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1、一、不定项选择题。1 .二级管符号中的箭头表示（B）。A、反向电流方向 B、正向电流方向 C、反向电阻 D、正向电阻2 .检查电动机绕组是否有接地现象，应 用（D）进行测量。A、钳流表 B、电压表 C、万用表 D、兆欧表3 .1 英寸等于（A）m mA 2 5.4 B 2 5 C1 2.5 D3 04 .我司镀膜线中，可采用PROFI B U S通讯的有（A B ）。A.M M 4 4 0 变频器 B.M F电源C.DTE-1 0 T 温控器 D.Sp eedfl o5.Sp eedfl o 就是用来控制反应气体（氧气）流量的设备，我司具有类似功能的1 0.宏大线下列哪些数据是通过I/O采集的
2、（B C）设备还有（A B ）。A.PEMB.压电陶瓷阀C.RCMD.TCM6.下列哪些真空泵属于高真空泵（B CD)oA.滑阀泵B.分子泵C.扩散泵D.离子泵7.下列哪些真空泵属于低真空泵（A B D)0A.滑阀泵B.干泵C.扩散泵D.旋片泵8.下列型号的电气件是用在宏大镀膜线传动的（A B DA.A TV 3 2 H 0 7 5 M 2B.L X M 2 3 DU 0 2 M 3 XC.FR-E7 2 0-0.7 5 KD.A TV 3 2 H 0 3 7 M 29.我司有哪些品牌的RF电源（A B)oA.H u et t i n g erB.A dv an ced En er g yC.
3、I n fi co nD.M K SA .DC电源开关状态C.水流正常信号B.真空计读数D.移动磁场速度1 1 .宏大线下列哪些数据是通过串口服务器采集的（B D)A .M F靶的电压 B.加热器温度C.主氧流量 D.旋转靶当前转速1 2 .下列真空计可以测量高真空（A CD）A .B PG 4 0 2-SP B.PSG 5 0 0C.M PG 4 0 0 D.CDG 0 2 51 3 .冷阱泵的一级冷凝面主要吸附哪些气体（C）A .A r B.02C.H20 D.H e1 4.C0 2 主要通过冷阱泵的哪个部位吸附（B ）A .一级冷凝面 B.二级冷凝面C.三级冷凝面 D.活性炭1 5.当用
4、s p eedfl o 自动给定硅靶氧气的时候，应选择（A D）控制模式。A .I n v er s e B.Di r ectC.Co n s t an t D.Sen s o r1 6 .通水状态下，旋转I TO靶与腔体之间绝缘应（B ）A .2 1 8 M O B.21 M OC.W 4 Q D.M Q1 7 .我司RF电源的输出频率为（A ）A .1 3.5 6 M H z B.1 3.6 5 M H zC.1 3.5 6 K H z D.1 3.6 5 K H z1 8.岛津TM P-V 2 3 0 4 L M 分子泵，当泵体上POWER灯闪烁时表示（D）A .POWER 正常 B.P
5、OWER 异常C.REM OTE 模式 D.L OCA L 模式1 9.下列哪种气体不是中频Si 靶的反应气体（D）A .N2 B.02C.N2+O2 混合气 D.A r2 0.在通用变频器中，如果出现过流现象，可能是（B ）A .变频器三相输出相间或对地短路B.负载太重，加速时间太短C.电网电压太高D.输入电源缺相2 1 .使用W i n CC时，当我们要调用一个历史趋势图的控件，并将变量的数值反映到趋势图当中，我们需要将这个变量建立到,主要设置其属性。（C)A .变量管理器、类型和地址B.报警记录、报警等级C.变量记录、采集周期D.报表设计、周期或时间2 2 .在电阻率P不变时，I T O
