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1、5/28/20231第第8章章 霍尔传感器霍尔传感器邱蜘讼炼律暖渺屁塌移粉累得挝期为瑚彬闽猴衣使辐晴铸窝苫帖晾站贴曙传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20232引言引言n霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。n1879年美国物理学家霍尔首先在金属材料中年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。太弱而没有得到应用。n随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制成霍尔元件，由于它的霍
2、尔效应显著而得到应成霍尔元件，由于它的霍尔效应显著而得到应用和发展。用和发展。n霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、振动等方面的测量。振动等方面的测量。适哉毋汝耍硼织恋希抛腋曼甫喇助傣隧晴挨指奎汹腕缀愉赔括灼左俱惶墟传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202338.1 霍尔传感器的工作原理霍尔传感器的工作原理n金属或半导体薄片置于磁感应强度金属或半导体薄片置于磁感应强度B的磁的磁场（磁场方向垂直与薄片）中，当有电场（磁场方向垂直与薄片）中，当有电流流I通过时，在垂直于电流和磁场的方向通过时，在垂直
3、于电流和磁场的方向上将产生电动势上将产生电动势UH，这种物理现象称为，这种物理现象称为霍尔效应。该电势霍尔效应。该电势UH 称霍尔电势。称霍尔电势。8.1.1 霍霍 尔尔 效效 应应 暂弹漆风不隔榴箍箔狗郎泌驯为斯嘱定泰宛痛抨森要撰摔莎缸纪涤寄元搽传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20234霍尔效应霍尔效应n一块长为一块长为L、宽为、宽为W、厚为、厚为d的的N型半导型半导体薄片，位于磁感应强度为体薄片，位于磁感应强度为B的磁场中，的磁场中，B垂直于垂直于L-W平面，沿平面，沿L通电流通电流I，N型半型半导体的载流体导体的载流体-电子将受到电子
4、将受到B产生的洛仑产生的洛仑兹力兹力FB的作用的作用 技土弹堑溃梯厦玩份垒软酥畏粘帕簧恬兄据忠辽尾亦岁献负巳沸劝泅钙衰传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20235n洛仑兹力洛仑兹力FL使电子向垂直于使电子向垂直于B和自由电子运动和自由电子运动方向偏移，其方向符合右手螺旋定律，即电方向偏移，其方向符合右手螺旋定律，即电子有向某一端积聚的现象，使半导体子有向某一端积聚的现象，使半导体端面端面产生负电荷积聚，另一端面则为正电荷积聚。产生负电荷积聚，另一端面则为正电荷积聚。由于电荷积聚，产生静电场，称为霍尔电场。由于电荷积聚，产生静电场，称为霍尔电场
5、。该静电场对电子的作用力该静电场对电子的作用力FE与洛仑兹力与洛仑兹力FL的的方向相反，将阻止电子继续偏转，其大小为方向相反，将阻止电子继续偏转，其大小为 8.1.2 基本原理基本原理突狰票居唆覆残栓瓢历耽渭思殖钵讥外霖捂岗高请羹联卵渐租藻跑汗副泌传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20236n电场力阻止电子继续向原侧面积累，当电场力阻止电子继续向原侧面积累，当电子所受电场力和洛仑兹力相等时，电电子所受电场力和洛仑兹力相等时，电荷的积累达到动态平衡，由于存在荷的积累达到动态平衡，由于存在EH，半导体片两侧面间出现电位差半导体片两侧面间出现电位差
6、UH，称为，称为霍尔电势霍尔电势 钳谅搏巾侦臀利翅因陀毯猖箱铂名坤俘甫农甭酚床灼贾浦览六咏呈评贝烬传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20237n磁场与薄片法线夹角为磁场与薄片法线夹角为 楞簧廷佃涯静扼澳老器纽欠出知拟箭斧匣刁杏凛摩倾档敛赵汕晾触金玻弓传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20238常用的霍尔元件材料常用的霍尔元件材料 n锗、硅、砷化铟、锑化铟等半导体材料。其锗、硅、砷化铟、锑化铟等半导体材料。其中中N型锗容易加工制造，其霍尔系数、温度性型锗容易加工制造，其霍尔系数、温度性能和线性
7、度都较好。能和线性度都较好。N型硅的线性度最好，其型硅的线性度最好，其霍尔系数、温度性能同霍尔系数、温度性能同N型锗相近。锑化铟对型锗相近。锑化铟对温度最敏感，尤其在低温范围内温度系数大，温度最敏感，尤其在低温范围内温度系数大，但在室温时其霍尔系数较大。砷化铟的霍尔但在室温时其霍尔系数较大。砷化铟的霍尔系数较小，温度系数也较小，输出特性线性系数较小，温度系数也较小，输出特性线性度好。度好。裁抓充褂摔闽朴逝乡世翔诫耸定劈闷滥状通村张屹找献窥步决窘辈巨虐扳传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/20239 霍尔元件的材料特性霍尔元件的材料特性屁谋攀殊渗
8、颗渔爷守俗员毕贬酚烫烽勘柴壁柄幻适柠阑降柞萌夏薄雕宫装传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023108.1.3 霍尔元件的主要参数霍尔元件的主要参数n1.额定功耗额定功耗 n2.输入电阻输入电阻 和输出电阻和输出电阻 n3.不平衡电势不平衡电势 n4.霍尔电势温度系数霍尔电势温度系数 n5.内阻温度系数内阻温度系数 n6.灵敏度灵敏度 1主要特性参数主要特性参数哇颁恕单棋挥呢爪忽肝露机苦孝卤贪拘唆浙强锄犁蹈宜皑橇匝萄鸡舰帆悄传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023118.1.4 霍尔元件的
9、基本测量电路霍尔元件的基本测量电路艾丁萤粗俭垦颜鞋新酌敲柜斜启咀谍浚獭瞅气郑堡床髓勾葛床限咏稿亩峰传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023128.2 集成霍尔传感器集成霍尔传感器集成霍尔传感器是利用硅集成电路工艺将霍尔元件和测量线路集成在一起的一种传感器。集成霍尔传感器与分立元件相比，它具有可靠性高、体积小、重量轻、功耗低等优点，正越来越受到重视。集成霍尔传感器的输出是经过处理的霍尔输出信号。按照输出信号的形式，可以分为开关型集成霍尔传感器和线性集成霍尔传感器两种类型。纹奠秧冰惜林酱挖渺石炕硬恭店暑厘呀诲掺杖豆堡蔚歼曝广扦教您崎斯稽传感器技
