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1、干净室及相关掌握环境国际标准ISO14644前言ISO 为全球各国标准化团体ISO 会员团体的联合会。其国际标准工作一般是由IS O 各技术委员会执行。每个会员团体假设对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与 ISO 保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参与此项工作。ISO 与国际电气技术委员会IEC在电气技术标准化方面进展严密合作。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进展传阅，以待表决。草案作为国际标准公布至少需要 75%的会员团体投赞成票。国际标准 ISO 14644-1 由 ISO/TC209 干净室及相关受控环境技术委员会提出。IS
2、O 14644 在干净室及相关受控环境 的总标题下，由下述各局部组成：第 1 局部：空气干净度等级划分第 2 局部：为认证与 ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求第 3 局部：计量和测试方法第 4 局部：设计、施工和启动第 5 局部：运行第 6 局部：术语和定义第 7 局部：增加的干净装置用户应留意，第2 至第 7 局部的标题为第 1 局部发行时的工作标题。假设从工作打算中删除了一局部或几局部，剩余局部可以重编写。附录B 和 C 为 ISO 14644 的组成局部，附录A、D、E 和F 仅作资料用。标准引言干净室及相关受控环境保证空气中悬浮粒子被掌握在适宜的级别，以确保完成
3、对污染敏感的有关活动。以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的掌握：航天、微电子、医药、医疗器械、食品和保健品。ISO 14644 的本局部指定 ISO 分级的各级别，以此作为干净室及相关受控环境内空气干净度的技术要求。本局部不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序，而且确定了测试的标准方法。为划分等级，ISO 14644 的本局部仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围。本局部还供给了标准协议，以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识。ISO 14644 的本局部为干净室和污染掌握系列标准中的一个标准。除悬浮粒子干净度之外，还有很多因素必需在干净室及其受控环境的设计、技术要求
4、、运行和掌握中予以考虑。这些内容在 ISO/TC209 技术委员会制定的其它国际标准中有具体论述。在某些状况下，有关治理机构可能会规定动作一些补充的政策或限制。这就可能要求对标准的测试程序作适当的修改。标准干净室及相关受控环境 第 1 局部：空气干净度的分级1 范围ISO 14644 的本局部是依据空气中悬浮粒子浓度来划分干净室及相关受控环境中空气干净度的等级。只有在 0.1m-5m 的阈值低于阈值粒径范围内呈累积分布的粒子群体才可供分级用。ISO 14644 的本局部不包含 0.1m-5m 规定粒径范围以外的粒子群体的分级。超微粒子0.1m 和大粒子5m可分别以U 描述符和M 描述符来量化粒
5、子群体。ISO 14644 的本局部不能用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性或生存性。注 粒径遵纪守法增范围内粒子浓度的实际分布状况通常是不行推测的，并且是随着时间而变化的。2 定义下述定义适用于 ISO 14644 的本局部2.1 通则2. 1. 1干净室:空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能削减室内引入、产生和滞留粒子，室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进展掌握。2. 1. 2干净区:悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能削减区内引入、产生和滞留粒子，空间内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进展掌握。注：该区可以是开放式或是密闭式，可以位于
