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1、SUB:碱性蚀刻量测试报告 TO:品质、生产电镀 CC:_ From：审核：_ 批准：_ 日期：_ 文件类別：_ 编号：1/loz 常规：3/3独0.082mm 0.108mm 0.133mm 一、试验目的：为了验证碱性蚀刻线蚀刻补偿，是否满足公司生产要求，制作样板进 行测试。二、试验要求:1、板材要求：FR4板料，板厚1.5MM，铜厚分为1/3、H/Hoz,1/loz,三种 正常板电5-8um及板电加厚10-15umo 三、试验过程：1、生产流程：开料 f 磨板 f 沉铜 f 板电 f 线路 f 图电 f 蚀刻 f 线宽仪测量 H/Hoz 常规：4.2 0.2m/min 缸名 控制耍求 实测
2、温度 备注 膨松缸 48 2 C 47.5 C 退膜缸 48 2 C 47.8 C 蚀刻缸 50 2 C 49.4 C 退锡缸 28-32 C 30.1 2、蚀刻参数【控制:3、蚀刻速度参数控制：1/3 常规：5.2 0.2m/min 蚀刻补偿是否满足公司生产要求制作样板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽
3、线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀 3/3密集线显影4/4密集线显影后线宽 0.105mm 5/5密集线显影后线宽 0.131mm 5.蚀刻后测量结果对比:（1/3板电铜厚5-8 um）工程设计线宽/线距 实测线宽、线距（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 独立线干膜显影后线宽 0.082 0.108 0.133 1/3板电5-8um蚀刻线宽 0.07
4、5 0.085 0.133 独立线蚀刻量 0.007 0.023 0 1/3板电5-8um蚀刻线宽 0.07 0.087 0.11 密集线蚀刻量 0.012 0.021 0.023 3/3密集线蚀刻线宽0.070mm 4/4密集线蚀刻线宽0.087mm 5/5密集线蚀刻线宽0.110mm 5/5独立线蚀刻线宽0.133mm 3/3独4/4独立线蚀刻线宽0.085mm 蚀刻补偿是否满足公司生产要求制作样板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽
5、密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀（1/3板电铜厚10-15 um）3/3独立线蚀刻线宽0.042mm 4/4独立线蚀刻线宽0.059mm 5/5独立线蚀刻线宽0.103mm 3/3密集线蚀刻线宽0.042mm 4/4密集线蚀刻线宽0.065mm 5/5密集
6、线蚀刻线宽0.089mm 工程设计线宽/线距 实测线宽、线距（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 独立线干膜显影后线宽 0.082 0.108 0.133 1/3板电10-15um蚀刻线宽 0.042 0.059 0.103 独立线蚀刻量 0.04 0.049 0.03 1/3板电10-15um蚀刻线宽 0.042 0.065 0.089 密集线蚀刻量 0.04 0.043 0.044 （H/H板电铜厚5-8 um）3/3独立线蚀刻线宽0.049mm 4/4独立线蚀刻线宽0.070mm 5/5独立线蚀刻线宽0.108mm 蚀刻补偿是否满足公司生产要求制作样
7、板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀 3/3密集线蚀刻线宽0.0
8、63mm 4/4密集线蚀刻线宽0.077mm 5/5密集线蚀刻线宽0.110mm 工程设计线宽/线距 实测线宽、线距（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 独立线干膜显影后线宽 0.082 0.108 0.133 H/H板电5-8um蚀刻线宽 0.049 0.07 0.108 独立线蚀刻量 0.033 0.038 0.025 H/H板电5-8um蚀刻线宽 0.042 0.065 0.089 密集线蚀刻量 0.04 0.043 0.044 （H/H板电铜厚10-15 um）3/3独立线蚀刻线宽0.040mm 4/4独立线蚀刻线宽0.061mm 5/5独立线蚀刻
9、线宽0.101mm 3/3密集线蚀刻线宽0.042mm 4/4密集线蚀刻线宽0.066mm 5/5密集线蚀刻线宽0.092mm 蚀刻补偿是否满足公司生产要求制作样板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线
10、蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀工程设计线宽/线距 实测线宽、线距（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 独立线干膜显影后线宽 0.082 0.108 0.133 H/H板电10-15um蚀刻线宽 0.04 0.061 0.101 独立线蚀刻量 0.042 0.047 0.032 H/H板电10-15um蚀刻线宽 0.042 0.066 0.092 密集线蚀刻量 0.04 0.042 0.041 （1/1板电铜厚5-8 um）3/3独立线蚀刻线宽0.033m
11、m 4/4独立线蚀刻线宽0.056mm 5/5独立线蚀刻线宽0.084mm 3/3密集线蚀刻线宽0.037mm 4/4密集线蚀刻线宽0.059mm 5/5密集线蚀刻线宽0.085mm 工程设计线宽/线距 实测线宽、线距（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 独立线干膜显影后线宽 0.082 0.108 0.133 1/1板电5-8um蚀刻线宽 0.033 0.056 0.084 独立线蚀刻量 0.049 0.052 0.049 1/1板电5-8um蚀刻线宽 0.037 0.059 0.085 密集线蚀刻量 0.045 0.049 0.048 蚀刻补偿是否满足
12、公司生产要求制作样板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀（1/1板
13、电铜厚10-15 um）3/3独立线蚀刻线宽0.023mm 4/4独立线蚀刻线宽0.037mm 5/5独立线蚀刻线宽0.066mm 3/3密集线蚀刻线宽0.023mm 4/4密集线蚀刻线宽0.040mm 5/5密集线蚀刻线宽0.075mm 工程设计线宽/线距 实测线宽、线距（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 独立线干膜显影后线宽 0.082 0.108 0.133 1/1板电10-15um蚀刻线宽 0.023 0.037 0.066 独立线蚀刻量 0.059 0.071 0.067 1/1板电10-15um蚀刻线宽 0.023 0.04 0.075 密集
14、线蚀刻量 0.059 0.068 0.058 蚀刻补偿是否满足公司生产要求制作样板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程
15、设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀四、总结:工程设计线宽/线距 单位（mm）0.076/0.076 0.10/0.10 0.127/0.127 1/3板电5-8独立线蚀刻量 0.007 0.023 0 1/3板电5-8密集线蚀刻量 0.012 0.021 0.023 1/3板电10-15独立线蚀刻量 0.04 0.049 0.03 1/3板电10-15密集线蚀刻量 0.04 0.043 0.044 H/H板电5-8独立线蚀刻量 0.033 0.038 0.025 H/H板电5-8密集线蚀刻量 0.04 0.043 0.044 H/H板电10-15独立线蚀刻量 0.042 0.
16、047 0.032 H/H板电10-15密集线蚀刻量 0.04 0.042 0.041 1/1板电5-8独立线蚀刻量 0.049 0.052 0.049 1/1板电5-8密集线蚀刻量 0.045 0.049 0.048 1/1板电10-15独立线蚀刻量 0.059 0.071 0.067 1/1板电10-15密集线蚀刻量 0.059 0.068 0.058 蚀刻补偿是否满足公司生产要求制作样板进板材要求板料板厚铜厚分为三种正常板电及板电加厚三试验过程生产流程开料磨板沉铜板电线路图电蚀刻线宽仪测量蚀刻参数控制缸名控制耍求实测温度备注膨松缸退膜缸蚀刻缸退锡缸蚀独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量实测线宽线距板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀刻量板电蚀刻线宽密集线蚀刻量板电铜厚独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽独立线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽密集线蚀刻线宽工程设计线宽线距独立线干膜显影后线宽板电蚀刻线宽独立线蚀