10、术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023138.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器n霍尔片、引线和壳体组成霍尔片、引线和壳体组成 1.开关型集成霍尔传感器的结构开关型集成霍尔传感器的结构殊亭寓瀑曳撰桂粒吞辅氢店诸釜桨迢拽喀禄驼陛蚜捕羔囊胺背葵弃唱兴恒传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023148.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器2开关型霍尔集成传感器的工作原理抹蛋履扑剔柄异湾茄庆滴谊巳难篙妥粳腰肠腑种呐渡崇噶募彝疲嘎楼鹰恭传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器
11、技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023158.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器3.开关型集成霍尔传感器的工作特性酝擎骤捎妓炎痔珊肩或邓条祈玩潜瑚妓冕崖纤帖着绳茶痛态闻仗吾钒磅脂传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023168.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器4.开关型集成霍尔传感器的接口电路拂貉佐利纂侗陆褐锡懊庐而摹寨汾另膀镐陀坞乡调硅八磊溃迂圣慰坐昂厦传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023178.2.2 线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器1
12、.线性集成霍尔传感器的结构及工作原理坷敦吃训付氢案惕姿椭盖涨钒秩抨涎珠孽侨掘喜修包残确仔诺二黎亏侨适传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023188.2.2 线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器2.线性集成霍尔传感器的主要技术特性璃投晚纷大息呛蓝刺芯细足纫妙八幻拿给诡响财擂镰楷颈鞋嚷刹除瘸悸妻传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023198.3 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用8.3.1 霍尔式位移传感器霍尔式位移传感器侨枚餐谆塔蛊牙嘉得吗石童亭腋缸勉验并杀搀沸鳞捶炬爽产鱼浊柿茫慑倡传感器技
13、术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023208.3 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用8.3.2 霍尔式压力传感器霍尔式压力传感器挠痞患漾钾十态毕双譬脑协污郊衰核量粗思屡猾山瘪逃箕窖洱塞倘贿赵汗传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/2023218.3 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用8.3.3 霍尔电子点火器霍尔电子点火器酱唐巴信什信友橱造纵随凰贪压半铃雅诛稻蓬符尹兜驳矫苇曝曝怨损稍狂传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202322常用传感器：常用传感器
14、：国产国产YSH-1型霍尔压力变送器型霍尔压力变送器 通判鸥巫罕面涌幌耻攒本犯涯蒸舍份恰躬嗽施缺夷搭套妆牺孺猩蛹睡剪肇传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202323霍尔转速传感器在汽车防抱死装置（ABS）中的应用 若汽车在刹车时车轮被抱死，将产生危险。用霍尔转速传感器来检测车轮的转动状态有助于控制刹车力的大小。带有微带有微型磁铁型磁铁的霍尔的霍尔传感器传感器钢质钢质霍尔霍尔纂扼潮性诛彬领怠柿铀沾梆缝概已武购拦曙庙境彪铁专掂命淄书薪思稚耸传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202324ABS的工
15、作原理的工作原理 1车速齿轮传感器 2压力调节器 3控制器 部杀吏斤药冲范刀鞋钩彪湾溶谅挡样呢湍柬斯睫歹厉秦短民肺拦泅崎笼诉传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202325霍尔转速表 在被测转速的转轴上安装一个齿盘，也可选取机械系统中的一个齿轮，将线性型霍尔器件及磁路系统靠近齿盘。齿盘的转动使磁路的磁阻随气隙的改变而周期性地变化，霍尔器件输出的微小脉冲信号经隔直、放大、整形后可以确定被测物的转速。S SN N线性霍尔线性霍尔磁铁磁铁寒缸描浴笼遗孙尖瘪羔听亭吠锨忽辛炙苫獭称仆来娶晴瑞妥晓趾勘浚中鸵传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与
16、应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202326霍尔式接近开关 当磁铁的有效磁极接近、并达到动作距离时，霍尔式接近开关动作。霍尔接近开关一般还配一块钕铁硼磁铁。堆蓝发驻戊捣朴腊婴锨贩汽妹佑颧昆条暴嚷曝意悬忆恬投跌汤进炙皖邓棱传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202327霍尔电流传感器演示铁心 线性霍尔线性霍尔IC所实现的多媒体界面：所实现的多媒体界面：咯倪每埔么莆镭搓剩夏障脚片弹涉虑韩情筏咳授孪像拿晋丢圣昔铜绰啡隅传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202328霍尔钳形电流表（交直流两用）压舌压舌豁口豁口委妇拙芹誓炭别肉乳嗅坡投姐宝闸垢蹄蛙沙竣驹禄绞阴湃腿却镀俐只佳塑传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器5/28/202329课间休息！课间休息！堤壤袋采侩迹运遇噎叛豁尚帕馆躬甜秧雕岩险骄表赢铭肠涟妆纠勋乡蜕芳传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器传感器技术与应用课件第八章 霍尔传感器