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1、敏感器件设计电子信息工程学院2005，4，18敏感元件概述 敏感元件和传感器 敏感元件的集成化和智能化 敏感元件的种类 MEMS微电子机械系统。 传感器和微电子机械的应用领域。敏感元件和传感器 SENSOR敏感元件从系统的前级取出所需信息的元器件感受敏感器敏感元件装置接触元件探测器设备初级检测器Ex.: optoelectronic sensor光电子传感器 TRANSDUCER -传感器转换器; 变流器, 换频器; 发送器; 传送器; 传感器(把能量从一种形式转换成另一种形式的装置。)Sandia National Laboratories iMEMSwww.sandia.gov Pre-e
2、tched trench to house MEMS structures CMP to planarize the wafer for regular CMOS processing Wet etch to release MEMS structures Need a dedicated production line敏感元件的集成化和智能化 敏感元件的集成化CCD sensor 阵列和信号处理结构的集成光敏开关，热敏开关：传感器和转换开关集成 敏感元件的智能化遥感摄像:数据记忆、储存身份识别：签字或指纹、声音等得比较、判决 微电子机械（microelectronic machine sys
3、tem)敏感元件的种类力敏sensor热敏传感器湿敏传感器气敏传感器光敏传感器磁敏传感器压敏传感器离子敏sensor声敏sensor射线敏sensor色敏sensor电磁波敏sensor军用sensor医用sensor生化sensor民用sensorMEMS微电子机械系统潜艇：惯性制导、飞机：导航系统卫星：加速度计导弹：放射线探测器汽车：压力传感器、液面传感器、尾气催化蜂窝载体手机：电感线圈、麦克通信：光开关（微镜）计算机：摄像头、打印头（喷嘴）生物芯片Basic technology of MEMS qBulk micromachiningWet etchSubstrateDRIEwww.b
4、co-Sacrificial layerstructural layerwww.mit.eduMicromotorqMicromirror arrays for compact projectorsqAccelerometers for automotive airbagsqMicromirrors for optical switchingqMany othersmicrostructuresTexas InstrumentsDigital Micromirror DeviceAnalog DevicesAccelerometerLucent Technologys2D micromirro
5、r for optical switchMEMS有何应用? Application AreasBiosensors 生物传感器生物传感器Biomedical imaging 成像成像Lab-on-chip 检测芯片检测芯片Micro-pumps, Chemical sensorsMicro fluidics 流体学流体学Mass spectroscopy质谱质谱Inertial sensors 惯性惯性Gas sensorsPressure, liquid level水平面水平面, Micromirrors 微镜微镜All-optical switchesMicrophonesMicrospe
6、akersMicromirrorsInertial sensorsBiomedical imaging敏感器件设计电子信息工程学院2005，4，21敏感元件的种类力敏sensor热敏传感器湿敏传感器气敏传感器光敏传感器磁敏传感器压敏传感器离子敏sensor声敏sensor射线敏sensor色敏sensor电磁波敏sensor军用sensor医用sensor生化sensor民用sensor敏感元件的种类 微敏感元件MICRO-SENSOR 微传感器自身 从系统的前级取出所需信息的元器件， 敏感元件、传感器TRANSDUCER部件对输入信号进行转换后的具体输出，指功能器件的结构和执行部件微传感器
