《真空与等离子体.pptx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《真空与等离子体.pptx（16页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。
1、工艺腔功能:控制环境（去除杂质、创建化学反应的环境）；控制原材料的流入，化学反应的位置；控制反应的开始和结束。第1页/共16页多腔集成设备装/卸台硅片控制臂硅片定向器工艺腔第2页/共16页不同工艺所需要的真空范围低级真空（0.10.1760T760T）中级真空（1010-4-41010-1-1T T）高级真空（1010-8-81010-4-4T T）超高级真空（1010-8-8T T）第3页/共16页6.2 等离子体什么是等离子体？等离子体是如何产生的？等离子体有什么作用？第4页/共16页等离子体固体冰液体水固体水蒸气固体等离子体 00C 1000C 100000C第5页/共16页等离子体宇宙
2、中99%的物质都是等离子体,太阳、恒星、星际物质第6页/共16页一、什么是等离子体？等离子体定义：等离子体是一种中性、高能量、离子化的气体。等离子体中包括：中性原子或分子、带电离子、自由电子。第7页/共16页二、等离子的产生离子的形成：当从中性原子中去除一个价电子时，形成正离子和自由电子。例如，当原子结构内的原子和电子数目相等时氟是中性的，当一个电子从它的核内分离出去后氟就离子化了。第8页/共16页 F +9离子是质子（）与电子（）数不等地原子电子从主原子中分离出来.少一个电子的氟原子到原子失去一个电子时产生一个正离子 F +9具有质子（9）和电子（9）数目相等地中性粒子是原子氟原子总共有7个
3、价电子价层环最多能有8个电子价层电子（）内层电子（）在原子核中的质子（未显示电子）离子的形成第9页/共16页等离子体的产生 等离子体的产生：在一个有限的工艺腔内，利用强直流或交流磁场或用某些电子源轰击气体原子都会导致气体原子的离子化。第10页/共16页直流辉光放电产生：真空环境下，当施加电能时，混合气体中的自由电子在电场作用下加速运动，在运动过程中与气体原子或分子发生碰撞，从而导致气体原子或分子离化。第11页/共16页2.射频放电射频频率一般为13.25MHz13.25MHz，400KHz400KHz，2MHz2MHz，4MHz4MHz，2.45GHz2.45GHzRFRF功率决定离子的能量和密度。第12页/共16页等离子体的自偏压第13页/共16页三、等离子体的作用电子与原子碰撞后发生的反应：1.1.裂解：e e-+AB A+B+e+AB A+B+e 2.2.离化：e e-+A A+A A+e+e+e+e 3.3.激发：e e-+A A+A A*+e+e 第14页/共16页等离子体在半导体工艺中的应用化学气相淀积（CVD）刻蚀物理气相淀积（PVD）离子注入剥离光刻胶清洗第15页/共16页感谢您的观看！第16页/共16页