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1、一一 玻璃基板玻璃基板 清洗清洗玻璃基板清洗透明导电薄膜溅镀成型透明导电薄膜溅镀成型glass溅镀溅镀栅极线栅极线CSCS（电容）（电容）gas：Kr N2涂光阻胶涂光阻胶玻璃基板涂光阻胶涂光阻胶暴光暴光玻璃基板掩膜掩膜清除已经发生化学变化的光阻胶清除已经发生化学变化的光阻胶玻璃基板蚀刻蚀刻玻璃基板去光阻胶去光阻胶玻璃基板栅极CsCs（存储（存储电容）电容）栅极Open/Short Text glasstext二二 I/S PEP 清洗清洗玻璃基板清洗清洗AP-CVDglass SiH4 O2 N2Gate SiOx清洗清洗玻璃基板清洗清洗P-CVDglassSiH4 N2O N2SIH4 N
2、H3 N2SIH4 H2SiH4 NH3 N2SiOxSiOxg-SiNxg-SiNxa-sia-siSiNx SiNx ClenaingglasscleaningO2 ashingglassSiNx SiOxSiNx SiOxCoating(涂覆光阻胶涂覆光阻胶)glassBack exosreglassExposure（暴光）（暴光）glassDeveloping（显影）（显影）glassWet etching（湿蚀刻）（湿蚀刻）glassStrip（剥落光阻胶）（剥落光阻胶）glass三三 AI PEP cleaningGlassN+cleaningP-CVDglassN+a-siN+a
3、-siCoating（涂覆光阻胶）（涂覆光阻胶）glassExposure（暴光）（暴光）glassDeveloping（显影）（显影）glassCDE dry etching（干蚀刻）（干蚀刻）glassStrip（剥落光阻胶）（剥落光阻胶）glass四四 PX PEP CleaningglassITO cleaningITO sputter（ITO溅镀）溅镀）glassITO sputterITO sputterITO cleaning（ITO清洗）清洗）glasscleaningCoating（涂覆光阻胶）（涂覆光阻胶）glassExposure （暴光）（暴光）glassDevelop
4、ing （显影）（显影）glassWet etching （湿蚀刻）（湿蚀刻）glassStrip （剥落光阻胶）（剥落光阻胶）glass五五 TH PEP CoatingglassExposure （暴光）（暴光）glassDeveloping （显影）（显影）glassWet etching （湿蚀刻）（湿蚀刻）glassSttip （剥落光阻胶）（剥落光阻胶）glass六六 SL PEP ClenaingglassS/D cleaningS/D Sputter（Sourse Date Line 溅镀）溅镀）glassS/D sputterS/D sputterS/D Cleaning（S
5、/D 清洗）清洗）glasscleaningCoating （涂覆光阻胶）（涂覆光阻胶）glassExposure （暴光）（暴光）glassDeveloping （显影）（显影）glassS/D Etching（S/D蚀刻）蚀刻）glassN+Cut（N+ 切割）切割）glassStrip （剥落光阻胶）（剥落光阻胶）glass七七 PV PEP CleaningglasscleaningP-CVDglassCoating （涂覆光阻胶）（涂覆光阻胶）glassExposure （暴光）（暴光）glassDeveloping （显影）（显影）glassDry etching（干蚀刻）（干蚀刻）glassStrip （剥落光阻胶）（剥落光阻胶）glassTEXTglassTEXTglass