7、机械类：力学、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、位置、流量传感器 磁学类：磁通计、磁场计 热学类：温度计 化学类：气体成分、湿度、PH值和离子浓度传感器 生物学类：DNA芯片微执行部件 微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等 微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等 微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等喷雾给药中的微喷嘴敏感元件基础 敏感元件的种类 敏感元件的特性传感器的一般特性 传感器静态特性 传感器动态特性传感器静态特性 线性度
8、灵敏度 重复性传感器动态特性 动态测试的问题 传感器特性研究方法和指标 传感器数学模型 传递函数阵列集成结构 真空微电子器件：它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物，具有极快的开关速度、非常好的抗辐照能力和极佳的温度特性。主要包括场发射显示器、场发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传感器等 电力电子器件：包括利用MEMS技术制作的垂直导电型MOS(VMOS)器件、V型槽垂直导电型MOS(VVMOS)器件等各类高压大电流器件汽车工业每部汽车内可安装30余个传感器： 气囊，压力、温度、湿度、气体等微喷嘴智能汽车控制系统工业控制化工厂自动化控制中的探测器等敏感器件设计电子信息工
9、程学院2005，4，25传感器的发展方向 1、向高精度发展： 随着自动化生产程度的不断提高，对传感器的要求也在不断提高，必须研制出具有灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可操作性。目前能生产万分之一以上的传感器的厂家为数很少，其产量也远远不能满足要求。 传感器的发展方向 2、向高可靠性、宽温度范围发展： 传感器的可靠性直接影响到电子设备的抗干扰等性能，研制高可靠性、宽温度范围的传感器将是永久性的方向。提高温度范围历来是大课题，大部分传感器其工作范围都在-2070，在军用系统中要求工作温度在-4085范围，而汽车锅炉等场合要求传感器工作所限的温度更高或温度范围更
10、宽，因此发展新兴材料（如陶瓷）的传感器将很有前途。 传感器的发展方向 3、向微型化发展： 各种控制仪器设备的功能越来越强，要求各个部件挤占位置越小越好，因而传感器本身体积也是越小越好，这就要求发展新的材料及加工技术，目前利用硅材料制作的传感器体积已经很小。如传统的加速度传感器是由重力块和弹簧等制成的，体积较大、稳定性差、寿命也短，而利用激光等各种微细加工技术制成的硅加速度计体积非常小、互换性可靠性都较好。传感器的发展方向 4、向微功耗及无源化发展： 传感器一般都是非电量向电量的转化，工作时离不开电源，在野外现场或远离电网的地方，往往是用电池供电或用太阳能等供电，开发微功耗的传感器及无源传感器是
11、必然的发展方向，这样既可以节省能源又可以提高系统寿命。目前，低功率损耗的芯片发展很快，如T12702运算放大器，静态功耗只有1.5A，而工作电压只需25V。 传感器的发展方向 5、向智能化数字化发展： 随着现代化的发展，传感器的功能已突破传统的功能，其输出不再是一个单一的模拟信号（如010mV），而是经过微电脑处理好后的数字信号，有的甚至带有控制功能，这就是所说的数字传感器。 敏感元件材料基础 敏感元件的物理效应 敏感元件的机理 敏感元件材料 开发温-光敏、力-光敏、磁-光敏、电-光敏、核-光敏等各类敏感材料，研究光纤传感工程化的关键技术新型特种敏感光纤。二、技术开发的总体目标和重点任务 重点
