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1、宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTD文件名目CONTENTS：ESD 防静电治理标准文件编号：WI-EN-070版次：页次：A.01 of 10 管制文件制止翻印FM-DCC-019 A.01. 目的2. 范围3. 责任4. 定义5. 防静电区域与测试程序9. 相关记录6. 人体防静电系统与测试程序10. 留意事项7. 培训8. 相关文件版数 页次A010变 更 内 容 摘 要发行修订者黄增富生效日期2019/10/21核准： 制(修)订： 黄增富文件编号：WI-EN-070宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(
2、SHENZHEN)CO,.LTDESD 防静电治理标准版次：页次：A.02 of 101. 目的1.1 为避开静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。保证产品品质，增加牢靠性，减低不良率，节约产品工时本钱，降低修理费用。1.2 提高员工对 ESD 的生疏，加强员工自觉防止ESD 现象之观念，促进提高生产治理水平。2. 范围本文适用于全部车间/仓库中生产制程及电子元器件的选购、运输、储存、检测过程中的静电防护。3. 责任3.1 生产经理、组长等治理人员，职责包括：3.1.1 负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作
3、区人员及物品的出入治理，确保其按 ESD 要求正确着装。3.1.2 确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用 ESD 设备，包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电环、防静电台垫、离子风机、ESD 料盒和 ESD 地板等；3.1.3 确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；3.1.4 对疑心是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相关的部门作失效分析；3.1.5 每天检查防静电工衣、工鞋、手环的 ESD 性能，如有品质特别，准时向选购部提出选购申请更换；3.1.6 每天目视检查 ESD 设备、台垫等的接地状况，确保接地线正确的连接到ESD 总线上；3.2 设备工程师/技术员，职责包
4、括：3.2.1 统筹全厂的 ESD 掌握，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见， 提高其静电防护水平；3.2.2 帮助人力资源部进展ESD 培训；3.2.3 监视各个部门的ESD 治理状况，准时反映 ESD 状况；3.2.4 定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、运输工具和其它关心工具的外表电阻和对地电阻测试等；3.2.5 定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好；3.2.6 协同行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内；3.2.7 定期检查 ESD 总线的接地状况，确保其状况良好。3.3 人力资源部，职责包括：3.3.1 负责对进厂的员工进展
5、初步的防静电学问培训；3.3.2 定期对员工进展防静电学问培训。宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTD3.4 研发工程部，职责包括：ESD 防静电治理标准文件编号：WI-EN-070版次：页次：A.03 of 103.4.1 开发部在设计产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度的元件；3.4.2 要求供给商供给元器件静电敏感度的级别。3.5 仓库治理职责包括：3.5.1 负责仓库治理防静电措施的维护和治理；3.5.2 定期通知 ESD 工程师进展检测使用中的防静电用具。4. 定义4.1 静电： 一种处于相对稳定状态的电荷
6、，静电可由物质的接触与分别、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。4.2 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移，通常指静电防护，即避开静电释放的发生。4.3 静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质外表因感应而带电荷，并形成感应电场。4.4 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive ，静电放电敏感器件，通常用来指静电敏感元器件。4.5 防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。4.6 静电敏感度
7、：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。4.7 外表电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定外形的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。4.8 摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分别时，产生静电荷。4.9 摩擦电压：物体被摩擦后，外表所带静电荷的电压。4.10 ESD 损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。4.11 消电时间Decay Time：一个静电压从其初始值降低到一个给定值所需要的时间。5. 防静电区域与测试程序5.1 防静电工作区的划分：5.1.1 依据GJB 1649 规定的静电放电电压
8、敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级. 静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:静电敏感度级别I级II级III级静电敏感电压人体模型HBM01999V20003999V400015999V宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTDESD 防静电治理标准文件编号：WI-EN-070版次：页次：A.0 4 of 10依据该项标准的规定，所要求的ESD掌握大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护。现依据元器件静电敏感度和生产线实际状况如下：（1） LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对枯燥, 但凡直接操作的半成品、成品生产线均定为I级；（2
