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1、各种典型激光器原理全第1页，共96页，编辑于2022年，星期六第三章 典型激光器第一节第一节 概述概述第二节第二节 气体激光器气体激光器 第三节第三节 固体激光器固体激光器第四节第四节 染料激光器染料激光器主要内容：主要内容：第2页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述一、一、激光器的基本结构激光器的基本结构 激光器的基本结构由工作物质、泵浦源和光学谐振腔工作物质、泵浦源和光学谐振腔三部分构成。激光器的基本结构n工作物质是激光器的核心,是激光器产生光的受激辐射放大作用源泉之所在。n泵浦源为在工作物质中实现粒子数反转分布提供所需能源。工作物质类型不同,采用的泵浦方式不同。n光
2、学谐振腔则为激光振荡的建立提供正反馈,同时,谐振腔的参数影响输出激光束的质量。第3页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述n二、分类及输出特性二、分类及输出特性激光器种类繁多,习惯上主要按照以下两种方式划分:一种是工作物工作物质质,另一种是按照激光器工作方式按照激光器工作方式。1 按照激光工作物质按照激光工作物质1）气体激光器气体激光器气体和金属蒸气作为工作物质。根据气体工作物质为气体原子气体原子、气体分子气体分子或气体离子气体离子,又可将气体激光器分为原子激光器原子激光器、分子激光器分子激光器和离子激光器离子激光器。原子激光器原子激光器中产生激光作用的是未电离的气体原子,
3、激光跃迁发生在气体原子的不同激发态之间。采用的气体主要是氦、氖、氩、氪、氙等惰性气体和镉、铜、锰、锌、铅等金属原子蒸气。原子激光器的典型代表是He-Ne激光器。第4页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述n分子激光器中分子激光器中产生激光作用的是未电离的气体分子,激光跃迁发生在气体分子不同的振-转能级之间。采用的气体主要有CO2、CO、N2、O2、N2O、H2O、H2 等分子气体。分子激光器的典型代表是CO2 激光器。n准分子激光器准分子激光器。所谓准分子,是一种在基态离解为原子而在激发态暂时结基态离解为原子而在激发态暂时结合成分子合成分子(寿命很短寿命很短)的不稳定缔合物
4、的不稳定缔合物,激光跃迁产生于其束缚态和自激光跃迁产生于其束缚态和自由态之间由态之间。采用的准分子气体主要有XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*等。其典型代表为XeF*准分子激光器。n离子激光器离子激光器中产生激光作用的是已电离的气体离子,激光跃迁发生在气体离子的不同激发态之间。采用的离子气体主要有惰性气体离子、分子气体离子和金属蒸气离子三类。其典型代表为Ar+激光器。第5页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述n 激励方式激励方式 气体激光器一般采用气体放电激励,还可以采用电子束激励、热激励、化学反应激励等方式。n 波长范围：波长范围：气体激光器波长覆盖范
5、围主要位于真空紫外远红外波段n 特点：特点：激光谱线上万条,具有输出光束质量高(方向性及单色性好)、连续输出功率大(如CO2 激光器)等输出特性,其器件结构简单,造价低廉。第6页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述n应用应用 气体激光器广泛应用于工农业生产、国防、科研、医学等领域,如计量、材料加工、激光医疗、激光通信、能源等方面。1961年,第一台气体激光器He-Ne激光器问世。2)固体激光器固体激光器固体激光器以固体激光介质作为工作物质。固体工作物质通常是在基质材料,如晶体或玻璃中掺入少量的金属离子(称为激活离子),激光跃迁发生在激活离子的不同工作能级之间。用作激活离子
6、的元素可分为四类:三价稀土金属离子三价稀土金属离子、二价稀土金属离子二价稀土金属离子、过渡金属离子过渡金属离子和锕系金属离锕系金属离子子。固体激光器的典型代表是红宝石(Cr3+:Al2O3)激光器、掺钕钇铝石榴石(Nd3+:YAG)激光器、钕玻璃激光器和掺钛蓝宝石(Ti 3+:Al2 O3)激光器。第7页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述n固体激光器多采用光泵浦,泵浦光源主要有闪光灯和半导体激光二极管两类。n固体激光器的波长覆盖范围主要位于可见光近红外波段,激光谱线数千条,具有输出能量大(多级钕玻璃脉冲激光器,单脉冲输出能量可达数万焦)、运转方式多样等特点。器件结构紧凑