12、开发高精度NTC传感器产品技术、高可靠PTC热敏电阻技术、合金薄膜压力传感器生产技术、光纤传感器技术；形成力、热、磁传感器的规模化生产。 敏感元件及传感器生产技术，近年来在世界各国得到迅速发展。美国、法国、德国、荷兰、俄罗斯、 日本等国已实现产业化。我国在研制敏感元件及化感器方面有一定技术基础并已研制开发了部分敏感元件及传感器，主要技术性能指标已达到国际先进水平，但目前尚未实现工业化生产。三、主要技术开发内容及指标 (-)高精度NTC敏感元件及传感器开发纳米级粉体制备技术，热等静压成形技术，高致密度烧结技术，精密切割和阻值控制与调整技术，传感器封装与密封技术。 (二)高可靠PTC热敏电阻批量生
13、产时，开关寿命 10万次。 开发内容包括：超细粉碎技术工艺优化、控制晶粒均性的烧结工艺和设备、消除微裂纹的新型焊接工艺和设备、耐300阻燃包封材料的研究。 (三)关键生产设备和仪器 1.连续磁控溅射设备 2. PTc电压系数、 R-T特点、V-I特性测试仪； 3.焊接设备； 4.快速编带机(180250个min)。敏感元件的种类 2.光纤传感器共有制造技术 包括： 显微腐蚀、显微火焰、显微研磨、显微光刻等加工技术，净化技术,光纤涂复技术,特种光纤拉制技术，组装技术及检测技术 3.光纤传感器工程配套技术及器件、仪表。 4.光纤传感网络技术如光纤传感网络的通用技术、时分网络技术、频分网络技术。 5
14、.光纤传感器系统 包括液位类光纤传感器系统、温度类光纤柜位计、应变类光纤传感器系统、电力系统多参数检测、工业系统生产过程参数在线监测及其它方面的光纤传感器。(四)薄膜敏感元件的薄膜结构及生产工艺。产品一致性达60%以上。(五)敏感元件特殊焊接工艺1.金属弹性体及管座密封焊的研究开发。要求焊缝强度不破坏、不泄漏、抗压力60MPa,焊接气密性漏气率110 -4Pacm3S； 2.内引线焊接工艺,解决金丝球焊的二次焊接技术，金丝球焊抗断强度20g。(六)光纤传感关键技术1.光纤敏感材料的工程化技术 四、经济、社会效益和市场前景 敏感元件和传感器是信息产业的重要基础元件。传感器的应用将推动石油化工、冶
15、金、建材、电力等国民经济重要部门高技术的发展，具有巨大的社合效益。敏感元件及传感器广泛用于计算机开关电源、彩色显示器、程控交换机和通信机、汽车、工业自动化、农业现代化和国防工程，并大量用于彩电、空调、冰箱测温控温及电路温度补偿马达启动保护、过热保护等。年产3000万只PTC和lOOO万只NTC， 可创经济效益超亿元。预计今后五年增长率超过10，中国和东南亚市场年增长率可达20。我国有近百万座大、中型油罐及十余万压力容器液体检测，仅急需的十几万套光纤传感器，产值达20余亿元，铁道油罐车光纤装油自动计量系统，需要量达10亿元以上。另外，煤气光纤相位计，应变光纤传感器、光纤阀位回讯器等广泛用于冶金、
16、化工、 医药、食品等部门，将有数亿元的市场潜力。市场前景看好。 微执行部件 微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等 微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等 微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等敏感器件设计电子信息工程学院2005，5，9敏感器件设计 敏感元件材料 压力传感器压力传感器 物位传感器 力敏传感器和力敏元件 力敏传感器的种类甚多，传统的测量方法是利用弹性材料(丝、箔薄膜)的形变和位移来表示。随着微电子技术的发展，利用半导体材
17、料的压阻效应（即对其某一方向施加压力，其电阻率就发生变化）和良好的弹性，已经研制出体积小、重量轻、灵敏度高的力敏传感器，广泛用于压力、加速度等物理力学量的测量。薄膜敏感元件 薄膜结构及生产工艺金属丝、金属箔压阻片压电晶体、压电陶瓷。 压阻片 电阻应变片是把一根电阻丝机械的分布在一块有机材料制成的基底上，即成为一片应变片。设有一个金属电阻丝，其长度为L，横截面是半径为r的圆形，其面积记作S，其电阻率记作，这种材料的泊松系数是。当这根电阻丝未受外力作用时，它的电阻值为R： R = L/S（）压阻片 对式（2-1）求全微分，即求出电阻丝伸长后，他的电阻值改变了多少。我们有： R = L/S + L/