6、或不位于干净室内。2. 1. 3设施:干净室或一个或多个干净区，连同全部相关的构筑物、空气处理系统、动力和公用设施。2. 1. 4 分级:适用于一个的悬浮粒子干净度等级或规定或确定该等级的过程，以 ISO 等级N 来表示，它表示所考虑的粒径的最大允许浓度以pc/m3 空气计。注 1此浓度用 3.2 中的公式1确定。注 2依据本国际标准进展分级，限定在ISO 1 级至 ISO 9 级。注 3适用于按本国际标准分级的粒径低阈值范围限于0.1m-5m。分级范围之外的阈值粒径之空气 干净度可以用U 或 M 描述符见 2.3.1 或 2.3.2来说明和规定但不是分级。注 4ISO 分级可以规定中间等级号
7、，用最小允许递增值0.1，规定为自ISO 1.1 至 8.9 级。注 5等级可以按 3 种占用状态见 2.4规定或实现。标准2.2 悬浮粒子2. 2. 1粒子:用于空气干净度分级的固体或液体物，其粒径阈值低限范围在0.1m-5 m，并呈累积分布。2. 2. 2粒径:由给定的粒径测定仪响应出与被测粒子作出的响应当量的球体的直径。注离散粒子计数和光散射仪器使用当量光学直径。2. 2. 3粒子浓度:单位体积空气中的单个粒子数。2. 2. 4粒径分布:作为粒径函数的粒子浓度之累积分布。2. 2. 5超微粒子:当量直径小于 0.1m 的粒子。2. 2. 6大粒子:当量直径大于 5m 的粒子2. 2. 7
8、纤维:长宽比等于或大于 10 的粒子。2.3 描述符2. 3. 1U 描述符:测得或规定的粒子浓度，即含超微粒子的浓度以pc/m3 空气计.注 U 描述符可认为是采样点平均值的上限或置信上限，取决于用于确定干净室或干净区特性的采样点数目不能用 U 描述符来定义且悬浮粒子干净度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子干净度等级一起引用。2. 3. 2M描述符:测得或规定的每 m3 空气中大粒子的浓度，以作为所用测试方法特性的当量直径来表示。注 M 描述符可认为是采样点平均值的上限或置信上限，取决于用于确定干净室或干净区特性的采样点数目不能用M 描述符来定义悬浮粒子干净度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子干
9、净度等级一起引用。2.4 占用状态2. 4. 1空态:设施已经建成，全部动力接通并运行，但无生产设备、材料或人员在场。2. 4. 2静态:设施已经建成，生产设备已经安装好，并以用户和供给商同意的方式运行，但没有人员在场。2. 4. 3动态:设施以规定的方式运行，有规定数目的人员在场，并以双方同意的方式进展工作。ISO 等级序数N大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值pc/m3 空气浓度限值按 3.2 中的公式计算表 1干净室及干净区选列的悬浮粒子干净度等级0.1m0.2m0.3m0.5m1m5mISO Class 1102ISO Class 210024104ISO Class 31 000
10、237102358ISO Class 410 0002 3701 02035283ISO Class 5100 00023 70010 2003 52083229ISO Class 61 000000237 000102 00035 2008 320293ISO Class 7352 00083 2002 930ISO Class 8ISO Class 93 520 00035 200000832 00029 3008 320 000293 000注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。2.5 角色2. 5. 1用户:负责规定干净室或干净区的要求的组织或其代理
11、。2. 5. 2供给商:被聘用来满足规定的干净室或干净区的要求的组织。3 等级3. 1 占用状态:干净室或干净区内空气的粒子干净度应按“空态”、“静态”和“动态”三种占用状态中的一种或三种见 2.4进展定义。注应生疏到“空态”适用于建成的或发行的干净室或干净区。对“空态”的测试完成后，即应进一步测试“静态”或“动态”或两种状态。3.2 等级级别:空气中悬浮粒子干净度以等级序数N 命名。各种被考虑粒径 D 的粒子 Cn 的最大允许浓度用下述公式确定：1 式中，Cn大于或等于被考虑粒径的粒子最大允许浓度pc/m3 空气。Cn 以有效数为 3位四舍五入到最靠近的整数。N ISO 等级级别，最大不超过