7、、牢固耐用、易于与光纤耦合进行光纤传输。n固体激光器主要应用于工业、国防、科研、医学等领域,如激光测距、材料加工、激光医疗、激光光谱学、激光核聚变等方面。第8页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述3)液体激光器液体激光器液体激光器的工作物质分为二类:一类为有机化合物液体一类为有机化合物液体(染料),另另一类为无机化合物液体一类为无机化合物液体。其中,染料激光器是液体激光器的典型代表。常用的有机染料有四类:吐吨类染料、香豆素类激光染料、恶嗪激光染料和花青类染吐吨类染料、香豆素类激光染料、恶嗪激光染料和花青类染料料。染料激光器多采用光泵浦,主要有激光泵浦和闪光灯泵浦染料激光器
8、的波长覆盖范围为紫外到近红外波段(300nm1.3m),通过混频等技术还可将波长范围扩展至真空紫外到中红外波段。激光波长连续可调谐是染料激光器最重要的输出特性。器件特点是结构简单、价格低廉。染料溶液的稳定性比较差是这类器件的不足。染料激光器主要应用于科学研究、医学等领域,如激光光谱学、光化学、同位素分离、光生物学等方面。1966年,世界上第一台染料激光器由红宝石激光器泵浦的氯铝钛花青染料激光器问世。第9页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述4)半导体激光器半导体激光器 半导体激光器也称为半导体激光二极管,或简称激光二极管(LaserDiode,缩写LD)。由于半导体材料本
9、身物质结构的特异性以及半导体材料中电子运动规律的特殊性,使半导体激光器的工作特性有其特殊性。半导体激光器以半导体材料为工作物质。常用的半导体材料主要有三类:(1)A A 族化合物半导体族化合物半导体,如砷化镓如砷化镓(GaAs)、磷化、磷化铟铟(InP)等等。(2)B A族化合物半导体,如硫化镉(CdS)等。(3)AA族化合物半导体,如碲锡铅(PbSnTe)等。根据生成pn结所用材料和结构的不同,半导体激光器有同质结、异质结(单、双)、量子阱等多种类型。半导体激光器采用注入电流方式泵浦。第10页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述n 半导体激光器波长覆盖范围一般在近红外波
10、段(920nm1.65m),其中1.3m与1.55m为光纤传输的两个窗口。n半导体激光器具有能量转换效率高、易于进行高速电流调制、超小型化、结构简单、使用寿命长(一般可达数十万乃至百万小时以上)等突出特点。n半导体激光器广泛应用于光纤通信、光存储、光信息处理、科研、医疗等领域,如激光光盘、激光高速印刷、全息照相、办公自动化、激光准直及激光医疗等方面。n 1962年,世界上第一台半导体激光器GaAs激光器问世。第11页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述5)化学激光器化学激光器 化学激光器是通过化学反应实现粒子数反转从而产生受激光辐射的。工作物质可以是气体或液体,但目前主要
11、是气体,如氟化氢(HF)、氟化氚(DF)、氧碘(COIL)等。化学激光器采用化学能激励。为促成工作物质的化学反应,一般需采用一些引发措施,如光引发、电引发、化学引发等。化学激光器的波长覆盖范围为紫外到红外波段,直至微米波段,功率高、能量输出高,无需外界提供泵浦源,可将化学能直接转换成激光能量是其突出特点,特别适合于野外等无电源处工作。化学激光器主要应用于国防、科学研究等领域,如激光武器、同位素分离等。1964年,第一台光解离碘原子化学激光器问世。第12页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述6)自由电子激光器自由电子激光器自由电子激光器是一种新型激光器。自由电子激光器的工作
12、物质是相对论电子束。所谓相对论电子束是指通过电子加速器加速的高能电子。自由电子激光器将相对论电子束的动能转变为激光辐射能。自由电子激光器的泵浦源为空间周期磁场或电磁场。具有非常高的能量转换效率、输出激光波长连续可调谐是自由电子激光器两个最显著的特点。自由电子激光器在未来的生物、医疗、核能等领域具有重要的应用前景 第13页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述7）X射线激光器射线激光器nX射线激光器输出激光波长位于X射线波段(110nm)。n X射线激光器工作物质为高度电离的等离子体,采用光泵浦,但需要特殊的X射线泵浦源。第14页，共96页，编辑于2022年，星期六第一节第一