18、S SL/S2 用式（2-1）去除式（2-2）得到 R/R = / + L/L S/S 另外，我们知道导线的横截面积S = r2，则 s = 2r*r，所以压阻片 S/S = 2r/r （24） 从材料力学我们知道 r/r = -L/L （25） 其中，负号表示伸长时，半径方向是缩小的。是表示材料横向效应泊松系数。把式（24）（25）代入（2-3），有 R/R = / + L/L + 2L/L =（1 + 2（/）/（L/L）*L/L = K *L/L （2-6） 其中 K = 1 + 2 +（/）/（L/L） （-）压阻片 式（2-6）说明了电阻应变片的电阻变化率（电阻相对变化）和电阻丝伸长
19、率（长度相对变化）之间的关系。 需要说明的是：灵敏度系数K值的大小是由制作金属电阻丝材料的性质决定的一个常数，它和应变片的形状、尺寸大小无关，不同的材料的K值一般在1.73.6之间；其次K值是一个无因次量，即它没有量纲。 在材料力学中L/L称作为应变，记作，用它来表示弹性往往显得太大，很不方便压阻片 常常把它的百万分之一作为单位，记作。这样，式（-）常写作： R/R = K (28)压电晶体压力式物位传感器 一般采用半导体膜盒结构，利用金属片承受液体压力通过封入的硅油导压传递给半导体应变片进行液位的测量。由于固态压力传感器（压阻电桥式）性能的提高和微处理技术的发展，压力式物位传感器的应用愈来愈
20、广。近年来已经研制出了体积小、温度范围宽、可靠性好、精度高的压力式物位传感器，同时，其应用范围也不断地拓宽。电容式物位传感器 l、电容式物位传感器有两个导体电极（通常把容器壁作为一个电极），由于电极间是气体、流体或固体而导致静电容的变化，因此可以敏感物位。它的敏感元件有三种形式，即棒状、线状和板状，其工作温度、压力主要受绝缘材料的限制。电容式物位传感器可以采用微机控制，实现自动调整灵敏度，并且具有自诊断的功能，同时能够检测敏感元件的破损、绝缘性的降低、电缆和电路的故障等，并可以自动报警，实现高可靠性的信息传递。由于电容式物位传感器无机械可动部分，且敏感元件简单，形状和结构的自由性大，操作方便，
21、因此，它是应用最广的一种物位传感器。敏感器件设计电子信息工程学院2005，5，26主要类型的传感器硅压力传感器加速度传感器湿度传感器湿度传感器光敏感器件光敏感器件红外探测器红外探测器温度敏感器件温度敏感器件气体敏感器件敏感器件气体敏感器件敏感器件应用特点研究现状检测原理及其实现研究举例应用特点研究现状1.微型气体传感器的用途及特点微型气体传感器的用途及特点 应用应用军事军事：防备敌方生化武器的攻击防备敌方生化武器的攻击体积小、重量轻，体积小、重量轻，由它组成的环境监测系统有望实现单兵配备由它组成的环境监测系统有望实现单兵配备民用：民用：大气污染、工业废气的监控，以及对食品的质量大气污染、工业废
22、气的监控，以及对食品的质量检测、伪劣产品的鉴别检测、伪劣产品的鉴别理想的气敏传感器应有如下几个特点理想的气敏传感器应有如下几个特点： 选择性好； 灵敏度高； 响应时间短； 长期工作稳定性好； 寿命长； 成本低，使用维修方便。气体传感器的研究现状气体传感器的研究现状 电量型器件电量型器件利用敏感元件接触被测气体后所发生的利用敏感元件接触被测气体后所发生的电学量电学量的变化来实现对气体的检测。的变化来实现对气体的检测。(1)(1) 薄膜电导型气体传感器：薄膜电导型气体传感器：(2)(2) 二极管型气体传感器二极管型气体传感器：(3)(3) 场效应管型气体传感器场效应管型气体传感器: :(4)(4)
23、 晶体管型气体传感器：晶体管型气体传感器：(5)(5) 平面热线型气体传感器：平面热线型气体传感器：(6)(6) 电化学气体传感器电化学气体传感器:(7)(7) 固态电解质气体传感器固态电解质气体传感器: : 质量型器件质量型器件利用气体敏感膜吸附了被测气体后敏感利用气体敏感膜吸附了被测气体后敏感膜的膜的质量质量发生变化类进行气体的检测。发生变化类进行气体的检测。特点特点：可将被测量转换为频率输出，精度高、抗干扰能力强、易于与计算机等处理系统接口。(1)(1)石英晶体气体传感器：石英晶体气体传感器：(2)(2)硅梁谐振器气体传感器硅梁谐振器气体传感器 质量电量型器件质量电量型器件既能利用气体敏