12、 9。ISO 等级级别N 之间的中间数可以按 0.1 为最小允许递增值进展规定。D以微米m计的被选粒径。0.1 为一常数，表示以微米m计的量纲。表1 表示的是被选择的悬浮粒子干净度等级和大于或等于表中所考虑粒径的粒子之相应浓度限值。图 A.1见附录 A以图解形式表示出所选的等级。在有争议的状况下，从公式1中得到的浓度 Cn 应作为标准值。3. 3命名干净室或干净区的悬浮粒子干净度的命名应包括：a 等级级别，以“ISO Class N”表示： b 分组时的占用状态：c 按分级公式1测定的被考虑粒径，各被考虑粒径的阈值均在 0.1m-5m 的范围内。命名实例：ISO Class 4：动态：被考虑粒
13、径：0.2m 2370pc/m3，1m83pc/m3测量浓度的被考虑粒径应得到用户和供给商双方的同意。假设测量一个以上的被考虑粒径，各较大的粒径如 D2应至少为下一个较小粒径如D1的 1.5 倍。即：D2 1.5 D14 相符性认证4. 1 原则:通过执行用户和供给商双方同意的指定的测试程序，并供给关于测试条件和测试结果的规定文件，认证是否符合用户规定的空气干净度ISO class要求。4. 2 测试:附录 B 中给出了认证相符性的基准测试方法。也可以规定其它有类似准确性的方法，假设没有就其它方法作出规定或达成全都意见，则应当用基准方法。应承受经过校舍 准的食品进展相符性认证测试。4. 3 悬
14、浮粒子浓度限值:按 4.2 完成测试后，按附录C 中的公式计算平均粒子浓度和95% 置信上限适用状况下。按公式C.1计算出的平均粒子浓度不应超过用3.2 中公式1确定的浓度限值，其被考虑粒很应符合3.3c的规定。此外，假设采样点数目至少为 2 个，但不超过 9 个，则按 C.3 计算的 95%置信上限不应超过上面确定的浓度限值。注附录D 中给出等级计算的工作实例。对于各种被考虑粒径应用一样方法来测定，用于认证等级粒子浓度限值具有全都性。4. 4测试报告:各干净室或干净区的测试结果均应记录，应以综合报告形式提交，并说明是否符合规定的是浮粒子干净度命名等级。测试报告应包括下述各项内容：a） 测试组
15、织的名称、地址和进展测试的日期；b） ISO 14644 本局部的出版编号和年月，即 ISO 14644-1：当前版日期；c） 明确标明被测干净室或干净区的实际位置必要时包括接近的参照区及全部采样点坐标的具体标注；d） 规定的对干净室或干净区命名准则，包括 ISO 等级、相关的占用状态和被考虑粒径；e） 测试方法的具体说明，包括与测试有关的或偏离测试方法的特别条件，及测试食品合格证和最近的标定证书；f） 测试结果，含各采样点坐标的粒子浓度数据。注假设超微粒子或大粒子的浓度已经按附录 E 的说明进展了量化，适当的资料应包含在测试报告中。附录 A资料表 1 中等级的图解形式注 1Cn 表示大于和等
16、于被考虑粒径的悬浮粒子最大允许浓度pc/m 3空气。注 2 N 表示规定的 ISO 等级级别。图 A.1 为图解形式说明表 1 中的空气干净度等级，仅供演示用。表 1 中的 ISO 待批等级在此用线条表示出该等级的被考虑阈值粒径的浓度限值，其依据是用3.2 中公式1进展的计算。由于线条表示的仅是近似的等级限值，因此不得用于定义限值。限值只能依据公式1确定。图示的等级线不行外推超过实心圆符号。实心圆符号是所示各 ISO 等级认可的最大和最小粒径限值。等级线不代表在干净室或干净区内呈现的实际粒径分布。B.1 原理附录 B标准局部承受离散粒子计数和光散射仪器确定微粒干净度的等级使用离散粒子计数和光散
17、射仪器确定在指定的采样点上大于或等于规定粒径的悬浮粒子的浓度。B.2 仪器要求B.2.1 粒子计数仪离散粒子计数器DPC是一种光散射装置，具有显示或记录空气中离散粒子的数目和粒径的力量和粒径鉴别力量，可检测到被测级别之适当粒径范围内的总粒子浓度，以及适 当的采样系统。B.2.2 仪器标定仪器应当有有效的标定证书；标定的频率和方法应按现行公认的规定执行。B.3 推测试条件B.3.1 测试预备测试前，应依据技术性能要求认证干净室或干净区作为一个运行的整体，是完整的、功能是正常的。推测试工作一般包括：a) 空气流量或流速测试；b) 空气压差测试；c) 围护构造泄漏测试；d) 装好的过滤器泄漏测试。B