13、节 概述概述8)光纤激光器光纤激光器n工作物质工作物质:以掺入某些激活离子的光纤,或者利用光纤自身的非线性光学效应制成的激光器。n分类：分类：晶体光纤激光器、稀土类掺杂光纤激光器、塑料光纤激光器和晶体光纤激光器、稀土类掺杂光纤激光器、塑料光纤激光器和非线性光学效应光纤激光器非线性光学效应光纤激光器。n泵浦方式泵浦方式主要采用半导体激光二极管泵浦。n特点：特点：光纤激光器是一种新型的激光器件,具有总增益高、阈值低、能量转换效率高、很宽的波长调谐范围及器件结构紧凑等突出特点,在远距离光纤通信等领域显示出了广阔的应用前景。n1963年,第一台光纤激光器Nd2 O3 光纤激光器问世 第15页，共96页
14、，编辑于2022年，星期六第一节第一节 概述概述二、按照激光器工作方式划分二、按照激光器工作方式划分n激光器可分为连续输出和脉冲输出两种方式,n连续激光器n脉冲激光器。n按照激光技术的应用分为n调Q激光器n锁模激光器n稳频激光器n可调谐激光器等,n按照谐振腔腔型的不同分为n非稳腔激光器n平面腔激光器n球面腔激光器等类型。第16页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器一、一、气体放电激励基础气体放电激励基础n所谓气体放电所谓气体放电,是指在高电压作用下是指在高电压作用下,气体分子气体分子(或原子或原子)发生电离而导电。发生电离而导电。n常用气体激光器的气体放电属于
15、弱电离气体放电常用气体激光器的气体放电属于弱电离气体放电,其气体电离度一般不超其气体电离度一般不超过过0.1%。1.分类分类 1).直流连续放电直流连续放电直流连续放电是指在气体激光器放电管两电极间加上可调的直流电压。直流连续放电是指在气体激光器放电管两电极间加上可调的直流电压。调节放电管两端的电压或电阻，测出相应的放电电流，即可得到放调节放电管两端的电压或电阻，测出相应的放电电流，即可得到放电管直流连续放电的伏安特性曲线。电管直流连续放电的伏安特性曲线。第17页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n 点所对应的管压降称为着火电压着火电压，也称起辉电压起辉电压
16、，或击击穿电压穿电压。nAD段为非自持放电阶段。放电电流虽然随端电压升高而增加,但其值很小。此时若去掉外界电离源,放电电流则很快减小直至放电终止。此阶段的放电电流范围一般在10-20-10-11 A之间。第18页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n D点以后,则为自持放电阶段,原因阴极产生二次电子发射nDE段叫作自持暗放电,放电不稳定n平坦的EF段。该区域的特点是电流增加,但管压降几乎保持不变,放电管内出现明暗相间的辉光,称之为正常辉光正常辉光放电放电。辉光放电阶段,由于二次发射的电子随电场的增加而迅速增加,故当放电管端电压略有增加时,放电电流就增大很多。辉
17、光放电的电流范围一般在10-410-1 A之间nFG段则为反常辉光放电阶段。此阶段管压降随着电流增加而增加。反常辉光放电阶段,阴极溅射很强烈,放电管一般应避免在此状态下工作。第19页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器nG点所对应的电压叫做弧光着火电压弧光着火电压。n过G点后,放电管管压降再次迅速下降,放电电流快速增大,放电管中发出耀眼的弧光,称之为弧光放电。n弧光放电的GH段呈现出负阻特性,放电不稳定。nHK段为稳定弧光放电阶段,放电电流一般大于10-1A。n辉光放电辉光放电 高电压、小电流高电压、小电流(几毫安至几十毫安几毫安至几十毫安)放电放电,是一种稳
18、定的是一种稳定的自持放电。自持放电。He-Ne激光器与激光器与CO2 激光器都是工作在辉光放电区域。激光器都是工作在辉光放电区域。第20页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n弧光放电弧光放电 n低电压大电流(几十安至几千安)的自持放电。n弧光放电的着火电压一般比辉光放电的着火电压高,但对阴极表面积和电子逸出功都很小的放电管而言,其弧光着火电压也可低于辉光着火电压。弧光放电弧光放电分类：热阴极弧光放电热阴极弧光放电、冷阴极弧光放电冷阴极弧光放电 人工阴极弧光放电人工阴极弧光放电Ar+激光器工作于弧光放电区域。第21页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第