24、感膜的质量变化，既能利用气体敏感膜的质量变化，又能利用气体敏感膜的电学量变化来实现对气体的检测。又能利用气体敏感膜的电学量变化来实现对气体的检测。声表面波气体传感器：声表面波气体传感器：在压电晶体表面的声波传输路径上涂覆在压电晶体表面的声波传输路径上涂覆一层选择性地吸附特定气体成分的敏感膜，当其吸附气体时，引起一层选择性地吸附特定气体成分的敏感膜，当其吸附气体时，引起声表面波传播速度的变化，进而引起振荡频率的变化，从频率的变声表面波传播速度的变化，进而引起振荡频率的变化，从频率的变化可测定气体的浓度化可测定气体的浓度。压电晶体谐振传感器：压电晶体谐振传感器：在传感器上淀积聚吡咯导电复合膜，在在
25、传感器上淀积聚吡咯导电复合膜，在吸附甲醇、乙醇等气体后电导会发生改变，同时通过测量传感器上吸附甲醇、乙醇等气体后电导会发生改变，同时通过测量传感器上压电晶体的谐振频率的变化来检测气体。压电晶体的谐振频率的变化来检测气体。在两个传感器上分别在两个传感器上分别进行测量，压电材料很难与常规微电子工艺相兼容。进行测量，压电材料很难与常规微电子工艺相兼容。 二 检测原理及其实现1.1. 基本原理基本原理 叉指电极叉指电极 气敏膜气敏膜 硅梁硅梁 气敏膜的电导率气敏膜的电导率 msne=求导得求导得 msneD=D 即即 msD=Dne 若设气体敏感膜吸附的气体分子数为若设气体敏感膜吸附的气体分子数为k1
26、，则可求出单个气体分，则可求出单个气体分子在吸附时所转移的电荷量子在吸附时所转移的电荷量qs为：为： m s 1 1 k k ne q s D = D = 硅梁经激振产生谐振，带有气体敏感膜的硅梁的谐振频率硅梁经激振产生谐振，带有气体敏感膜的硅梁的谐振频率 f 可表示为：可表示为： 2101=Mmff 对该式求导，并整理得对该式求导，并整理得： 23012D=DMmMmff 由由于于 mM, 得得出出 Mmff20D=D 即即 02ffMmD=D 若设气体敏感膜吸附的气体分子数为若设气体敏感膜吸附的气体分子数为k2，则可求出单个气体分子的质量，则可求出单个气体分子的质量ms为：为： 02022
27、fkfMkmmsD=D=该气体分子的荷质比该气体分子的荷质比r为：为： fMkfkmqrssDD=ms1022k1=k2 fMfmqrssDD=ms20研究举例需要考虑的问题需要考虑的问题 频率检测方式；频率检测方式； 如何简化结构和工艺并尽量与集成电路工艺兼容；如何简化结构和工艺并尽量与集成电路工艺兼容； 减小薄膜结构层的应力；减小薄膜结构层的应力； 气敏膜材料的选择；气敏膜材料的选择；叉指加热测温电极的版图叉指加热测温电极的版图 传感器结构示意图传感器结构示意图 SiSiO2/Si3N4Resonate beamSensitive filmBottom electrodeTop elect
28、rodeHeating/Detecting resistorFig. 3.1 Schematic drawing of the sensor structure3. 模拟与优化 形状形状尺寸（尺寸（um）一阶频一阶频率率（kHz）二阶频二阶频率率（kHz）三阶三阶频率频率（kHz）矩矩形形350300135.45169.74313.1950030065.9296.93182.51两两脚脚形形L1:300 L2:50W1:200 W2:15061.9486.64176.91四四脚脚形形L1L2L3W1W2100.79130.51242.913001405020075300140502001504
29、9.5770.08149.3530010010020075111.09157.73275.922. 工作原理amplifierV+VoutRfout 传感器的检测原理示意图传感器的检测原理示意图laser电阻检测系统电阻检测系统1）叉指电极2）气体敏感膜3）外接测量电路 质量检测系统质量检测系统1.电容检测：电容检测：is =dq/dt=dCs/dt *Vs2.激光检测（光学多普勒效应）激光检测（光学多普勒效应） 实验实验1.多晶硅侧墙实验多晶硅侧墙实验解决表面平坦化解决表面平坦化多晶硅：多晶硅：耐氢氟酸腐蚀的能力较强耐氢氟酸腐蚀的能力较强 应力较小应力较小 步骤：步骤： LPCVD PSG