9、） 仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个时候没有被加工。把这些区域或车间定为II级；级别I级II级区域固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等成品包装区域、仓库治理区域，生产仓，收料仓等（3） 依据上述理由，现规定敏感级别为：5.1.2 公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。5.2 防静电工作区根本环境要求5.2.1 防静电工作区应保持干净，避开有灰尘积存或漂移的状态发生；5.2.2 车间内温湿度的掌握参考环境管控作业指导书；5.2.3 在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度；5
10、.2.4 防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志；5.2.5 要求使用防静电地板或在一般地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地，制止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯。5.2.6 天花板及墙壁使用防静电材料制品，一般状况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用一般塑料制品。5.3 防静电工作区接地系统5.3.1 应有独立牢靠的接地装置，接地电阻一般应小于 10 欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加装 1 兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下：接地线截面积接地电阻测试人员要求接地总线100mm2 的铜制导线小于 10 欧姆设备工程师/ESD 线不得直接地支干线6 mm2 的铜制导线小
11、于 10 欧姆技术员设备工程师/接接在电源零线上，ESD 线不设备和工作1.25mm2 的多股或单小于 10 欧姆技术员设备工程师/得与防雷地线共用。台的接地线股的铜制绝缘套导线技术员ESD 地线应用绿色绝缘套标识，台垫等物品的接地配件依据来料的颜色使用。宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTD5.4 防静电区域设备及辅料要求I 级区域ESD 防静电治理标准文件编号：WI-EN-070版次：页次：A.05 of 10II 级区域防静电安全工作台防静电包装、运输工具料盒、防潮柜、运输车 防静电手环防静电工衣帽 防静电工鞋离子风机5.5 防静电
12、工作区的 ESD 技术要求5.5.1 防静电地板防静电安全工作台防静电包装、运输工具料盒、料箱、运输车 防静电手环防静电工衣帽 防静电工鞋（1） 用防静电地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进展清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解 PVC 材料的化学溶剂进展清洗。（2） 严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板外表擦划、拖拉。（3） 不能将酒精、胶水等物品撒落在 ESD 地板上，如发生以上状况，应马上清洁。（4） 地板安装时应满足的 ESD 技术指标包括：外表电阻值均在 1E41E9 欧姆范围以内。5.5.2 防静电工作台（1） 防静电工作台根本要求和制止工程要求工作台外表铺设防静电台垫，同时台垫必需接地。制止
13、工作台上放置一般塑料盒片、橡皮、玻璃、一般泡沫等简洁产生静电的杂物.。配备 ESD 地线、离子风机可选、和防静 距离 ESDS 元器件 30 厘米以内有摩擦电压电测试架高于 200V 的物件。（2） 防静电台台面应满足 ESD 技术指标。外表电阻值在 1E41E9 欧姆范围以内。5.5.3 防静电包装（1） 防静电包装包括ESDS 原料包装袋盒/盘、装板的料盒等。（2） 防静电包装应满足 ESD 技术指标：外表电阻(包括内外外表)在 1E41E11 欧姆范围。假设产品或产品的金属局部不直接与防静电包装接触，则允许防静电包装的电阻小于 1E4 欧姆。5.5.4 防静电运输工具（1） 防静电运输工
14、具包括ESD 运输车、ESD 小推车等。（2） 为保护 ESDS 不受到外部强静电场的影响，运送ESDS 的防静电运输工具应由高导电性材料制作，车子常常固定时要求硬接地。防静电运输工具应满足文件编号：WI-EN-070宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTDESD 防静电治理标准版次：页次：A.06 of 10ESD 技术指标：外表电阻和对地电阻小于 1E9 欧姆。（3） 当运输车由不锈钢组成时，且常常移动时，其对地电阻应小于 10 欧姆。（4） 存放架的外表电阻和对地电阻应小于 1E9 欧姆。5.5.5 除静电离子风机（1） 当防静电区域
15、内不行避开的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离 ESDS 30 厘米内时，必需使用离子风机。（2） 对于不能接地又直接接触 ESDS 元件的物体，为保证其保持在零电位状态， 可以使用离子风机消退在这个过程中产生的静电。（3） 设备悬挂的离子风机的出风口不能有异物阻挡且离ESDS 20 厘米左右。离子风机的平衡电压和消电时间标准参考10.2.3的要求。（4） 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域30 厘米左右，以保证有足够的掩盖范围和快速的静电消退。离子风机的平衡电压和消电时间标准参考10.2.3的要求。（5） IPQC 每月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写离子风