19、二节 气体激光器气体激光器 2).高频放电高频放电高频放电也叫做射频气体放电射频气体放电。所谓射频射频,通常指频率在几兆到通常指频率在几兆到几百兆范围内的电磁波。几百兆范围内的电磁波。当两电极间施加高频交变电场后,由于带电粒子在两电极之间的渡越时间远大于电场的变化周期,使得电子不能再做长距离的运动,而只能在某个固定位置附近振荡,并在振荡过程中与气体粒子碰撞,产生电离和激发,以维持放电。射频放电时,由于电子不断来回运动使电子飞越的路程增大,从而使电子与气体粒子碰撞的次数增加,电离能力极大提高,也使得作为电子来源的阴极的重要性大为减弱。因此,射频放电可以用内电极,也可以用外电极,甚至可以不用电极。
20、20世纪70年代,射频气体放电技术成功地应用于大功率输出CO2 激光器,并已展示出其广阔的应用前景。第22页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器 3).脉冲放电脉冲放电放电管两电极间施加脉冲电压时,即产生脉冲放电。按放电电流密度的大小,放电管内可产生脉冲辉光放电和脉冲弧光放电。按所加电压的交变状态,可分为直流脉冲放电和交流脉冲放电。按脉冲持续时间,又可分为短脉冲放电和长脉冲放电。准分子激光器采用脉冲放电方式。大功率高气压气体激光器多采用短脉冲放电方式。气体放电除上述三种放电方式外,还有火花放电火花放电和电晕放电电晕放电等方式。第23页，共96页，编辑于2022
21、年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器2气体放电中的粒子碰撞与激发、电离过程气体放电中的粒子碰撞与激发、电离过程在气体放电中,带电粒子(电子和离子)与中性气体粒子(原子或分子)之间的碰撞决定着放电进行的情况。其中,有两种基本的碰撞过程影响着器件粒子数反转分布的建立和维持。第一种过程是电离第一种过程是电离,它对于维持放电是不可或缺的它对于维持放电是不可或缺的;第二种第二种过程是激光上、下能级粒子的激发与消激发。过程是激光上、下能级粒子的激发与消激发。粒子的碰撞一般可分为两类:弹性碰撞弹性碰撞和非弹性碰撞。非弹性碰撞。在气体激光器工作物质的激发与电离过程中,粒子的碰撞都属于非弹性碰撞非弹性碰
22、撞。非弹性碰撞又可分为第一类非弹性碰撞第一类非弹性碰撞和第二类非弹性碰第二类非弹性碰撞。撞。第24页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器1）.第一类非弹性碰撞第一类非弹性碰撞第一类非弹性碰撞指一个粒子的动能转变为另一粒子内第一类非弹性碰撞指一个粒子的动能转变为另一粒子内能的碰撞能的碰撞。其最常见的形式之一就是快速电子与气体粒子发生碰撞激发和电离。在碰撞过程中,快速电子失去能量,速度变慢,气体粒子得到能量被激发到高能态或被电离。n电子的能量大于或等于气体粒子的激发态能量时,碰撞激发过程则有可n电子能量等于或大于气体粒子的电离能时,碰撞电离过程便可以发生。其电离过
23、程可表示为 第25页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n电子和气体粒子的碰撞,还可以使粒子从一个激发态跃迁到另一个更高的激发态,或者使激发态粒子发生电离,分别叫做逐级激发和逐级电离逐级激发和逐级电离。2).第二类非弹性碰撞第二类非弹性碰撞 第二类非弹性碰撞指一个粒子的内能转变为另一粒子内能或动能的碰撞。第二类非弹性碰撞指一个粒子的内能转变为另一粒子内能或动能的碰撞。其形式主要有共振转移、电荷转移和潘宁效应共振转移、电荷转移和潘宁效应等。共振转移共振转移是指激发态的粒子A*(通常指亚稳态)与基态粒子B碰撞,使B激发到高能态B*,而A*返回基态。其过程可表示为
24、A*+BA+B*+E n其中,E为A*和B*两者激发态之差。E越小,共振转移截面越大。当E 趋于零时,共振转移截面大于10-14cm2,转移最易发生。n 共振转移是选择性激发过程中最重要的形式之一。第26页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器电荷转移电荷转移是指离子与中性气体粒子碰撞引起的激发与电离过程。其激发过 A+BA+B+E 其中,A为A+从中性粒子B处获得一个电子而成为中性粒子;B 为中性粒子失去一个电子而成为正离子B+;E为A 和B 两者电离能之差。电荷转移过程中出现的电离激发,可表示为 A+BA+B*+E其中,B*为离子激发态;E为离子激发态B*与
25、粒子A+的电离能之间的位能差。正离子与中性气体粒子之间的电荷转移过程。负离子与中性气体粒子碰撞亦可失去电子而成为速度较快的中性粒子,同时使原中性气体粒子成为速度较慢的负离子。第27页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器 潘宁电离潘宁电离 指处于激发态的气体粒子A*与处于基态的粒子B碰撞,A*失去能量返回基态,而B被电离,或电离后又被激发。其过程可表示为 A*+BA+B*+e A*+BA+B+en 由上述反应过程可见,只要A 的激发能大于基态粒子B的电离能,潘宁电离便可以进行,电离中产生的多余能量可转化为电子的动能电离中产生的多余能量可转化为电子的动能。n气体放