30、2m mm; 光刻、刻蚀光刻、刻蚀 PSG; LPCVD PolySi 2m mm; RIE PolySi 形成侧墙形成侧墙2. Si3N4的应力实验的应力实验 实验过程实验过程 选片，测量硅片的原始应力选片，测量硅片的原始应力; 热氧化形成热氧化形成2000的的SiO2,测量应力测量应力; LPCVD Si3N4 2000 ，测量应力，测量应力; 对对Si3N4进行离子注入，分别采用不同的工艺条件进行离子注入，分别采用不同的工艺条件 磷离子磷离子P硼离子硼离子B相同剂量（相同剂量（5E15） 不不同能量同能量130，150，180（kev）40,70,100(kev)相同能量相同能量(130
31、kev)不同不同剂量剂量0, 1E14, 5E15 3.下电极材料的选择实验下电极材料的选择实验 要求：要求： 导电性好导电性好 抗氢氟酸能力强抗氢氟酸能力强 A.Pt （与衬底材料的粘附性）（与衬底材料的粘附性）B.PtSi 硅化铂耐王水腐蚀实验硅化铂耐王水腐蚀实验C.PolySi（掺杂）（掺杂）5. Pt黏附性实验增强表面金属连线的抗腐蚀性增强表面金属连线的抗腐蚀性 选片，选片，三种材料：三种材料：Si3N4（2000 ）、SiO2（2000 ）、）、 Si为衬底的样片为衬底的样片; 溅射溅射Pt(1000 )或或Au/Pt，在溅射之前每种样片分出一片，在溅射之前每种样片分出一片 进行反溅
32、，目的是将衬底表面粗糙化以增强铂与其的黏附进行反溅，目的是将衬底表面粗糙化以增强铂与其的黏附 性。性。 进行氢氟酸进行氢氟酸HF腐蚀实验，时间分别为腐蚀实验，时间分别为7分钟（牺牲层释放分钟（牺牲层释放 时间）和更长的时间）和更长的10分钟分钟； 在显微镜下观察样片表面的情况在显微镜下观察样片表面的情况； 实验结果实验结果 Si3N4上的上的Au/Pt,先反溅先反溅,HF腐蚀腐蚀10分钟分钟Si3N4上的上的Pt, 未反溅未反溅,HF腐蚀腐蚀7分钟分钟 SiO2上的上的Pt,先反溅先反溅HF 腐蚀腐蚀10分钟分钟Si上的上的Pt,先反溅，后经先反溅，后经HF腐蚀腐蚀10分钟分钟6.气敏膜的制作
33、和淀积 1.金属氧化物敏感材料（金属氧化物敏感材料（SnO2）2.复合氧化物固体电解质材料复合氧化物固体电解质材料3.高分子气敏（湿敏）材料高分子气敏（湿敏）材料 丙烯酸溶于苯乙醇（丙烯酸溶于苯乙醇（1：1），放置），放置24小时小时五 传感器的测试被测气体：H2O测试内容：1. 频率测试：33%、53%、75% （频率变化、Q值、灵敏度）2. 电阻测试：11%、33%、53%、75% （电阻变化）目的：证明该传感器吸附气体后电学量和质量均应该有明显的变化从而验证 可表征气体的特征信息mfDD /1.频率测试频率测试示波器激励电源激光测振仪 传感器频率检测系统简图传感器频率检测系统简图Lase
34、r密闭容器上电极下电极测试结果（测试结果（直流直流18V, 交流的峰峰值为交流的峰峰值为9.9V ）（b）湿度为）湿度为53(a)湿度为湿度为33（c）湿度为）湿度为75 矩形（矩形（350300）谐振梁在不同湿度条件下测振的输出波形）谐振梁在不同湿度条件下测振的输出波形湿度为湿度为33、53、75时传感器的时传感器的Q值分别为值分别为9.6、8.1和和4.2（a）L=350m mm 矩形梁矩形梁在不同湿度条件下不同形状梁的谐振频率响应在不同湿度条件下不同形状梁的谐振频率响应（b）L=500m mm 两脚梁两脚梁灵敏度灵敏度S定义为定义为f/气体浓度每变化气体浓度每变化1，350m mm的为的
35、为52Hz/ 1%湿度，湿度，500m mm的为的为35Hz/1%湿度湿度 2.2.电阻测试电阻测试智能智能LCR测量仪测量仪气敏膜气敏膜 传感器的电阻检测系统简图传感器的电阻检测系统简图需要继续探索或改进的问题：需要继续探索或改进的问题：1. 1.工艺：下电极也可采用工艺：下电极也可采用先反溅后溅先反溅后溅PtPt的方法；的方法；2.2. 结构：提高结构：提高QQ值，可以采用另一种值，可以采用另一种电容式谐振梁结电容式谐振梁结构构（梁谐振方式为水平方向）以减小谐振梁振动的（梁谐振方式为水平方向）以减小谐振梁振动的阻尼；阻尼；3.3. 测试：频率检测方式如采用测试：频率检测方式如采用电容电流电容电流检测方式将有检测方式将有利于集成化、产品化利于集成化、产品化 检测电路的设计；检测电路的设计； 增加增加测试气体的种类进一步验证理论的正确性测试气体的种类进一步验证理论的正确性