18、.3.2 推测试设备配置依据制造厂的说明书进展设备配置和仪器的推测试标定。B.4 采样B.4.1 确定采样点位置B411B.1按公式B.1求出最少的采样点数目：式中，NL最少采样点数四舍五入为整数。A干净室或干净区的面积，以计。注在水平单向层流时，面积A 可以看作是与气流方向呈垂直流淌的空气的截面积。B412要保证采样点均匀分布于整个干净室或干净区内，并位于工作活动的高度。假设用户规定增加采样点，其数目和位置也应作出规定。注增加的采样点可认为是风险分析的关键。B.4.2 确定各采样点的每次采样量B.4.2.1 指定的 ISO 等级如最大被考虑粒径的粒子浓度的限值时，在每个采样点要采集足够的空气
19、量，保证能检测出至少20 个粒子。每个采样点的每次采样量 VS 用下式确定：(B.2)式中，VS每个采样点每次最少采样量，用升表示 B422 中的状况除外。Cn，m为相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值pc/m3 空气。20当粒子浓度处于该等级限值时，可被检测到的粒子数。注： VS 值很大时，需要的采样时间可能会很长。利用挨次采样程序见附录F既可以削减要求的采样量，又削减采样需要的时间。B.4.2.2 每个采样点的采样量至少为 2 升，采样时间最少为 1 分钟。B.4.3 采样程序B.4.3.1 依据厂家说明书和仪表标定证书，调定粒子计数器B.2.1B.4.3.2 采样探头的位置应插入空气流
20、。假设被采样的气质方向是未受控的或不行估量的如非单向流，采样控头的入口应垂直指向上方。B.4.3.3 每个采样点，按 B.4.2 确定的最小采样量采样。B.4.3.4 当只要求一个采样点时B.4.1，则在该点最少进展三次采样B.4.2。B.5 结果记录标准B.5.1 各采样点的粒子平均浓度B.5.1.1 把每次采样测量的结果与空气干净度等级相关的各个被考虑粒径的浓度3.3 记录下来。注在进展 95%置信上限的计算之前，应 B.6.1 的要求。B.5.1.2 当只用一个采样点时，计算并记录各被考虑料径的采样数据平均值B434。B.5.1.3 当在一个采样点上采集 2 次以上采样时，依据C.2 中
21、给定的程序，从每次采样粒子浓度B511计算各采样点被考虑粒径的平均粒子浓度，并记录下结果。B.5.2 计算 95%置信上限UCL的要求B.5.2.1 当采样的点多于 1 个，少于 10 个时，依据 C.3 中给定的程序，从全部各点的平均粒子浓度B51 计算平均值、标准误差和95%置信上限。B.5.2.2 在采样点只有 1 个，或多于 9 个时，不用计算 95%置信上限。B.6 整理B.6.1 分级要求假设在各采样点测得的粒子浓度平均值及依据B52 计算的 95%置信上限未超过按3.2 中公式1确定的浓度限值，该干净室或干净区即被认为是到达了规定的空气干净度级别。假设测试结果未能满足规定的空气干
22、净度级别，可增加均匀分布的采样点进展测试。再次计算的结果，包括增加的采样点的数据，推断确立干净度等级。B.6.2 界外值的处理95%置信上限UCL计算结果可能没能满足规定的 ISO 等级。假设是由于程序上的误差或设备功能不良造成的测量过失或由于空气特别的干净而导致特别低的粒子浓度，而产生单个的、非随机性的“界外值”，在符合下述条件的状况下，可以把该界外值排解不计：a) 包括全部其余采样点的计算是重复进展的；b) 计算中至少保存有 3 次测量值；c) 计算中至多只有 1 个测量值排解在外；d) 有误差的测量或粒子浓度低的推想缘由由用户和供给商认可，并以文件记录下来。注在采样点，粒子浓度值的较大差
23、异可能是合理的，甚至是有意造成的，这取决于待测洁 净设施的应用性质。附录 C标准局部粒子浓度数据的统计处理C2计算某一采样点的平均粒子浓度的算法C1通则:统计分析只考虑随机误差缺乏精度，不考虑非随机误差如，与误差标定有关的偏差。当在一个采样点进展屡次采样时，应当用公式C.1来确定该点的平均粒子浓度。平均粒子浓度的计算应当在采样次数为2 次以上的各个采样点进展。式中，采样点 i代表任何位置的平均粒子浓度(C1)Xi，1 至 Xi，n每次采样的粒子浓度n在采样点 i 的采样次数C.3 计算 95%置信上限的算法C32平均值的总均值C.3.1 通则，本方法只适用于采样点为 1 个以上，10 个以下的
