微电子工艺课程总结课件.ppt

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课程总结2005.6.27微电子工艺基础n绪论(了解)n 一、微电子技术发展历史二、微电子技术发展的规律与 趋势三、器件与集成电路制造工艺 简介1、硅外延平面晶体管制造工艺(了解)(3DK3 NPN型开关管)2、PN结隔离双极型集成电路制造工艺(了解)3、集成电路的特有工艺(熟悉)隔离扩散埋层扩散

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