26、电过程中,除上述介绍的由于粒子碰撞所产生的激发和电离过程外,还存在着复合、吸附与转荷等过程.第28页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器二、二、He-Ne激光器激光器n 工作介质：工作介质：He-Ne激光器是典型的惰性气体原子激光器,Ne为工作物质,He为辅助气体。n特点：特点：n He-Ne激光器输出连续光,主要工作波段在可见光到近红外区域,其中,最常用的工作波长为632.8nm(红光),其次是1.15m和3.39m以及1.52m、543.5nm等。nHe-Ne激光器输出光束质量很高,表现为单色性好(20Hz)和方向性好(Qn2,则有n=n3-n2n3。因此
27、,以下主要分析n3与总气压P的关系。在He、Ne气压比一定的条件下,总气压P升高可以使He与Ne原子的粒子数密度n0、n1上升,有利于提高n3,使n上升。但若总气压P太高,在n0与n1上升的同时,电子与原子碰撞次数也随之增多,致使电子动能下降,S04降低,从而导致n3 下降,使反转粒子数密度n下降。因此,He-Ne激光器存在一个最佳充气总气压,在此条件下工作,器件增益最大。增益与充气总气压的关系第41页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器(3)增益与增益与He、Ne气压比气压比(PHe PNe)的关系的关系 在总气压P一定的条件下,Ne的分压上升,可提高基态N
28、e原子粒子数密度n 1,同时使He原子基态粒子数密度n 0 下降。由式(3.6)知,n 1 比n 0 对n 3的影响大。因此,Ne的分压上升,可以提高n 3。但若其分压过高,由于Ne原子电离电位低,易电离而导致电子能量下降,使S 04 下降,导致n3 下降。同时,由于Ne原子激光上能级的粒子数主要通过与He原子亚稳态能级粒子之间的共振转移而获得,因此,作为工作气体的Ne气所占比例要适当。P HeP Ne 也存在一个最佳值,P He PNe,一般P HeP Ne 71101。第42页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n最佳充气总气压与最佳He、Ne气压比称为H
29、e-Ne激光器的最佳充气最佳充气条件条件。n当器件工作于最佳充气条件时,其放电毛细管内径d与最佳充气总气压Popt的乘积为一常数,其取值范围Poptd=480533(Pa mm)。n由上述分析得出结论:为获得最大增益,He-Ne激光器应工作在最佳放电条件下,即采用最佳放电电流、最佳充气总气压和最佳最佳放电电流、最佳充气总气压和最佳He、Ne气压气压比比。第43页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器3He-Ne激光器的谱线竞争激光器的谱线竞争 632.8nm、3.39m与1.15m三条谱线是He-Ne激光器上百条谱线中最强的三条。三者之中,由于3.39m谱线与6
30、32.8nm谱线共用一个激光上能级3s2,且增益都很高。因此,二者之间存在激烈的谱线竞争。3.39m谱线的振荡,将大量消耗激光上能级的粒子,导致632.8nm谱线的增益与输出功率下降,甚至振荡被抑制。为保证632.8nm谱线起振并提高其输出功率,应设法抑制3.39m谱线的振荡。抑制所遵循的原则是增大增大3.39m谱线的损耗或者降低其谱线的损耗或者降低其增益增益。采取的方法有:第44页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器2）腔内放置甲烷吸收盒）腔内放置甲烷吸收盒该法利用甲烷气体对632.8nm 透明而对3.39 强吸收的特性，增大3.39谱线的腔内损耗以抑制其振
31、荡，结构如图所示。1）棱镜色散法棱镜色散法第45页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器3）外加非均匀磁场法）外加非均匀磁场法 其原理是利用塞曼效应。塞曼效应指磁场将引起谱线的分裂，谱线分裂的大小与磁感应强度成正比。施加非均匀磁场后，造成放电管内各处谱线分裂程度不同，其作用相当于把谱线展宽第46页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n对放电管长度小于的He-Ne激光器，使用前两种方法就能抑制3.39谱线振荡。n若放电管长度大于，往往需要几种方法相结合才能有效抑制。第47页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光