24、状况。在这种状况下， 应当使用公式C1的算法和本方法。用公式C2确定平均值的总综合平均值式中，采样点平均值的总均值(C.2)至用公式C1得出的各个采样点的平均值m采样点的总数无论任何一个给定的采样点的样品数是多少，所胡单个采样点的平均值都等量加权。C.3.3 采样点平均值的标准偏差SC.3式中,用公式C3确定采样点平均值的标准偏差。S 采样点平均值的标准偏差C.3.4 总均值的 95%置信上限UCL(C.4)式中，用公式C.4确定总均值的 95%置信上限t0.95表示具有 m-1 的自由度分布的 95%分布分布点。表 C.1 中给出了 95%置信上限UCL的争论 t 分布系数t0.95。另外，
25、统计计算机程序中的学生t 分布也是合格的。表 C.195%置信上限UCL的争论 t 的分布系数各个平均值的采样点数(m)234567-9t6.32.92.42.12.01.9D.1 例 1附录D资料局部等级计算的应用实例D.1.1 被测的干净室面积A为 80m2。需要确定其在动态下是否符合规定的悬浮规定的悬浮粒子干净度等级。该干净室规定的空气干净度等级为ISO Class 55 级。D.1.2 规定了 2 个被考虑粒径：0.3m (D1)和 0.5(D2) ma) 2 个粒径都在 ISO Class 5 的粒径范围之内，见 3.3c 和表 1:0.1m0.3m,0.5m 5mb) 被考虑的二个
26、粒径是否符合粒径比要求，D21.5 X D1见 3.3c:0.5m(1.5 X 0.3 m=0.45m), 是符合的。D.1.3 依据公式1计算最大允许悬浮粒子浓度0.3m(D1)的粒子(D.1)四舍五入为 10200pc/m30.5m (D2)的粒子(D.2)四舍五入为 3520 pc/m3D.1.4 采样点数按公式B.1计算见 B.4.1.1(D.3)因此，最少采样点数为 9 个。由于采样点数少于 10，按附录 C 计算 95%置信上限是适用的。D.1.5 : 单次采样量 Vs 以升计，按公式B.2计算见 B.4.2.1(D.4)结果大于 2L，选择的采样量为 28L/min 的采样仪器离
27、散粒子计数和光散射仪器通用的流量这一选择的依据是：a) Vs 2L(见 B4.2.2)b) Cn.m 20pc/m3(见 B.4.2.1)c) 采样时间1 分钟(见 B.4.2.2)D.1.6 在各采样点，只取一次采样量28 升B.4.2.1。测量中得到的计数记录如下B. 5.1.1。采样点粒子数0.3m粒子数0.5m124521218524359041067516422619625722623822437199195D.1.7 按原始数据D16计算粒子 pc/m3，Xi：采样点Xi0.3mXi0.5m1875075026607857321070437862505585778667000893
28、78071821880001321969646790.3m 和 0.5m 计算出的浓度值均低于 D13 中确定的限值，满足了等级的第一局部B61要求，因此可以按附录C 进展 95%的置信上限的计算。D.1.8按公式C1计算平均浓度见C2是不适用的，由于采集的量是单次采样量， 代表各个点的平均粒子浓度。平均值的总均值要按公式C2计算见 C32。0.3m 的粒子：D.5四舍五入为 6349 pc/m3D.60.5m 的粒子：四舍五入为 706 pc/m3D.1.9 按公式C.3计算采样点平均值的标准误差见C.3.3。D.70.3m 的粒子：(D.8)四舍五入为 4641259四舍五入为 2154
29、pc/m3D.90.5m 的粒子：D.10四舍五入为 145582四舍五入为 382pc/m3D.1.10 按公式C.4计算95%置信上限(UCL)见 C.3.4.单个平均值采样点数 m=9, 取自表 C.1 中的分布系数=1.9。(D.11)四舍五入为 7713pc/m3(D.12)四舍五入为 948pc/m3D.1.11 按 B.6.1 对结果进展整理。在D.1.7 中各单次采样量的粒子浓度低于规定的等级限值。在 D.1.10 中，计算出的 95%置信上限值同样低于在 D.1.3 中规定的等级限值。因此，该干净室的悬浮粒子干净度符合要求的级别。D.2 实例 2D.2.1 本例如目的在于证明