6、面电阻R口随着I T O膜厚d的增大而（C）0A、不 变B、变 大C、变小、D、无法判断2 3.在工频频率下，4极电动机的同步转速为Cr/m i n oB.1 0 0 0C.1 5 0 0D.2 0 0 02 4.分子泵的启动真空度为（A）。A .7 5 0A.0.0 8 m barB.0.0 l m barC.0.8 m barD.0.l m bar2 5.分子泵加速时的颜色是（B）色。A.白色B.蓝色C.绿色D.黄色2 6.下列哪种不是镀膜反应气体（B）。A.氧气B.氯气C.氧气D.乙焕2 7.MP G 4 0 0常被叫做I G表，它的具体名称为（D）oA.皮拉尼复合真空计B.皮拉尼与热阴
7、级复合真空计C陶 瓷C D G电容膜片真空规 D.反磁控皮拉尼真空计2 8.以下不是P L C编程语言的（A）A.V BB.指令表C.顺序功能图D梯形图2 9.下列选项不是P L C控制系统设计原则的是（C）。A、保证控制系统的安全、可靠B、最大限度地满足生产机械或生产流程对电气控制的要求C、在选择P L C时要求输入输出点数全部使用D、在满足控制系统要求的前提下，力求使系统简单、经济、操作和维护方便3 0.选用绝缘材料时应该从电气性能、机械性能、（D）、化学性能、工艺性能及经济性等方面来进行考虑。A.电流大小B.磁场强弱C.气压高低D.热性能31.P L C更换输入模块时,要在（B）情况下进
8、行。A.R UN 状态下B.断电状态下C.STO P 状态下D.以上都不是32.以下不属于P L C外围输入故障的是（C）oA.接近开关故障B.按钮开关短路C.电机故障D.传感器故障33.西门子M M 42 0 变频器快速调试（P 0 0 1 0=l）时,主要进行（B）修改。A.显示参数B.电机参数C.频率参数D.全部参数B34.卷绕镀膜设备上张力显示9 8 N 对应的重量是（)oA 2 0 k gB、1 0 k gC、2 5k gD、2 0 k g35.车间内发生电气火灾时应首先考虑（A ）。A、切断电源 B、用水灭火 C、用灭火器灭火D、迅速离开现36 .低压断路器的热脱扣器的作用是（B
9、）oA.短路保护B.过载保护C.漏电保护D.缺相保护37 .当电源电压降低时，三相异步电动机的起动转矩将（C）。A.提高B.不变C.降低D.不变38 .卷绕2#预处理分子泵控制器报低压报警，应检查（A ）部位。A、分子泵本体进线电源 B、控制器本体进线电源C、控制器本体输出电源 D、控制系统整体电源回路39 .1 6 进制数在三菱P L C中用（A ）表示。A、D 0 0 0C、X 0 0 0B、M 0 0 0D、Y 0 0 040.西门子PLC中变量类型转换错误的是（C）。A int_to_dword B word_to_int C、bool_to_int D、dint_to_real41.
10、真空压力单位等式正确的是（A）oA、lTorr=133.32pa B、lTorr=13.32mbaC、lMPa=100KPa D、1 大气压=10PSI42.压膜机台内部温度应为（A）,压膜机台内部湿度应为555%A 222,555%B 232,505%C 242,555%D 242,505%43.压膜机压辐的温度均匀要求（），压膜轮与支撑轮相对平行度使用感压纸测试，感压纸上留下的压痕宽度（）以内（D）A 10,2mm B 5,5mm C 10,5mm D 5,2mm44.压膜机压膜工艺速度为（C）A 2m/min B 3m/min C 1,5m/min D 2.5m/min45.压膜机上压膜
11、辐温度为（B）,下压膜辐温度为（）A 100,110 B 110,100 C 100,100 D 110,11046.FILM黄光曝光方式采用的是（A）A 接触式 B 接近式 C 投影式 D GAP调节式47.铜膜用光罩MASK曝光时，一次曝光固定能量。，二次曝光固定能量（）。（B）A70mj,100mj B 80mj,lOOmj C 80mj,90mj D 90mj,1lOmj48.铜膜用光罩MASK曝光时，一次曝光固定能量（），二次曝光固定能量（）。（B）A70mj,lOOmj B 80mj,lOOmjC 80mj,90mj D 90mj,1lOmj49.曝光机有效幅宽(A)A 610 m