32、器气体激光器三三Co2激光器激光器 CO2 激光器是一种混合气体激光器激光器是一种混合气体激光器,CO2 为工作物质,N2、He、CO、Xe、H2 O、H2 与O2 等为辅助气体,其作用是提高激光器的输出功率和效率。CO2激光器的工作方式分为连续和脉冲两种,也可以在稳频、调谐(选支)等状态下运转 CO2激光器的输出特性有两个显著的特点激光器的输出特性有两个显著的特点:其一是输出功率或能量相当大其一是输出功率或能量相当大,能量转换效率高。能量转换效率高。CO2 激光器连续输出功率可达数十万瓦,是所有激光器中连续输出功率最高的器件;脉冲输出能量可达数万焦,脉宽可压缩到纳秒量级,脉冲功率密度可达太瓦
33、量级。其二是输出波长分布在其二是输出波长分布在918m波段波段,已观察到的激光谱线二百多条。已观察到的激光谱线二百多条。其中,911m红外波段中最重要的输出波长10.6m处于大气传输的窗口,有利于激光测距、激光制导、大气通信等方面的应用,且该波长对人眼安全。CO2 激光器于激光器于1964年问世。年问世。第48页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器 CO2 激光器种类很多激光器种类很多,主要有封离型、流动(纵向和横向)型、大气压型、气动型以及波导等结构形式,激励方式有低功率器件采用的纵向气体放电激励、大功率器件采用的横向气体放电激励、射频激励、化学、气动、电子
34、束激励等。1）CO2 分子的能级结构及振分子的能级结构及振-转跃迁转跃迁 a.CO2分子的能级结构n分子的总能量包括以下四部分：电子绕核运动的能量；分子中原子的振动能量；分子的转动能量；平动能量。除平动能量外，前三种运动的能量部是量子化的。相邻电子能级、振动能级及转动能级问能量差的比例约为104：102：1。第49页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器CO2 分子的振动有三种基本形式分子的振动有三种基本形式,或称三种简正或称三种简正振动振动:对称振动对称振动。CO2 分子中的2个原子沿分子轴同时朝向或同时背向碳原子振动,碳原子保持不动,如图3.15(b)所示。
35、形变（弯曲）振动形变（弯曲）振动。CO2 分子的3个原子不是沿分子轴振动,而是垂直于分子轴振动,且碳原子的振动方向与2个氧原子相反,如图3.15(c)所示。反对称振动反对称振动。CO2 分子的3个原子沿分子轴振动,其中,碳原子的振动方向与2个氧原子相反,如图3.15(d)所示。第50页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n 在一级近似下,CO2 分子上述三种振动方式相互独立,其振动能量为三种振动方式的能量之和。我们用4个对应的量子数标记其振动能级,标记符号为(v1 vl2 v 3)。VI 分别代表其对称、形变及反对称对称、形变及反对称的主量子数，而l代表形变时
36、，其投影的角动量守恒的且量子化的角动量守恒的且量子化的，用量子数l表示，lv2，v2-2，v2-4，1或0。第51页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器nCO2 分子可能产生的跃迁谱线有很多条,其中强度最强和最具价值的是10.6m谱线(对应于00 0 110 0 0能级的跃迁)和9.6m谱线(对应于0001 0200能级的跃迁)。上述两条谱线的跃迁过程表明,CO2 分子的能级结构属四能级系统。表3.4给出了与CO2 分子10.6m和9.6m谱线跃迁有关的振动能级寿命。由上表可见,CO2 分子激光上能级(000 1)寿命长于激光下能级第52页，共96页，编辑于2
37、022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器b)CO2能级激发能级激发1）直接电子碰撞）直接电子碰撞电子与基态CO2碰撞，将其激发到激光上能级CO2(0000)+e-CO2(0001)+e2）级联跃迁）级联跃迁 电子与基态CO2碰撞，将其激发到激发态000n能级，其与基态CO2碰撞将其激发到激光上能级CO2(0000)+CO2(000n)-CO2(0001)+CO2(000n-1)3）共振转移）共振转移基态N2和电子碰撞跃迁到基态V=1的振动能级，该能级寿命长，属于亚稳态，其与基态C02发生非弹性碰撞并跃迁激光上能级e(快)+N2(v=0)-e(慢)+N2(v=1)第53页，共96页，编