16、机检测记录表，对不符合要求的离子风机，应准时反响相关部门处理。5.5.6 其它防静电物料及相关要求（1） 不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，外表电阻在1E41E11 欧姆内， 体积电阻在 1E41E11 欧姆内。（2） 特别状况下，假设找不到适宜的供给商，确认不会对产品构成ESD 隐患的状况下，可以引入外表电阻小于 1E11 欧姆的物料。6. 人体防静电系统与测试程序6.1 防静电手环6.1.1 直接接触 ESDS 的任何人员都应按规定佩带防静电手环。6.1.2 防静电手环的手环应是导电性的。6.1.3 使用人应每天一次测量防静电手环的性能，并且填写防静电环检测记录表，检查不合格时应交由
17、修理检修，不能修复时，应准时更换。6.2 防静电鞋/防静电鞋套全部进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/鞋套。6.3 防静电工作服6.3.1 防静电工作服包括防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋鞋套和工帽， 防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合 GB 12014 规定， 其各局部之间应存在电气连续性，防静电工作服的设计应能保持在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。6.3.2 进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣拉链文件编号：WI-EN-070宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTDESD 防
18、静电治理标准版次：页次：A.07 of 10要系好拉完全，头发必需包在工帽内，不能有外露。6.3.3 不同使用人员之防静电工作服按颜色区分：人员生产部作业员工生产治理人员 品质部员工设备人员工程研发人员外来人员一般工作区域及 10 万级干净室白色的防静电服帽粉红色的防静电服帽 蓝色的防静电服帽黄色的防静电服帽6.3.4 购置防静电工衣时应满足ESD 技术指标：外表电阻值1E5 欧姆1E10 欧姆。6.4 防静电手套/指套由消散性材料制成，人体穿戴电阻在 1E51E11 欧姆范围。要求电阻在范围以内电阻超范围上限电阻超范围下限指示灯绿灯红灯黄灯6.5 人体综合接地测试系统每个进入防静电区域的人员
19、须进展人体综合接地效果测试，假设亮红/黄灯，则说明测试失败，应更换工鞋/鞋套或手环重进展测试并通知相关人员。6.6 人员防静电一般要求6.6.1 要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避开穿着尼龙等合成纤维制品， 以免产生强电场导致静电感应放电现象。6.6.2 接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电手环，要保证手环与皮肤接触良好，在戴手环处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。6.6.3 手持静电敏感器件及组件时应避开接触其导电金属管脚局部，操作过程中应尽量削减对静电敏感器件及组件的接触次数，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面上。6.6.4 外来人员参观，必需有本公司人员全程伴随，按参观
20、路线行进，不得随便走动，不得进入机器外围的斑马线地标，更不得随便触摸产品。7. 培训7.1 对全部可能接触或接近ESDS 的人员，必需进展相关的ESD 学问培训，并加以教育与训练，使之树立有效的 ESD 防护观念，培训的有效期为一年。7.2 防静电培训的内容包括：7.2.1 静电学根底和静电损害文件编号：WI-EN-070宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTD7.2.2 静电性能测试7.2.3 防静电的标示与包装ESD 防静电治理标准版次：页次：A.08 of 107.2.4 防静电设备的使用和检测相关人员8. 相关文件环境管控作业指导书
21、WI-PD-015 9.相关记录防静电环检测记录表FM-PD-020每月机台接地阻抗记录表FM-EM-021离子风机检测记录表FM-QC-039 10.留意事项10.1 物体外表的静电压测量方法使用静电压表去测量物体外表的静电压，仪表距离被测物大约 2.5 厘米。静电压表在使用的过程中需要接地。静电压表的读数的单位为 KV。测试图例如下:测试间距/mm被测物测试仪10.2 悬挂式/台式离子风机测试方法10.2.1 测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪，在评估引入的离子风机时候需要测量平衡电压和消电时间。测试间距/mm测试仪10.2.2 对每一个点均应测量不少于三次，应纪录平衡电压的最大
22、偏移零点最远值，宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTDESD 防静电治理标准文件编号：WI-EN-070版次：页次：A.09 of 10消电时间纪录最大值。300mm 中心台式检验桌、扩晶台0 + 30 V 15s10.2.3 对引入的悬挂式离子风机的要求列表：消散电荷变化条件：1000V-100V测试位置适用类型悬挂式平衡电压(V)消电时间 (S)200mm 中心分光机、编带机0 + 10 V 10s自带10.3 手套/手指套的测量方法10.3.1 穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪的两个电极分别放在两块相互绝缘的金属板上面, 然后操作员
23、戴上手套/手指套。操作员把戴有手套/手指套的大拇指和食指分别按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等读数稳定后读出测试仪上的读数，并记录下来。操作员分别用大拇指和其它的手指按住金属板，然后读出测试仪上的读数，并记录下来。每一种手套/手指套均需要测量 5 个含以上的样品，每次测量均记录最大值。10.3.2 人体穿戴电阻在 1E51E11 欧姆范围。10.4 防静电标准列表测试对象外表电阻对地/穿戴电阻防静电台垫/地垫1E41E9W小于 10W小推车/周转车1E9W小于 10W防潮柜小于 10W设备/工作台接地电阻小于 10W厂房接地电阻小于 10W防静电手环绿灯7.5E5W 3.5E7W文件编号：WI-EN-070宏齐光电子深圳HARVATEK OPTELECTRONICS(SHENZHEN)CO,.LTD10.5 防静电标识ESD 防静电治理标准版次：页次：A.010 of 10见到此标识，则说明此工作区域或产品是静电敏感的，进入此区域或操作此产品时需要做好防静电准 备。用黄黑相间的斜条纹隔开防静电工作区域与一般工作区域，线条宽度为5 10 cm，如上图所示。