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1、离子注入机简介 Still waters run deep.流静水深流静水深,人静心深人静心深 Where there is life,there is hope。有生命必有希望。有生命必有希望 离子注入机的种类离子注入机的种类中束流中束流A350DNV6200A大束流大束流mANV10-80NV10-160NV10-160SDNV10-18026200、NV10160、10180、10160SD简介简介离子注入机按照真空系统分为三个部分离子注入机按照真空系统分为三个部分SOURCEBEAM LINEEND STATION3SOURCEBEAM LINEEND STATION6200FILAM
2、ENT ARC EXTRACTION ACCEL/DECELSUPPRESSIONANALYZER SUPPRESSIONACCELERATIONQ-LENSX、Y SCANFARADAY SYSTEMEND STATION CONTROLNV10160NV10180NV10160SDFILAMENT ARC VAPORIZER SOURCE MAGNET SUPPRESSIONEXTRACTION(HV)ANALYZERACCELERATION FLAG FARADAYDISK FARADAY 各部分包括的控制器各部分包括的控制器4 离子注入的原理离子注入的原理 离子源产生的离子在吸极电压的
3、作用下形成离子源产生的离子在吸极电压的作用下形成束流，以一定的速度进入分析器磁场后受到洛仑束流，以一定的速度进入分析器磁场后受到洛仑磁力发生偏转，选出我们所需的离子，通过加速磁力发生偏转，选出我们所需的离子，通过加速高压的作用获得一定的能量，离子通过透镜的聚高压的作用获得一定的能量，离子通过透镜的聚焦后，以一定的扫描方式打入硅片。焦后，以一定的扫描方式打入硅片。5 离子源的工作原理离子源的工作原理 当离子源的灯丝通过足够大的直流电流时，当离子源的灯丝通过足够大的直流电流时，灯丝受热后发射的热电子在灯丝受热后发射的热电子在ARC 电压、源磁场的电压、源磁场的共同作用下做螺旋状运动与工艺气体碰撞后
4、，工共同作用下做螺旋状运动与工艺气体碰撞后，工艺气体发生电离产生离子。艺气体发生电离产生离子。6 质量分析器质量分析器洛仑磁力：洛仑磁力：F=qvB R=mv/qB带电粒子进入磁场受到力的作用后发生偏转。带电粒子进入磁场受到力的作用后发生偏转。11B+、31P+、40Ar+、75As+、121Sb+350D：先分析后加速。先分析后加速。NV1080：先加速后分析。：先加速后分析。7 Q-LENS 静电四极透镜静电四极透镜静电四极透镜：对离子进行聚焦作用。静电四极透镜：对离子进行聚焦作用。加速后的离子在加速后的离子在Q-LENS静电四极透镜的作用下被静电四极透镜的作用下被聚焦成较小的束斑。聚焦成较小的束斑。8 FARADAY SYSTEMFARADAY的作用是测量束流，通过的作用是测量束流，通过DOSE控制器控制器精确地计量注入到硅片上的剂量。精确地计量注入到硅片上的剂量。BEAM SETUP：束流打在：束流打在FLAG FARADAYIMPLANT：束流打在：束流打在END STATION（350D）束流打在束流打在DISK（NV1080）9谢谢！谢谢！2006.8.210