12、m B 600 mm C 700 mm C 500 mm50.FILM黄光目前生产卷材长度为(C)A 250 m B 150m C 200 m C 180 mm51.D E E S水线由四部分组成依次是（A）。A显 影 金 属 刻 蚀 I T O 刻蚀脱膜 B 脱 膜 金 属 刻 蚀 I T O 刻蚀显影C 脱 膜 I T O 刻蚀 金属刻蚀 显影 D显 影 I T O 刻蚀 金属刻蚀脱膜5 2.D E E S 水线显影液、Cu 刻蚀液、I T O 刻蚀液、脱膜液工艺温度分别为（B）A 2 3 3 0,4 0,4 5 B 3 0、2 3、4 0、4 5 C 2 3、3 0,4 5、4 0 D
13、2 3、3 0、4 5、4 0 5 3 .D E S 水线主要控制参数（A）A 蚀刻液浓度，蚀刻液温度，蚀刻时间，喷淋压力B 蚀刻液浓度，蚀刻液温度C 蚀刻时间，喷淋压力D蚀刻液浓度喷淋压力5 4 .卷对卷丝印机节拍速度为（C）A 2 m/m i n B 3 m/m i n C 1,5 m/m i n D 2.5 m/m i n5 5 .丝印主要控制参数（A）A丝印压力，丝印速度，离版距离B丝印压力，丝印速度C丝印压力，离版距离D 丝印速度，离版距离5 6.丝印主要品质异常（C）A 印刷偏位，印刷溢墨或缺失B 印刷溢墨或缺失，油墨附着力N GC 印刷偏位，印刷溢墨或缺失，油墨附着力N GD印刷
14、溢墨或缺失，油墨附着力N G5 7 .脱泡炉主要控制工艺参数为（D）A 压力 B 压力 时间 C 压力 温度 D压力 温度 时间5 8.F I L M 黄光需要在百级环境下生产的工序为（A）A 压 膜 曝 光 丝 印 大 片 贴 合B 压 膜 曝 光C 曝 光 丝 印D曝光大片贴合5 9 .F I L M 黄光接入热排风系统的设备为（D）A 曝 光 机 丝 印 机 老 化 炉B 曝 光 机 丝 印 机 D E E S/D E S 水线C 曝光机 激光刻蚀机激光切割机U V 炉D 曝光机丝印机老化炉激光刻蚀机激光切割机U V 炉6 0 .净化车间的主要污染源是（A）A、人员 B、设备 C、空气
15、D、玻璃6 1 .根据车间目前的划分情况区分，静电帘黄光区内为：（B）A、十级 B、百级 C、千机 D、万级6 2 .曝光机光源选择：I T 0 和 P 0 C工程时 优先使用（A）A、透射光 B、反射光 C、斜光 D、紫外光6 3 .下列液体具有腐蚀性的是：（D ）A 无水乙醇 B 自来水 C 汽油 D硫酸6 4 .注意安全”的的安全标识的颜色是：（A）A 黄色 B 白色 C 红色 D 蓝色6 5 .灭火器指针指向（B）区域代表内部压力是不足的？A 绿色 B 红色 C 黄色 D 蓝色6 6 .修理机器，电气设备时必须在动力开关上挂上（C）警示牌A 注 意 安 全 B 有电危险 C 有人工作、
16、禁 止 合 闸 D正在维修，小心危险6 7 .操作转动的机器设备时，不应佩戴什么？（B）A.戒指 B.手套 C.手表6 8 .刻蚀线常用的刻蚀液显，脱膜液显，因此在维修过程中要注意安全。（B）A.酸性，碱性 B.碱性，酸性 C.碱性，碱性6 9 .预烘炉烘烤方式分为顶烤和贴烤，目 前 黄 光 线 烘 烤 方 式 都 是。（A ）A.顶烤 B.贴烤以下哪一项不属于生产设备现场的浪费（cA、“开关”方面的浪费材料的浪费C、等待的浪费无用劳动、无效工序、无效活动方面的浪费以下关于自主保全观念正确的是（DA、清洁与设备故障无关B、不需要会发现和处理故障C、我操作、你维修D、自己的设备自己保养7 2 .
