尽可能控制
7、在负值范围内,所做出来的产品颜色才保证不会发黄。采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO的工艺控制参数的工艺控制参数靶材:NB,SiAl靶 + ITO靶(连镀)阴极靶位:NB靶 (1个) SiAl靶(5个); ITO靶(2个)温度设置:设定200C-450 C气体及功率详细工艺根据设备不同而定采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物消影消影ITO的工艺控制参数的工艺控制参数v IM层膜厚控制:(
8、总膜厚75-78nm) NB2O5 4.86nm(DT或康宁玻璃5.66.4nm) SiO2 6672nm (DT或康宁玻璃6064nm) 说明: 各层膜厚准确控制,是消影效果的保证,设计膜系厚度NB/6;SIO2/64;配合ITO/24是理想的膜厚。采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物IM膜层调试膜层调试v按工艺指导书参考工艺卡,设定各层使用的功率试镀,工艺片采用0.7mm薄片,基板采用客户报废的原基片玻璃。vF20检测薄的膜层时偏差较大,因此,第一层NB2O5膜厚并不准确,调试过程只做光谱曲线
9、参考,主要依据UV2450扫描光谱曲线对照各波段反射指标控制。采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物IM膜层调试膜层调试v膜厚变化调整规律:膜厚变化调整规律:u 当NB2O5层膜偏厚时反射曲线会以中部为点整体上抬,反射率增大,反之,偏薄则会整体下降,趋向平直,反射率减小。u 当SiO2层偏厚,反射曲线随着膜厚的增加而下降,且450nm以下越向下弯,反射率减小。超过90nm厚度后,400nm反而向上翘起。膜厚偏薄时,反射率增大,随着厚度减小,450nm以下的曲线逐步向上抬高。u 当两层都薄时,曲线变为
10、从400nm向700nm倾斜;当两层都厚时曲线从550nm处前端开始向下弯曲。采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物IM膜层调试(颜色控制膜层调试(颜色控制)颜色值控制负值范围方法: 1 1、当发现颜色值出现正值,说明、当发现颜色值出现正值,说明600nm600nm之后的之后的反射增加了,查看反射曲线,如反射率在控制范反射增加了,查看反射曲线,如反射率在控制范围,只需将第二层膜厚减小,使反射曲线的反射围,只需将第二层膜厚减小,使反射曲线的反射率从率从450nm450nm向向650nm650nm递减,
11、一般情况都可以纠正过递减,一般情况都可以纠正过。2 2、假如反射率曲线都很低,除了减少第二层膜厚、假如反射率曲线都很低,除了减少第二层膜厚之外,第一层适当的增加膜厚。之外,第一层适当的增加膜厚。采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物参考附件:参考附件: 正常工艺曲线正常工艺曲线采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物参考附件:正常工艺曲线参考附件:正常工艺曲线vUV-2450曲线采用PP管及配件:根据给水设
12、计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物参考附件:异常参考附件:异常SIO2偏厚采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物参考附件:异常参考附件:异常NB2O5/SIO2两层都薄采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物参考附件:异常参考附件:异常NB2O5厚采用PP管及配件:根据给水设计图配置好PP管及配件,用管件在管材垂直角切断管材,边剪边旋转,以保证切口面的圆度,保持熔接部位干净无污物谢谢谢谢