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1、洁净室空气洁净度测试及方法一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试：（一）空态、静态测试空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室 内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已 安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。（-）动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、 空气调节的有关规定执行。三、空态、静态测试（-）测试前的准备1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定 高效空气过滤器的
2、上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于65微米的尘 粒数应为大于或等于30, 000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。 将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处，可以 24厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处 进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分升 （或其穿透率大于0.01%。）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。（-）测试内容1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；2、洁净室压力值；3、层流洁净室断面风速和气流流向；4、洁净工作区的洁净度；5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试；6、洁
3、净室内噪声。(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法 对于粒径大于或等于0.5微米 的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计 数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：1、光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。I, 000级-I0, 000级：每次采样量大于或等于0.3升。100, 000级：每次采样 量大于或等于0.1升。对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试； 如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。2、采样注意事项：(1)采样管必须干净，连接处严禁渗漏。(2)采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不
4、宜大于1.5 米。(3)采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应 在采样口的下风侧。(4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。3、测点布置(I)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜 为离地面1米(2)层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5 2.0米，粒径 大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置 在第一洁净工作区内。(3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米，增加3-5个测点。4、数据整理(1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采 样，取其平均值，即为该点的实测数值。(2)对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最 大值，乱流洁净室取各测点的平均值。(四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。四、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风 向进行，测试方法同空态、静态测试。tips:感谢大家的阅读，本文由我司收集整编。仅供参阅！