17、车间曝光机系统采用的是的曝光形式。（B ）A、接触式 B、近接式 C、投影式7 3 .进口曝光灯的使用寿命 小时，国产曝光灯的使用寿命约为10 0 0 小时。（C ）A、8 0 0 B、10 0 0 C、15 0 07 4 .黄 光 车 间 的 照 明 黄 色 灯 管 不 会 发 出,（A）A、紫外线 B、红外线 C、X 射线7 5 .现 L D/U L D使用的哪种栏框可以直接进烤箱？（A）A、18 片框 B、2 0 片框7 6 .曝光机、U V 灯 发 出 的 光 为,直视会伤害眼睛。（A）A、紫外线 B、红外线 C、可见光7 7 .使用正性胶生产I T O P 0 S I 时，线距和曝光
18、量成 比。（B ）A、正比 B、反比7 8 .黄光3 线的制程能力，可以生产最薄的厚度为 m m。（B ）A、0.3 3 B、0.2 5 C、0.5 5 D、1.17 9 .前清洗段一般都有多个水箱，其中 的水箱水最干净。（A ）A、出口端 B、进口端 C、中间8 0 .分子泵起动过程中，上位机屏幕会出现几种颜色。绿色表示的意义是：（B ）A、停 止 B,满速 C、加速 D、故障8 1.检测车号的四个光电开关，其状态依次为0 110,车号为（C ）A、4 B、5 C、6 D、78 2 .镀膜线使用S p e e d F l o 控制主氧的流量，从而自动调节中频电源的（A ）A、中频电压 B、中
19、频功率C、中频电流 D、中频电压和中频功率8 3 .主腔室温度降至多少摄氏度以下时开始排车（A ）A、2 0 0 B、3 0 0 C、4 0 0 D、加热器关闭后就开始8 4 .镀膜线现使用的工艺气体有哪些（A、B、C、D、E ）A、身纯氨气B、高纯氧气 C、氮气D、僦氧混合气 E、乙快 F、氢气8 5 .镀膜设备低真空泵、中真空泵、高真空泵依次为A、分子泵、罗茨泵、旋片泵C、旋片泵、罗茨泵、分子泵8 6 .硅靶所使用的电源是（B ）A、直流电源 B、中频电源8 7 .镀膜线选用氤气纯度是多少（A、99.995%B、99.99%8 8.旋转靶的旋转方式是（AA、靶筒旋转，磁钢不转C、靶筒与磁钢
20、一同旋转（C ）B、罗茨泵、旋片泵、分子泵D、旋片泵、分子泵、罗茨泵C、射频电源 D、脉冲直流电源C ）C、99.999%D、1 0 0%）B、磁钢旋转，靶筒不转D、磁钢与靶筒都不旋转8 9.开展全员设备管理的总目标是（D ）A、实现生产自动化 B、实现人机合一C、实现6 s D、以最大限度发挥设备功能，实现零故障，零缺陷90 .以下关于自主保全观念正确的是（D ）A、清洁与设备故障无关 B、操作工不需要发现和处理故障C、我操作、你维修 D、自己的设备自己保养91 .镀膜线选用固态继电器控制腔室温度，固态继电器是一种（C ）器件。A、电流控制型 B、电压控制型 C、无触点控制继电器92 .I
21、T 0 镀膜车间存在哪些伤害需要引起我们注意（A、B、C、D）A、高温伤害 B、机械挤压 C、高电压 D、微尘颗粒伤害93 .镀膜时，充氧的主要目的有哪些？（A）A、补充材料失去的氧原子，使材料氧化更充分，降低膜层吸收B 使镀膜更稳定C、使每次镀膜时，真空室内的真空状态相接近D、使控制更精确94 .打弧一般分为几种？(AB C D)A、靶材打弧 B、小车打弧 C、挡板打弧 D、玻璃打弧95 .净化服穿戴规定：(AB C D E)A、口罩罩住鼻子、净化帽罩住头发B、禁止净化服破损，净化服拉链必须全部拉满C、裤管必须由净化鞋全部包住D、穿上净化鞋，必须拉好拉链、系好鞋带，鞋筒全部拉升到位E、乳胶手