38、辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器CO2分子0001能级与N2的v=1的能级接近，N2的v=24能级与CO2的0002-0004也接近易发生共振转移，0002-0004的CO2与基态CO2分子碰撞，也可激励到0001以上三种激发途径，共振转移几率最大，作用最显著C).CO2 分子的振分子的振-转跃迁转跃迁CO2 分子的红外光谱并不是一条单一的振动谱线,而是一条有一定宽度的谱带。这是由于CO2 分子除振动运动外,同时存在转动运动。在其影响下,CO2分子的振动能级将分裂为一系列转动子能级。转动子能级。根据分子光谱理论,分子振动能级之间的跃迁必然伴随着转动子能级之间的跃迁,产生
39、带状光谱。第54页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器振振-转跃迁的选择定则为转跃迁的选择定则为:对于振动能级:v=0,1对于转动子能级:J=0,1对转动子能级间的跃迁,选择定则规定:J=+1,称为R支,记为R(J)J=-1,称为P支,记为P(J)J=0,称为Q支。因为CO2分子的对称性质,谱带中心没有该支谱线,即不存在Q支跃迁。第55页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n由图3.17可以看出,在CO2 分子0001与1000振动能级上,不是对应地存在着全部的转动子能级。在000 1振动能级上,只存在J为奇数的转动子能级,而
40、在100 0振动能级上,则只存在J为偶数的转动子能级。这种情况称之为转动子能级的缺位转动子能级的缺位,它来源于分子态波函数对称性的要求。它来源于分子态波函数对称性的要求。n 对于000 1100 0的振-转跃迁,已观察到的P支谱线支谱线27条条,R支谱线支谱线26条条,光谱带范围1011m。其中最强的P支谱线有4条,即P(18)、P(20)、P(22)和P(24),对应波长分别为10.57m、10.59m、10.61m和10.63m。最强的R支谱线也有4条,即R(18)、R(20)、R(22)和R(24),对应波长分别为10.26m、10.25m、10.23m和10.22m。n 对于对于000
41、 1020 0的振的振-转跃迁转跃迁,观察到观察到P支谱线支谱线29条条,R支谱线支谱线25条条,光谱带范围910m。其中最强的P支谱线为P(18)、P(20)、P(22)、P(24)与P(26),对应波长分别为9.54m、9.55m、9.57m、9.59m和9.60m。最强的R线为R(18)、R(20)、R(22)与R(24),对应波长分别为9.28m、9.27m、9.26m和9.25m。第56页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器nCO2 分子00 0 1020 0的振-转跃迁中能形成一百多条荧光谱线,但在CO2 激光器中却只有13条谱线能同时形成激光振荡
42、。这源于CO2 分子转动子能级之间的竞争效应。n处于同一振动能级的各转动子能级之间靠得很近,粒子在各子能级间转移很快。一旦处于某一转动子能级上的粒子跃迁后,服从玻尔兹曼分布规律的其他能级上的粒子会立即转移到该能级,而使其他能级上的粒子减少。在CO2激光器中,当某条谱线获得较大增益而优先起振时,亦同时抑制了其他谱线的振荡。例如,9.6m谱线与10.6m谱线共用一个激光上 能级,而粒子从000 1100 0能级的跃迁几率要大得多,故CO2 激光器中若无波长选择装置,则9.6m谱线将在与10.6m谱线的竞争中失败而无法起振。正是由于转动子能级间激烈的竞争效应,当CO2 激光器谐振腔长度发生变化时,振
43、荡谱线的频率易跳动到其他频率上。nCO2激光器的谐振腔大多采用平凹腔，由于其增益高，也可采用非稳腔以增加其模体积。高反射镜可用金属制成，也可在玻璃表面镀以金膜。输出端可采用小孔耦合方式或由可透过红外光的Ge、GaAs等材料制成输出窗.第57页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器 D气体成分气体成分 实验发现,当CO2 激光器中充有适量的N2、CO、Xe、Ne、H2、H2O等气体时,输出功率显著提高。而当充有Ar、N2 O等气体时,输出功率则显著下降。为提高输出功率,CO2 激光器都充有不同组分的辅助气体,主要分为含N2 组分与含CO组分两种。n 含N2 组分为
44、CO2+N2+He+Xe+H2,n 含CO组分为CO2+CO+He+Xe,含N2 组分的输出功率要高于含CO组分。上述各种气体成分在CO2激光器中的主要作用:氮氮:N2 是CO2 激光器中最主要的辅助气体,其作用主要是提高CO2 分子0001能级的激发速率,同时加快011 0能级的弛豫速率。加入适量的N2 后,能明显提高输出功率。但其含量不能太高,因总气压一定时,N2含量高,则CO2含量就相应降低,且放电时CO2 离解出的O会与N2 发生化学反应,生成N2 O和 NO,它们对CO2 分子的000 1能级有消激发作用。第58页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器