30、 95%UCL 的计算对结果的影响。某一干净室规定悬浮粒子干净度为 ISO 3 级，动态，采样点数定为 5 个。由于采样点数多于 1 个，少于 10 个，应按附录C 计算 95%置信上限。只考虑一种粒径D0.1m。 D22ISO 3 级，粒径0.1m，从表 1 中取粒子浓度限值：Cn0.1m= 1000 pc/m3D.2.3 在各采样点仅单次采样，按B.5.1.1记录各点的粒子浓度Xi pc/m3，并记录如下。采样点Xi0.1m19262958393749635214D=0.1m 时各粒子浓度值小于 D.2.2 中确定的限值。这个结果满足了等级的第一局部B.6.1，因此可以按附录 C 进展 9
31、5%置信上限的计算。(D.13)D.2.4 平均值的总均值要按公式C.2计算(见 C.3.2)。D.25 按公式C.3计算采样点平均值的标准误差见C.3.3：标准D26(D.16)按公式C.4计算 95%置信上限(UCL)(见 C.3.4)： 单个平均值 m=5,取自表 C.1 中的分布系数 t=2.1D27 各单次采样量的粒子浓度低于规定的等级限值D.2.2。但是，95%置信上限的计算说明该干净室悬浮粒子干净度不符合规定的级别。本例如说明按 95%UCL 的计算结果，一个单采样的界外低粒子浓度即采样点 5所造成的影响。由于空气干净度的等级之不相符性是因承受了 95%UCL，并由一个单次采样的
32、低粒子浓度造成，可依据 B.6.2 中的程序确定该不相符性是否可以作废不计。附录 E资料局部对等级表粒径之外的粒子之粒径和计数的考虑E.1 通则在某些状况下，特别是与具体工艺要求相连的状况下，可以依据等级表粒径范围之外的粒子群体规定另外适用的空气干净度级别。用户和供给商应就这类粒子的最大允许浓度和选择验证相符性的测试方法等问题达成协议。在E2U 描述符和E3M 描述符中给出了关于测试方法和规定的技术要求形式的考虑。E.2 小于 0.1m 的粒子超微粒子的评价U 描述符E.2.1 应用假设要评定小于 0.1m 的粒子造成的污染危急，应承受适合于这类粒子具体特性的采样装置和测量程序。应当依据B41
33、 确定采样点的数目，最小采样量Vs 应为2LB.4.2.2E.2.2 U 描述符的形式U 描述符的超微粒子浓度可以单独应用，或者是作为悬浮粒子干净度级别的补充来应用。U 描述符用“Ux;y”的形式表示，其中，标准x超微粒子的最大允许浓度以超微粒子pc/m3 空气表示； y以微米计的粒径的，用适宜的离散粒子计数器对这种粒子数计数时，计数效率为50%。实例如粒径范围为0.1m，最大允许超微粒子的浓度为 140000 pc/m3，其标识符为“U140000；0.1m”。注 1 在 IEST-G-CC10021中给出了小于 0.1m 的悬浮粒子浓度测试方法。注 2 假设用 U 描述符作为悬浮粒子干净度
34、级别的补充，超微粒子的浓度x不得小于规定的 ISO 等级之 0.1m 被考虑粒径适用的粒子浓度限值pc/m3。E.3 大于 5m 的粒子大粒子的评价M 描述符E.3.1 应用假设要评定大于 5m 的粒子造成的污染危急，应承受适合于这类粒子具体特性的采样装置和测量程序。悬浮粒子群体中的大粒子主要是在工艺环境中释放出的粒子。应当依据具体的应用来确 定适用的采样装置和测量程序。需要考虑的因素有粒子的密度、外形、容积和空气动力特性。还可能需要特别强调的在总悬浮粒子中的特别成份，如纤维。E.3.2 M 描述符的形式M 描述符可以单独应用，或者是作为悬浮粒子干净度级别的补充来应用。M 描述符用“Ma; b
35、; c”的形式表示，其中，a大粒子的最大允许浓度以大粒子pc/m3 空气表示； b当量直径或直径，与规定的测量大粒子的方法相关以微米表示； c规定的测量方法注 1假设采样的悬浮粒子群体中含有纤维，则可以向M 描述符附加一个单独的纤维用描述符，表示形式为Mfiber(a; b; ):c。例 1假设使用测定粒子空气动力直径的浮游气溶胶粒子计数器，粒径范围为5m 的悬浮粒子的浓度为 10000 pc/m3，则其标识符为“M(10000;5m)；浮游气溶胶粒子计数器”。例 2 假设使用多级冲击取样器，然后再用显微法测定粒径并计数，粒径范围为10-20m 的悬浮粒子的浓度为 1000 pc/m3，则其标
36、识符为“M(1000;10-20m)；多级冲击采样器，然后再用显微法测定粒径并计数”。注 2 在 IEST-G-CC10032中给出了大于 5m 的悬浮粒子浓度的测试方法。注 3 假设用 M 描述符作为悬浮粒子干净度级别的补充，大粒子的浓度(a)不得大于规定的ISO 等级之 5m 被考虑粒径适用的粒子尝试限值pc/m3。附录 F资料 挨次采样法标准F.1 背景和局限性F.1.1 背景假设采样的空气之污染程度显著大于或小于被考虑粒径的规定级别浓度，承受挨次采样法通常可大幅度削减采样量和采样时间。当尝试接近规定限值时，也可实现肯定程度的节约采样量和时间。挨次采样法最适合于空气干净度期望到达ISO