22、套封住净化衣袖口96 .安全事故的三不放过(A B C )A、事故原因不清不放过C、没有纠正预防措施不放过9 7 .例行检查新线门阀时检查项目有A、门阀开关有无异响C、密封圈有无破损、划伤9 8 .镀膜时，充氧的主要目的有哪些？B、责任者与工人未受到教育不放过D、没有罚款不放过(A B C D )B、密封面有无划伤D、门轴压块固定螺钉有无松动(A )A、补充材料失去的氧原子，使材料氧化更充分，降低膜层吸收B 使镀膜更稳定C、使每次镀膜时，真空室内的真空状态相接近D、使控制更精确9 9.钳形电流表中的电流互感器()一次线圈。(C )A.有 1 匝 B.有 5匝 C.无 D.有 3匝1 0 0.选
23、择断路器遮断容量应根据安装()来决定。(C )A.变压器的容量C.最大短路电流B.最大负荷D.最大电压二、判断题1 .切磨线对玻璃品质的影响主要有以下三个方面：划伤、磨边不良和倒角不良。（V）2 .测量精度和测量误差是两个相对的概念，精度高，则误差小，反之精度低,则误差大。（V ）3 .为了提高产量，生产人员可提高清洗机传动速度（X ）4.变压器是根据电磁感应原理而工作的，它能改变交流电压和直流电压。（X ）5 .镀膜线检修后抽气，真空泵启动顺序为：先启动罗茨泵、再启动旋片泵，最后启动分子泵。（X ）6 .溅射I T O 时，增大Ar气流量，能提高溅射率，增加I T O 膜厚。（X ）7 .S
24、 i 靶中频反应溅射中，减小A r 气流量，能在一定程度上提高靶材利用率。（V ）8 .检修主设备加温脱气完成后，提高中间一个腔体的设置温度，其本体真空度会提高。（X ）9 .中频M F 阴极能稳定溅射Si 02 靶材。（X ）1 0.射频R F 阴极能稳定溅射I T O 靶材。（V ）1 1 .在闭环控制系统中，系统的动态放大倍数越大，系统越稳定。（X ）1 2 .兆欧表俗称摇表，是用于测量各种电气设备绝缘电阻的仪表。（V ）1 3 .当被检测物体的表面光亮或其反光率极高时，对射式光电开关是首选的检测模式。（X ）1 4 .保压已过了 1 0分钟，可以放气开门。（X ）1 5 .一线C 2
25、需要选择放气，开门吹扫门阀。操作过程如下：在分子泵运行过程中先关闭分子泵电源，再放气即可开门。（X ）1 6 .分子泵结露了，说明冷却水温度低，冷却效果好。分子泵不必处理，可以继续运行。（X ）1 7 .罗茨泵起动与腔室真空度有关，腔室真空值低于6 5 m b a r 时才能起动。（X ）1 8 .电气线路测绘前要检验被测设备是否有电，无论什么情况都不能带电作业。（X ）1 9 .P L C 程序下载时不能断电。（J）2 0.P C W 系统全称：工艺冷却水系统。（J）2 1 .镀膜线平面磁场的驱动控制方式均为变频器控制。（X ）2 2 .显 影（负性光阻）是将干膜中的未被曝光的那部分光阻快速
26、溶解于显影液中（V）o2 3 .大片贴合后脱泡温度越高、压力越大越好（X）。2 4 .F I L M 黄光压膜曝光车间安装黄灯管是为了节能（X）o2 5 .显影时间越长，显影效果越好（X）o2 6 .曝光时如果M A SK 有灰尘，会导致线路开路或短路（J）2 7 .目前我司生产的T P 按产品结构分单面结构和双面结构.（V ）2 8 .蓝色指令标识（如必须佩戴防护眼镜）是建议人员做出某种动作,不是强制性.（X ）29.我们常用的显影液主要有K O H、D V P-2 两种，分别是做M T-P 0 S I 和 P O C使用。（V ）30 .生产过程中如果需要进行维修或者换胶，必须将上胶系统总
27、气压阀关掉。（V ）31.检漏完毕，关闭连接管道上的阀门，关闭电源，即可移动检漏仪。（X ）32.温度显示327 6.8 ,可能是热电偶断线了。（V ）33.S pe e d F l o 是一种控制镀膜线传动速度的控制器。（X ）34.入口锁定室布A r气，其作用是开门前使锁定室与溅射室之的气压大致相等，即防止门阀密封圈脱落，也可防止基片晃动。（V ）35 .旋片泵上装有气镇阀，气镇阀在旋片泵启动时开启一段时间，用于排出空气中的水蒸汽。（V ）36.直 流 平 面I T O靶有阳极和阴极两个电极，其中腔体是阳极，铜背板是阴极。（V ）37 .平 面I T 0靶的内屏蔽至平面靶四周缝隙控制在35