45、n 一氧化碳一氧化碳:CO作用与N2 类似,不仅能增大CO2 分子000 1能级的激发速率,还能加快01 10能级的弛豫速率。但其含量过高时会造成对000 1能级的消激发。n 氦氦:在CO2+N2 混合气体中,加入适量的He(He的含量可以是CO2 的45倍)可以大幅度提高输出功率。其原因是:He原子质量轻,导热率高(其导热率比CO2和N2高约一个数量级),可有效降低工作气体温度,提高输出功率。另外He对CO2分子激光下能级100 0、020 0和011 0的弛豫作用远大于其对激光上能级000 1能级的弛豫作用,有利于实现粒子数反转。在高气压CO2激光器中,He的主要作用是改善气体放电的均匀性
46、。n 氙氙:在CO2+N2+He混合气体中,加入少量的Xe,可使输出功率进一步提高约30%40%,能量转换效率提高10%15%。原因是:Xe的电离电位低,加入后可增加放电气体中的电离度,使E/N值降低(充有Xe的放电管管压降可以下降20%),从而提高激光器的效率。混合气体中Xe的含量有一最佳值,一般其分压强在107160Pa之间。Xe的含量不可过高,过高虽使电子密度增加,但电子碰撞机会也随之增加,导致电子温度下降。第59页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n水蒸气和氢水蒸气和氢:在CO2+N2+He混合气体中再加入少量的水蒸气或H2,能提高能提高器件的输出功
47、率和使用寿命器件的输出功率和使用寿命。原因是H2O 分子对CO2 分子激光下能级100 0以及011 0能级的弛豫速率很大,且H2O分子振动能级寿命很短,可以很快返回基态。H2 的作用与H2O 相同,因CO2 分子在放电时会离解出O,H 2 与O合成H2O。因H2 在常态下是气体,其充入量比水蒸气更易于控制,故常用H2 代替水蒸气。混合气体中,H2O和H2的含量一般在13.340Pa之间,不能过高,因为它们除对激光下能级10 0 0和011 0有很强的抽空作用外,对激光上能级00 0 1能级也有显著的消激发作用。由于由于H2O和和H2能对能对CO与与O的复合的复合起催化作用起催化作用,故能延长
48、故能延长CO2 激光器的使用寿命。激光器的使用寿命。第60页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器E.Co2激光器可分为以下七类激光器可分为以下七类:1.纵向慢流纵向慢流co2激光器激光器气体从放电管一端流人，由另一端抽走，气流、电流均和光轴方向一致。气体流动的目的是排除Co2与电子碰撞时分解出来的CO气，并补充新鲜气体 第61页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器在这类激光器中，放电电流密度和气体压强均有一位输出功率最大的最佳值。电流度增加时激光上能级激发速率增加，但由此造成的气体温度的升高又会增加下能级集居数，因而存在一最佳
49、电流值。同样，气体压强增高时一方面由于气体分子密度增加使反转集居数随之增加，另一方面，气体分子间更加频繁的碰撞又阻碍了热量向管壁的扩散，从而导致气体温度升高。实验表明，电流密度与压强的最佳值大致与放电管径成反比。在最佳放电条件下，激光器的输出功率约为(50一60)wm。2、封离型、封离型CO2 激光器激光器所谓封离型是指工作气体与He-Ne激光器一样被封离在放电管内。这种结构的器件单位放电长度可输出的功率比流动型或气动型器件要低得多,一般输出功率都低于200W。第62页，共96页，编辑于2022年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n冷却n回气n放电n谐振腔第63页，共96页，编辑于20
50、22年，星期六第二节第二节 气体激光器气体激光器n3纵向快流纵向快流CO2激光器激光器n 在纵向慢流激光器中放电产生的热量主要靠气体的扩散运动传给管壁，再由沿管壁外表而流动的冷却液带走。由于这种散热方式效率较低，电流密度和压强不能太大，因此限制了输出功率。n如果提高气体流动速度(约50ms)，使放电管内的热气流流出管外，在管外冷却后再返回放电管，则不再存在放电电流密度的最佳值，输出功率随放电电流密度线性增加。单位长度输出功率可达1kWm以上。目前，(13)kw的纵向快流CO2激光器已广泛用于激光加工。与大功率的横向流动激光器相比，纵向快流c02激光器中放电电流密度分布的圆对称性较好，因此具有更