洁净室静电防护.docx

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洁净室静电防护洁净室是一个超洁净环境,它是通过控制风量、过滤、湿度、温度、气压、电离以及室 内材料和其它参数而得到的,在电子制造业,由于静电的原因,它会减少产品的忧率,不利于企 业的成本维护.控制洁净室的ESD应从多方面进行考虑.通常,一个完整的ESD控制程序应包括:人衣服 鞋离子风机湿度控制地板作业台面包装,对任何人来说,只针对某一部分进行静电控制,是不 现实的.洁净室胡具体防静电措施如下: 建立标准的接地系统.人员的静电防护(工作在洁净室内的人是最大胡静电源) 洁净室内操作人员须穿戴防静电洁净服防静电手套和手腕带 操作人员须进行有关在静电敏感器件周围的行为控制的培训 洁净室围护结构的防静电,围护结构包括墙、壁、门窗、天花板、地面.使用高导电率材 料 生产和操作区域采用防静电地面.地面面层具有导电性能,并保持长时间性能稳定 表层采用静电耗散材料采取铺设接地网等静电泄放措施 湿度水平应得到控制,相对湿度应控制在4070%较合适 生产区域送风管道内送风管口安装离子风机 工作台、坐椅、推车、存放架、周转箱、工具等的材料都要求具备防静电功能 用以包装静电敏感器件的胶袋须具有防静电功能 元器件、半成品、产品的转运过程要求符合防静电要求 可能产生的防静电危害的设备流动液体(气体)管道应采取防静电接地措施 减少摩擦作业,以减少静电的发生 定期对防静电系统进行检测和日常审核

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