28、 （m m）之间为宜。（V ）38.点 靶 时，先开端头旋转，再输入开启功率后即可确认开启。（x ）39.设备放气是指对腔室充气使真空室压力上升至大气压。（V ）40 .磁控溅射系统中，工作气体是氧气，反应气体是氨气。（x ）三、问答题1）坂东切磨线磨边机倒角破片的常见的原因？1、倒角检测杆转动不灵活、卡滞，不能正常回位。2、气缸漏气、卡滞，不能正常伸缩。3、接近传感放大器检测信号不正常。4、倒角伺服电机、倒角轮电机、接近开关、接近传感放大器、伺服放大器损坏。2）抛光机下盘温度不上升的处理方法 查 看 下 盘 下 垫 是 否 磨 损，发现磨损要求生产人员更换下垫；判断气缸有无向下压力。在自动运
29、行设备处于轻抛或重抛状态时，拔下垂直气缸上端气管，检查气管有没有气压；a、发现没有气压，同时增大轻抛和重抛旋钮（调节阀）后，又出现压力变化，说明存在轻重压气管接反或轻抛重抛时间继电器信号接反的情况；b、如气管一直没有气压，可能电磁阀存在故障,检查根据气动原理图检查对应的电磁阀。通常双缸机检查轻压电磁阀（Y 2 3）-开启轻抛压力，重压电磁阀（Y 2 4）一 开启重抛压力；三位五 通 阀（Y 0 3,Y 1 3）-控制垂直气缸动作。检查垂直气缸和下盘之间的联接件是否有松动磨损，造成气缸压力没有传递的上盘。更换或紧固联接件。3）简述引起叠的原因和处理方法1 .操作员发片间距小造成（加大间距）；2
30、.滚刷干涉量大（调小干涉量）；3 .喷淋压力大（调小压力）；4 .主传动异常:链条断，齿轮卡死（更换链条，齿轮）；5 .风刀问题:压力大，间距过小（调小压力，调大间距）；6 .清洗剂浓度过高,玻璃打滑（换水,重新添加）4）请列出镀膜清洗机常见故障（至少五种）1 .叠片；2.水印;3.划伤;4.轮印;5.蓝点;6.污染;7.吹不干;8.水迹.5）什么是 s p e e d f l o?S p e e d fl o（R e a c t i v e S p u t t e r G a s C o n t r o l l e r）,是反应气体控制器。在真空磁控溅射镀膜中，我司无论I T 0 玻璃，I
31、T O F i lm还是光学膜，均需要用M F 电源加上Ar将硅靶溅射。要做到基片上的薄膜的透过率，反射率，电阻，色差等特性达到要求，则需要一个闭环控制系统来控制反应气的量。S p eed flo 就是用来控制反应气体氧气的量的设备，我司具有类似功能的设备还有压电阀，P EM,等。6）EK I 串口服务器支持哪些设备1 .人机 界 面（H M I）2 .可编程控制器（P L C）3 .流量计4 .温 度/压力监控设备5 .气体泄漏检测设备6 .测量仪器7 .功率监控设备8 .数据采集模块7）简述分子泵启动时序分子泵启动时序：旋片泵启动一（管道压力低于6 5 mb a r）罗茨泵启动一粗抽阀开一
32、（腔室真空到达0.0 8 mb a r）一分子泵前阀开、分子泵启动、插板阀开、粗抽阀关8）请绘制三相异步电机正反转电路图、外部接线图及P L C程序图 I 1，电动机正反转控蠲曲 j sw.c o m.c n图2 PLC外部接线图|g 3 5T步电动机I上反找控.制电路.9)简述F I L M黄光铜制程基本工艺流程答：一 次 压 干 膜 一 次 曝 光 一次 显 影 一 次 金 属 刻 蚀 一 次 铜 刻 蚀 一 次脱膜 二 次 压 干 膜 二次 曝 光 二次 显 影 二 次 金 属 刻 蚀 二次 脱 膜 绝缘油墨印刷覆保护膜1 0)什么是曝光？曝光主要控制参数是什么？曝光主要品质异常是什么？答：利用紫外线(UV)的能量，使受到光照的部分光阻发生光化学反应，使光罩上图形完全转移至干膜上的过程。主要控制参数：曝光能量，曝光G AP。主要品质异常：曝光偏移，固定断短路，过曝。