37、4 级或更干净的环境。注 有关挨次采样法的进一步资料，见IEST-G-CC 10043。F.1.2 局限性挨次采样法的主要局限性有：a） 此方法仅适用于被考虑粒径的粒子在规定等级或浓度限值时，每次测量到 20 颗粒子的采样。b） 每次采样测量要求关心监测和数据分析，可以用计算机自动进展。c 由于削减了采样量，粒子浓度确实定不如常规采样法准确。F.2 挨次采样法的依据此方法基于实时累积粒子计数与参考计数值的比照。参考数值由求上下限值的公式得出：上限值：C=3.96+1.03E(F.1)下限值：C=-3.96+1.03E(F.2)式中，C 为观看到计数E 为期望计数为了便于比较，在图 F.1 图形
38、的形式，表 F.1 以表格的形式供给了参考值。两种形式均可承受不合格假设观看到计数值C 早于期望计数值消灭合格假设观看到计数值C 迟于期望计数值消灭表 F.1对于时间应到达C 观看到计数值时的上下限值以小数表示的时间t观看到计数值以沾上数表示的时间t观看到计数值0,001940,192200,050550,240710,099260,289320,147670,337830,196180,386440,244790,434950,2932100,483460,3417110,532070,3902120,580580,4388130,629190,4873140,6676100,5359150
39、,7262110,5844160,7747120,6330170,8233130,6815180,8718140,7300190,9203150,7786200,9689161,0000211,000017注：以小数表示的时间是时间的百分率不等级限值时t=1.000在各指定的采样点进展空气采样时，正在计数的总粒子计数值连续地与作为规定已采样总量的比例函数的参考值进展比较。假设正在计数的总计数值低于与已采样量相应的参考限值，则正在采样的空气被认为是符合规定的等级或浓度，采样停顿。假设正在计数的总计数值高于与已采样量相应的参考限值，则正在采样的空气被认为不符合规定的等级或浓度，采样停顿，只要正在计
40、数的数值处于上、下限之间，采样就连续进展，直到整个采样被累积。图 F.1 绘出的是观看到计数值C 与期望计数值E 的关系。期望计数值 E 是在测量全部单次采样空气的时间内产生 20 个计数的流量容积/时间时采样空气的计数，而且浓度应符合被考虑粒径的规定限值。表 F.1 供给了一等效的方法。把观看到计数 C 的时间与表中测量全部单次采样空气要求的递增时间相比较。假设计数的消灭早于表中的期望时间，则是被采样的空气不符合规定限值。假设计数的消灭迟于表中的期望时间，则被采样的空气符合规定限值。最多要求21 次粒子得出时间与表中限定时间的比照。F.3 采样程序F.3.1 挨次采样基准有两种鉴定数据收集结
41、果的技术可供选择。进展式计算机化的数据分析比较好，在此推举使用。F.3.2 图形式采样比照图 F.1 表示按公式F.1和F.2建立的界限。截止到 E=20 为限值，表示收集全采样量需要的时间，而 C=20 则为允许的最大观看到计数值。绘出观看到计数值相对于粒子浓度准确等于规定级别的空气的期望计数值。经过的时间与期望计数值的增加数相对应，E=20 表示在粒子浓度为级别限值时，累积全采样量所要求的时间。随着采样的进展，记录下作为时间函数的粒子计数，并将该计数与图F.1 中的上、下限线进展比较。假设累积观看到计数与上限线相交，该点的采样停顿，空气被认为与规定等级限值不相符。假设累积观看到计数与下限线
42、相交，该点的采样停顿，空气被认为与规定等级限值相符。假设累积观看到计数保持在上、下限线之间，采样连续进展。如在规定的采样期完毕时总计数为 20 或不到 20，并且未与上限线相交，则空气被认为符合等级限值。F.3.3 图表采样比较表 F.1 供给了与挨次采样法等效的方法。同样基于公式F.1和F.2。表中的时间 t 被赐予一个值-“10000”，表示一个完整的单次采样期间。假设空气中含有被考虑粒径的准确的等级限值当量浓度，该次采样量即是供给20 个粒子必需要的量。表中列出的时间值是累积整个单次采样需要的总时间之小数局部。表 F.1 中挨次采样法的程序如下：随着采样的进展记录下作为时间函数的粒子计数，并将各次观看到计