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無無 塵塵 室室 用用 材材 料料 12表公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目（美國聯邦標準US Federal Standard 209E）34圖空氣淨化系統 5678圖8.2HEPA過濾器的概略圖 910圖以雷射測試ULPA過濾器的效率 11圖以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 12圖8.5粒子捕集的方法 13圖8.6空氣過濾器之捕集效率 1415圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 16(續)圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 17圖真空泵的分類 18圖擴散泵 19圖路茲泵的概路圖 20圖8.11路茲泵的抽氣原理 21圖渦輪分子泵 22圖8.13冷凍式幫浦 23圖氣體的平衡蒸氣壓 24圖空氣壓縮機的概略圖 252627圖空氣乾燥機的概略圖 2829圖安全輸送系統 30圖(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應 31圖機械式（壓縮式）冷凍系統之作用原理 3233343536373839